20180 |
|
|
X, Y, Z |
80 х 80 х 15 |
|
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80 х 15
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 80
- Перемещение по оси Y, мкм
- 80
- Перемещение по оси Z, мкм
- 15
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 10,7 х 10,7 х 10,7
- Разрешение по оси X, нм
- 10.7
- Разрешение по оси Y, нм
- 10.7
- Разрешение по оси Z, нм
- 10.7
- Размер столика, мм
- 45 х 45
- Высота столика, мм
- 35
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 20 х 20
- Время шага, мс
- <30
- Использованная нагрузка для измерения времени шага, г
- (120)
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 470 х 590 х 900
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 300 х 340 х 600
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 5,4 х 5,4 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Масса, кг
- 4.7
- Масса, г
- 4700
- Допуск по массе, %
- 10
|
|
21019 |
|
|
Z, θX, θY |
150 |
17 х 17 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- Z, θX, θY
- Номинальная длина хода, мкм
- 150
- Номинальный угол хода, мрад
- 17 х 17
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси Z, мкм
- 150
- Вращение по оси θX, мрад
- 17
- Вращение по оси θY, мрад
- 17
- Погрешность хода, %
- 20
- Диаметр столика, мм
- 18
- Высота столика, мм
- 58.3
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Датчик
- SGS
- Материал
- Алюминий, сталь
|
|
21075 |
|
|
Z, θX, θY |
200 |
3,2 х 3,2 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- Z, θX, θY
- Номинальная длина хода, мкм
- 200
- Максимальная длина хода, мкм
- 250
- Номинальный угол хода, мрад
- 3,2 х 3,2
- Максимальный угол хода, мрад
- 4 х 4
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси Z, мкм
- 250
- Вращение по оси θX, мрад
- 4
- Вращение по оси θY, мрад
- 4
- Погрешность хода, %
- Линейная: 5 / Угловая: 20
- Разрешение, нм
- 10
- Разрешение, мкрад
- 0.05
- Разрешение с обратной связью, нм
- 20
- Разрешение без обратной связи, нм
- 10
- Разрешение с обратной связью, мкрад
- 0.25
- Разрешение без обратной связи, мкрад
- 0.05
- Размер столика, мм
- 139 х 139
- Высота столика, мм
- 40
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 150 х 180 х 180
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 14,4 х 14,4 х 36
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 100/20
- Датчик
- SGS
- Материал
- Сталь, алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 3
- Масса, кг
- 2.5
- Масса, г
- 2500
- Допуск по массе, %
- 10
- Габариты, мм
- 150×150×40
|
|
21180 |
|
|
Z, θX, θY |
500 |
2 х 2 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- Z, θX, θY
- Номинальная длина хода, мкм
- 500
- Номинальный угол хода, мрад
- 2 х 2
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси Z, мкм
- 500
- Вращение по оси θX, мрад
- 2
- Вращение по оси θY, мрад
- 2
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 67
- Разрешение, мкрад
- 0.3
- Размер столика, мм
- 550 х 550
- Высота столика, мм
- 35
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 400 х 400
- Пульсация, мВ
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.25
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.4
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 30
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 20
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 1500
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 86,4 х 86,4 х 86,4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Датчик
- SGS, высокая точность
- Грузоподъёмность, кг
- 1.5
|
|
22038 |
|
|
X, Y, θZ |
50 х 50 |
9 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, θZ
- Номинальная длина хода, мкм
- 50 х 50
- Номинальный угол хода, мрад
- 9
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 50
- Перемещение по оси Y, мкм
- 50
- Вращение по оси θZ, мрад
- 9
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0.5
- Разрешение, мкрад
- 0.1
- Разрешение с обратной связью, нм
- 2
- Разрешение без обратной связи, нм
- 0.5
- Разрешение с обратной связью, мкрад
- 0.3
- Разрешение без обратной связи, мкрад
- 0.1
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.5
- Разрешение по оси θZ, мкрад
- 0.1
- Диаметр столика, мм
- 20
- Высота столика, мм
- 31
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 18
- Повторяемость, %F.S.
- 0.15
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Электроёмкость, мкФ
- 5,4 х 5,4 х 21,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Датчик
- SGS
- Материал
- Сталь, алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Погрешность грузоподъёмности, %
- 5
- Масса, кг
- <0,5
- Масса, г
- <500
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
22053 |
|
|
X, Y, Z, θZ |
25 000 х 25 000 х 25 000 |
|
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 4
- Рабочие оси
- X, Y, Z, θZ
- Длина хода, мм
- 25 х 25 х 25
- Номинальная длина хода, мкм
- 25 000 х 25 000 х 25 000
- Угол хода, градусы
- 360
- Перемещение по оси X, мкм
- 25 000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 25 000
- Перемещение по оси Z, мкм
- 25 000
- Вращение по оси θZ, градус
- 360
- Размер столика, мм
- 60 х 60
- Высота столика, мм
- 165
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z, θZ
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
|
|
22065 |
|
|
X, Y, Z |
200 х 200 х 200 |
|
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Номинальная длина хода, мкм
- 200 х 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 20
- Размер столика, мм
- 110 х 110
- Высота столика, мм
- 35
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 66 х 66
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 195 х 195 х 240
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 14,4 х 14,4 х 240
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 3
|
|
22083 |
|
|
X, Y, Z |
200 х 200 х 100 |
|
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Номинальная длина хода, мкм
- 200 х 200 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 2,1 х 2,1 х 2,1
- Разрешение по оси X, нм
- 2.1
- Разрешение по оси Y, нм
- 2.1
- Разрешение по оси Z, нм
- 2.1
- Размер столика, мм
- 94 х 94
- Высота столика, мм
- 39.3
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 68 х 68
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 220
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 110
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 50
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 14,4 х 14,4 х 14,4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 5
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Масса, кг
- <1,5
- Масса, г
- <1500
|
|
22097 |
|
|
X, Y, Z |
1000 х 1000 х 100 |
|
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Номинальная длина хода, мкм
- 1000 х 1000 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 1000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 1000
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 10 х 10 х 1
- Разрешение с обратной связью, нм
- 34 х 34 х 4
- Разрешение без обратной связи, нм
- 10 х 10 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 10
- Разрешение по оси Y, нм
- 10
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Допуск по разрешению, %
- 20
- Размер столика, мм
- 70 х 70
- Высота столика, мм
- 30
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 38 х 38
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.15
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 150
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 110
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 50
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 43,2 х 43,2 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 50
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Масса, кг
- <1
- Масса, г
- <1000
|
|
22123 |
|
|
X, Y, θZ |
200 х 200 |
2 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, θZ
- Номинальная длина хода, мкм
- 200 х 200
- Номинальный угол хода, мрад
- 2
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Вращение по оси θZ, мрад
- 2
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 2.7
- Разрешение, мкрад
- 0.1
- Разрешение с обратной связью, мкрад
- 0.3
- Разрешение без обратной связи, мкрад
- 0.1
- Разрешение по оси X, нм
- 2.7
- Разрешение по оси Y, нм
- 2.7
- Разрешение по оси θZ, мкрад
- 0,1/0,3
- Размер столика, мм
- 180 х 180
- Высота столика, мм
- 30
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 60
- Повторяемость, %F.S.
- 0.15
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 150
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 50 / 20
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 2500 / 5000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 10,8 х 10,8 х 28,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 5
- Горизонтальная грузподъёмность, кг
- 0.2
- Инвертированная грузоподъёмность, кг
- 3
- Погрешность грузоподъёмности, %
- 5
- Масса, кг
- <1,3
- Масса, г
- <1300
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
H60.XYZTR1K |
|
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
13 x 13 x 6,4 |
0,32 x 0,32 x 0,48 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 6
- Рабочие оси
- X, Y, Z, θX, θY, θZ
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 13 x 13 x 6,4
- Номинальный угол хода, мрад
- 0,32 x 0,32 x 0,48
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 60 x 60 x 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Перемещение по оси X, мкм
- 13
- Перемещение по оси Y, мкм
- 13
- Перемещение по оси Z, мкм
- 6.4
- Вращение по оси θX, мрад
- 0.32
- Вращение по оси θY, мрад
- 0.32
- Вращение по оси θZ, мрад
- 0.48
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0,4 x 0,4 x 0,2
- Разрешение, мкрад
- 0,01 x 0,01 x 0,02
- Разрешение, угл.сек.
- 0,002 х 0,002 х 0,004
- Размер столика, мм
- 98 х 98
- Высота столика, мм
- 63
- Рекомендованный контроллер
- E00.D6, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Гексапод
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 30
- Жёсткость, Н/мкм
- 50
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 5
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Грузоподъёмность, кг
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 1
- Масса, г
- 1000
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
H60.XYZTR1S |
|
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
13 x 13 x 6,4 |
0,32 x 0,32 x 0,48 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 6
- Рабочие оси
- X, Y, Z, θX, θY, θZ
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 13 x 13 x 6,4
- Номинальный угол хода, мрад
- 0,32 x 0,32 x 0,48
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 60 x 60 x 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Перемещение по оси X, мкм
- 13
- Перемещение по оси Y, мкм
- 13
- Перемещение по оси Z, мкм
- 6.4
- Вращение по оси θX, мрад
- 0.32
- Вращение по оси θY, мрад
- 0.32
- Вращение по оси θZ, мрад
- 0.48
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0,8 x 0,8 x 0,4
- Разрешение, мкрад
- 0,02 x 0,02 x 0,04
- Разрешение, угл.сек.
- 0,004 х 0,004 х 0,008
- Размер столика, мм
- 98 х 98
- Высота столика, мм
- 63
- Рекомендованный контроллер
- E00.D6, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Гексапод
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 30
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.25
- Жёсткость, Н/мкм
- 50
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 5
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Грузоподъёмность, кг
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 1
- Масса, г
- 1000
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
H60.XYZTR2K |
|
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
25 x 25 x 12,8 |
0,64 x 0,64 x 0,96 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 6
- Рабочие оси
- X, Y, Z, θX, θY, θZ
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 25 x 25 x 12,8
- Номинальный угол хода, мрад
- 0,64 x 0,64 x 0,96
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 132 x 132 x 198
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Перемещение по оси X, мкм
- 25
- Перемещение по оси Y, мкм
- 25
- Перемещение по оси Z, мкм
- 12.8
- Вращение по оси θX, мрад
- 0.64
- Вращение по оси θY, мрад
- 0.64
- Вращение по оси θZ, мрад
- 0.96
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0,8 x 0,8 x 0,4
- Разрешение, мкрад
- 0,02 x 0,02 x 0,03
- Разрешение, угл.сек.
- 0,004 х 0,004 х 0,006
- Размер столика, мм
- 89 х 89
- Высота столика, мм
- 78
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Гексапод
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 30
- Жёсткость, Н/мкм
- 58
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 5
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Грузоподъёмность, кг
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 1.15
- Масса, г
- 1150
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
H60.XYZTR2S |
|
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
25 x 25 x 12,8 |
0,64 x 0,64 x 0,96 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 6
- Рабочие оси
- X, Y, Z, θX, θY, θZ
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 25 x 25 x 12,8
- Номинальный угол хода, мрад
- 0,64 x 0,64 x 0,96
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 132 x 132 x 198
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Перемещение по оси X, мкм
- 25
- Перемещение по оси Y, мкм
- 25
- Перемещение по оси Z, мкм
- 12.8
- Вращение по оси θX, мрад
- 0.64
- Вращение по оси θY, мрад
- 0.64
- Вращение по оси θZ, мрад
- 0.96
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1,6 x 1,6 x 0,8
- Разрешение, мкрад
- 0,04 x 0,04 x 0,06
- Разрешение, угл.сек.
- 0,008 x 0,008 x 0,012
- Размер столика, мм
- 89 х 89
- Высота столика, мм
- 78
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Гексапод
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 30
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.25
- Жёсткость, Н/мкм
- 58
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 5
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Грузоподъёмность, кг
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 1.15
- Масса, г
- 1150
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
H60.XYZTR5K |
|
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
80 x 80 x 55 |
1,2 x 1,2 x 1,6 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 6
- Рабочие оси
- X, Y, Z, θX, θY, θZ
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 x 80 x 55
- Номинальный угол хода, мрад
- 1,2 x 1,2 x 1,6
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 246 x 246 x 330
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Перемещение по оси X, мкм
- 80
- Перемещение по оси Y, мкм
- 80
- Перемещение по оси Z, мкм
- 55
- Вращение по оси θX, мрад
- 1.2
- Вращение по оси θY, мрад
- 1.2
- Вращение по оси θZ, мрад
- 1.6
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0,5 х 0,5 х 0,5
- Разрешение, мкрад
- 0,5 х 0,5 х 0,5
- Разрешение, угл.сек.
- 0,1 х 0,1 х 0,1
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.5
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.5
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.5
- Разрешение по оси θZ, мкрад
- 0.5
- Размер столика, мм
- 80 х 80
- Высота столика, мм
- 93
- Рекомендованный контроллер
- E00.D6, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Гексапод
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 30
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 5
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Грузоподъёмность, кг
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 1.3
- Масса, г
- 1300
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
H60.XYZTR5S |
|
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
80 x 80 x 55 |
1,2 x 1,2 x 1,6 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 6
- Рабочие оси
- X, Y, Z, θX, θY, θZ
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 x 80 x 55
- Номинальный угол хода, мрад
- 1,2 x 1,2 x 1,6
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 246 x 246 x 330
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Перемещение по оси X, мкм
- 80
- Перемещение по оси Y, мкм
- 80
- Перемещение по оси Z, мкм
- 55
- Вращение по оси θX, мрад
- 1.2
- Вращение по оси θY, мрад
- 1.2
- Вращение по оси θZ, мрад
- 1.6
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0,5 х 0,5 х 0,5
- Разрешение, мкрад
- 0,5 х 0,5 х 0,5
- Разрешение, угл.сек.
- 0,1 х 0,1 х 0,1
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.5
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.5
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.5
- Разрешение по оси θZ, мкрад
- 0.5
- Размер столика, мм
- 80 х 80
- Высота столика, мм
- 93
- Рекомендованный контроллер
- E00.D6, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Гексапод
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 30
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 5
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Грузоподъёмность, кг
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 1.3
- Масса, г
- 1300
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
H61.XYZTR0K-B1 |
|
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
32 x 32 x 28 |
0,24 x 0,24 x 0,3 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 6
- Рабочие оси
- X, Y, Z, θX, θY, θZ
- Количество каналов
- 7
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 32 x 32 x 28
- Максимальная длина хода, мкм
- 40 x 40 x 35
- Номинальный угол хода, мрад
- 0,24 x 0,24 x 0,3
- Максимальный угол хода, мрад
- 0,56 x 0,56 x 0,7
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 40
- Перемещение по оси Y, мкм
- 40
- Перемещение по оси Z, мкм
- 35
- Вращение по оси θX, мрад
- 0.56
- Вращение по оси θY, мрад
- 0.56
- Вращение по оси θZ, мрад
- 0.7
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1 х 1 х 0,5
- Разрешение, мкрад
- 0,01 х 0,01 х 0,01
- Разрешение, угл.сек.
- 0,002 х 0,002 х 0,002
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.5
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.01
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.01
- Разрешение по оси θZ, мкрад
- 0.01
- Размер столика, мм
- 85 х 85
- Высота столика, мм
- 64
- Рекомендованный контроллер
- E51.D7S, E01.A9
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 50 х 50
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 350
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 50
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 10500
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 29 x 29 x 29 x 15 x 15 x 7
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- D-SUB
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 10.5
- Погрешность грузоподъёмности, %
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- < 4
- Масса, г
- <4000
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 200 x 200 x 64
|
|
H61.XYZTR0K-B2 |
|
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
100 х 100 х 25 |
0,4 х 0,4 х 0,24 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 6
- Рабочие оси
- X, Y, Z, θX, θY, θZ
- Количество каналов
- 7
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 25
- Максимальная длина хода, мкм
- 125 х 125 х 31
- Номинальный угол хода, мрад
- 0,4 х 0,4 х 0,24
- Максимальный угол хода, мрад
- 0,5 х 0,5 х 0,3
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 125
- Перемещение по оси Y, мкм
- 125
- Перемещение по оси Z, мкм
- 31
- Вращение по оси θX, мрад
- 0.5
- Вращение по оси θY, мрад
- 0.5
- Вращение по оси θZ, мрад
- 0.3
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 10 х 10 х 2,5
- Разрешение, мкрад
- 0,5 х 0,5 х 0,5
- Разрешение, угл.сек.
- 0,1 х 0,1 х 0,1
- Разрешение по оси X, нм
- 10
- Разрешение по оси Y, нм
- 10
- Разрешение по оси Z, нм
- 2.5
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.5
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.5
- Разрешение по оси θZ, мкрад
- 0.5
- Рекомендованный контроллер
- E51.D7S, E01.A9
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 50 х 50
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 150
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 70
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 2000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 10,8 х 10,8 х 14,4 х 3,6 х 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- D-SUB
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, алюминий
- Горизонтальная грузподъёмность, кг
- 2
- Вертикальная грузоподъёмность, кг
- 0.1
- Инвертированная грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Погрешность грузоподъёмности, %
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- <3
- Масса, г
- <3000
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 190 х 190 х 56
|
|
H61.XYZTR0S-B1 |
|
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
32 x 32 x 28 |
0,24 x 0,24 x 0,3 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 6
- Рабочие оси
- X, Y, Z, θX, θY, θZ
- Количество каналов
- 7
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 32 x 32 x 28
- Максимальная длина хода, мкм
- 40 x 40 x 35
- Номинальный угол хода, мрад
- 0,24 x 0,24 x 0,3
- Максимальный угол хода, мрад
- 0,56 x 0,56 x 0,7
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 40
- Перемещение по оси Y, мкм
- 40
- Перемещение по оси Z, мкм
- 35
- Вращение по оси θX, мрад
- 0.56
- Вращение по оси θY, мрад
- 0.56
- Вращение по оси θZ, мрад
- 0.7
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 2,5 х 1,5 х 1
- Разрешение, мкрад
- 0,02 х 0,02 х 0,02
- Разрешение, угл.сек.
- 0,004 х 0,004 х 0,004
- Разрешение по оси X, нм
- 2.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 2.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.02
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.02
- Разрешение по оси θZ, мкрад
- 0.02
- Размер столика, мм
- 85 х 85
- Высота столика, мм
- 64
- Рекомендованный контроллер
- E51.D7S, E01.A9
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 50 х 50
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 350
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 50
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 10500
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 29 x 29 x 29 x 15 x 15 x 7
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- D-SUB
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 10.5
- Погрешность грузоподъёмности, %
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- < 4
- Масса, г
- <4000
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 200 x 200 x 64
|
|
H61.XYZTR0S-B2 |
|
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
100 х 100 х 25 |
0,4 х 0,4 х 0,24 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Назначение
- Только прямое статичное горизонтальное положение
- Тип
- Прямой
- Количество осей
- 6
- Рабочие оси
- X, Y, Z, θX, θY, θZ
- Количество каналов
- 7
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 25
- Максимальная длина хода, мкм
- 125 х 125 х 31
- Номинальный угол хода, мрад
- 0,4 х 0,4 х 0,24
- Максимальный угол хода, мрад
- 0,5 х 0,5 х 0,3
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 125
- Перемещение по оси Y, мкм
- 125
- Перемещение по оси Z, мкм
- 31
- Вращение по оси θX, мрад
- 0.5
- Вращение по оси θY, мрад
- 0.5
- Вращение по оси θZ, мрад
- 0.3
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 10 х 10 х 2,5
- Разрешение, мкрад
- 0,5 х 0,5 х 0,5
- Разрешение, угл.сек.
- 0,1 х 0,1 х 0,1
- Разрешение по оси X, нм
- 10
- Разрешение по оси Y, нм
- 10
- Разрешение по оси Z, нм
- 2.5
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.5
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.5
- Разрешение по оси θZ, мкрад
- 0.5
- Рекомендованный контроллер
- E51.D7S, E01.A9
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 50 х 50
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 150
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 70
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 2000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 10,8 х 10,8 х 14,4 х 3,6 х 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- D-SUB
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, алюминий
- Горизонтальная грузподъёмность, кг
- 2
- Вертикальная грузоподъёмность, кг
- 0.1
- Инвертированная грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Погрешность грузоподъёмности, %
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- <3
- Масса, г
- <3000
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 190 х 190 х 56
|
|
H62.XYZTR25K |
|
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
160 х 160 х 160 |
20 x 20 x 1,28 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 6
- Рабочие оси
- X, Y, Z, θX, θY, θZ
- Количество каналов
- 7
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200 х 200
- Номинальный угол хода, мрад
- 20 x 20 x 1,28
- Максимальный угол хода, мрад
- 25 x 25 x 1,6
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 100
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 120
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 200
- Вращение по оси θX, мрад
- 25
- Вращение по оси θY, мрад
- 25
- Вращение по оси θZ, мрад
- 1.6
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 2 х 2 х 2
- Разрешение, мкрад
- 0,25 x 0,25 x 0,01
- Разрешение, угл.сек.
- 0,052 х 0,052 х 0,002
- Разрешение по оси X, нм
- 2
- Разрешение по оси Y, нм
- 2
- Разрешение по оси Z, нм
- 2
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.25
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.25
- Разрешение по оси θZ, мкрад
- 0.01
- Диаметр столика, мм
- 35
- Высота столика, мм
- 38
- Рекомендованный контроллер
- E51.D7S, E01.A9
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 140 х 150 х 200 х 270 х 280 х 110
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 14,4 x 14,4 x 28,8 x 14,4 x 14,4 x 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- -
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Погрешность грузоподъёмности, %
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.96
- Масса, г
- 960
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
H62.XYZTR25S |
|
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
160 х 160 х 160 |
20 x 20 x 1,28 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 6
- Рабочие оси
- X, Y, Z, θX, θY, θZ
- Количество каналов
- 7
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200 х 200
- Номинальный угол хода, мрад
- 20 x 20 x 1,28
- Максимальный угол хода, мрад
- 25 x 25 x 1,6
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 100
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 120
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 200
- Вращение по оси θX, мрад
- 25
- Вращение по оси θY, мрад
- 25
- Вращение по оси θZ, мрад
- 1.6
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 7 х 7 х 7
- Разрешение, мкрад
- 0,9 x 0,9 x 0,06
- Разрешение, угл.сек.
- 0,19 х 0,19 х 0,12
- Разрешение по оси X, нм
- 7
- Разрешение по оси Y, нм
- 7
- Разрешение по оси Z, нм
- 7
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.9
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.9
- Разрешение по оси θZ, мкрад
- 0.06
- Диаметр столика, мм
- 35
- Высота столика, мм
- 38
- Рекомендованный контроллер
- E51.D7S, E01.A9
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Повторяемость, %F.S.
- 0.2
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.5
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 140 х 150 х 200 х 270 х 280 х 110
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 14,4 x 14,4 x 28,8 x 14,4 x 14,4 x 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- -
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Погрешность грузоподъёмности, %
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.96
- Масса, г
- 960
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
H63.XYZTR1K |
|
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
4 х 4 х 4 |
0,6 х 0,6 х 0,6 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 6
- Рабочие оси
- X, Y, Z, θX, θY, θZ
- Количество каналов
- 7
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 4 х 4 х 4
- Максимальная длина хода, мкм
- 8 х 8 х 8
- Номинальный угол хода, мрад
- 0,6 х 0,6 х 0,6
- Максимальный угол хода, мрад
- 0,8 х 0,8 х 0,8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 100
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 120
- Перемещение по оси X, мкм
- 8
- Перемещение по оси Y, мкм
- 8
- Перемещение по оси Z, мкм
- 8
- Вращение по оси θX, мрад
- 0.8
- Вращение по оси θY, мрад
- 0.8
- Вращение по оси θZ, мрад
- 0.8
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0,1 х 0,1 х 0,1
- Разрешение, мкрад
- 0,01 х 0,01 х 0,01
- Разрешение, угл.сек.
- 0,002 х 0,002 х 0,002
- Разрешение по оси X, нм
- 0.1
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.1
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.1
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.01
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.01
- Разрешение по оси θZ, мкрад
- 0.01
- Диаметр столика, мм
- 23.5
- Высота столика, мм
- 40
- Рекомендованный контроллер
- E51.D7S, E01.A9
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 25
- Повторяемость, %F.S.
- 0.2
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2330 х 895 х 1425 х 3485 х 5620 х 2300
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 x 1,8 x 1,8 x 3,6 x 3,6 x 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- DB15-HD
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.44
- Масса, г
- 440
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60 x 60 x 40
|
|
H63.XYZTR1S |
|
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
4 х 4 х 4 |
0,6 х 0,6 х 0,6 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 6
- Рабочие оси
- X, Y, Z, θX, θY, θZ
- Количество каналов
- 7
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 4 х 4 х 4
- Максимальная длина хода, мкм
- 8 х 8 х 8
- Номинальный угол хода, мрад
- 0,6 х 0,6 х 0,6
- Максимальный угол хода, мрад
- 0,8 х 0,8 х 0,8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 100
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 120
- Перемещение по оси X, мкм
- 8
- Перемещение по оси Y, мкм
- 8
- Перемещение по оси Z, мкм
- 8
- Вращение по оси θX, мрад
- 0.8
- Вращение по оси θY, мрад
- 0.8
- Вращение по оси θZ, мрад
- 0.8
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1,5 х 1,5 х 1,5
- Разрешение, мкрад
- 0,15 х 0,15 х 0,15
- Разрешение, угл.сек.
- 0,03 х 0,03 х 0,03
- Разрешение по оси X, нм
- 1.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 1.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 1.5
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.15
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.15
- Разрешение по оси θZ, мкрад
- 0.15
- Диаметр столика, мм
- 23.5
- Высота столика, мм
- 40
- Рекомендованный контроллер
- E51.D7S, E01.A9
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 25
- Повторяемость, %F.S.
- 0.25
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.25
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2330 х 895 х 1425 х 3485 х 5620 х 2300
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 x 1,8 x 1,8 x 3,6 x 3,6 x 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- DB15-HD
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.44
- Масса, г
- 440
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60 x 60 x 40
|
|
N31.XY100Z25E |
|
|
X, Y, Z |
100 000 х 100 000 х 25 000 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Длина хода, мм
- 100 х 100 х 25
- Номинальная длина хода, мкм
- 100 000 х 100 000 х 25 000
- Перемещение по оси X, мкм
- 100 000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100 000
- Перемещение по оси Z, мкм
- 25 000
- Разрешение, нм
- 80
- Разрешение по оси X, нм
- 80
- Разрешение по оси Y, нм
- 80
- Разрешение по оси Z, нм
- 80
- Размер столика, мм
- 80 х 60
- Высота столика, мм
- 116.5
- Рекомендованный контроллер
- E71.D4E-H
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
- Повторяемость двунаправленного позиционирования, мкм
- 3
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Максимальная скорость, мм/с
- 2.5
- Датчик
- Инкрементальный энкодер
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 2.5
- Температура эксплуатации, °С
- 0 - 40
- Масса, кг
- 5.3
- Масса, г
- 5300
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
N31.XY50Z100E |
|
|
X, Y, Z |
50 000 х 50 000 х 100 000 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Длина хода, мм
- 50 х 50 х 100
- Номинальная длина хода, мкм
- 50 000 х 50 000 х 100 000
- Перемещение по оси X, мкм
- 50 000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 50 000
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100 000
- Разрешение, нм
- 80
- Разрешение по оси X, нм
- 80
- Разрешение по оси Y, нм
- 80
- Разрешение по оси Z, нм
- 80
- Размер столика, мм
- 80 х 60
- Высота столика, мм
- 154
- Рекомендованный контроллер
- E71.D4E-H
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
- Повторяемость двунаправленного позиционирования, мкм
- 3
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Максимальная скорость, мм/с
- 2.5
- Датчик
- Инкрементальный энкодер
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 2.5
- Температура эксплуатации, °С
- 0 - 40
- Масса, кг
- 4.7
- Масса, г
- 4700
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
N31.XY50Z25E |
|
|
X, Y, Z |
50 000 х 50 000 х 25 000 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Длина хода, мм
- 50 х 50 х 25
- Номинальная длина хода, мкм
- 50 000 х 50 000 х 25 000
- Перемещение по оси X, мкм
- 50 000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 50 000
- Перемещение по оси Z, мкм
- 25 000
- Разрешение, нм
- 80
- Разрешение по оси X, нм
- 80
- Разрешение по оси Y, нм
- 80
- Разрешение по оси Z, нм
- 80
- Размер столика, мм
- 80 х 60
- Высота столика, мм
- 116.5
- Рекомендованный контроллер
- E71.D4E-H
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
- Повторяемость двунаправленного позиционирования, мкм
- 3
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Максимальная скорость, мм/с
- 2.5
- Датчик
- Инкрементальный энкодер
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 2.5
- Температура эксплуатации, °С
- 0 - 40
- Масса, кг
- 4.2
- Масса, г
- 4200
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P11.XYZ100K |
|
|
X, Y, Z |
80 х 80 х 80 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Высота столика, мм
- 36.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- X0.25/Y0.3/Z0.2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 300 х 180
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1, 8 х 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.5
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.6
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.23
- Масса, г
- 230
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 40×40×36,5
|
|
P11.XYZ100S |
|
|
X, Y, Z |
80 х 80 х 80 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3
- Разрешение по оси X, нм
- 3
- Разрешение по оси Y, нм
- 3
- Разрешение по оси Z, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Высота столика, мм
- 36.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 20
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- X0.25/Y0.3/Z0.2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 300 х 180
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1, 8 х 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.5
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.6
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.23
- Масса, г
- 230
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 40×40×36,5
|
|
P12.XY500Z800K |
|
|
X, Y, Z |
500 х 500 х 800 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 3 движущих
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 500 х 500 х 800
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 500
- Перемещение по оси Y, мкм
- 500
- Перемещение по оси Z, мкм
- 800
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 4 х 4 х 6,5
- Разрешение по оси X, нм
- 4
- Разрешение по оси Y, нм
- 4
- Разрешение по оси Z, нм
- 6.5
- Диаметр столика, мм
- 20
- Высота столика, мм
- 32
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 18
- Электроёмкость, мкФ
- 28,8 х 28,8 х 43,2
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Масса, кг
- 1
- Масса, г
- 1000
- Габариты, мм
- 120 х 100 х 38
|
|
P12.XY500Z800S |
|
|
X, Y, Z |
500 х 500 х 800 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 6 (3 движущих + 3 сенсорных)
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 500 х 500 х 800
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 500
- Перемещение по оси Y, мкм
- 500
- Перемещение по оси Z, мкм
- 800
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 14 х 14 х 22
- Разрешение по оси X, нм
- 14
- Разрешение по оси Y, нм
- 14
- Разрешение по оси Z, нм
- 22
- Диаметр столика, мм
- 20
- Высота столика, мм
- 32
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 18
- Электроёмкость, мкФ
- 28,8 х 28,8 х 43,2
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Масса, кг
- 1
- Масса, г
- 1000
- Габариты, мм
- 120 х 100 х 38
|
|
P12.XYZ100K |
|
|
X, Y, Z |
80 х 80 х 80 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1 х 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 60 х 60 / 70 х 70
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 25 / 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- X0,3/Y0,25/Z0,2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 230 х 180 х 150
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 20.4
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.6
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.26
- Масса, г
- 260
- Габариты, мм
- 60×60×24
|
|
P12.XYZ100S |
|
|
X, Y, Z |
80 х 80 х 80 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3 х 3 х 3
- Разрешение по оси X, нм
- 3
- Разрешение по оси Y, нм
- 3
- Разрешение по оси Z, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 60 х 60 / 70 х 70
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 25 / 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 30
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- X0,3/Y0,25/Z0,2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 230 х 180 х 150
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 20.4
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.6
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.26
- Масса, г
- 260
- Габариты, мм
- 60×60×24
|
|
P12A.XY200Z100K |
|
|
X, Y, Z |
200 х 200 х 80 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 200 х 200 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 250 х 250 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 250
- Перемещение по оси Y, мкм
- 250
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3 х 3 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 3
- Разрешение по оси Y, нм
- 3
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 95 х 95
- Высота столика, мм
- 30
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 240 х 240 х 150
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7,2 х 7,2 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 80×80×30
|
|
P12A.XY200Z100S |
|
|
X, Y, Z |
200 х 200 х 80 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 200 х 200 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 250 х 250 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 250
- Перемещение по оси Y, мкм
- 250
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 7 х 7 х 3
- Разрешение по оси X, нм
- 7
- Разрешение по оси Y, нм
- 7
- Разрешение по оси Z, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 95 х 95
- Высота столика, мм
- 30
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Повторяемость, %F.S.
- X0,05/Y0,05/Z0,1
- Прямолинейность, %F.S.
- X0,1/Y0,1/Z0,2
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 240 х 240 х 150
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7,2 х 7,2 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 80×80×30
|
|
P12A.XYZ100K |
|
|
X, Y, Z |
80 х 80 х 80 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1 х 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 80 х 80
- Высота столика, мм
- 28
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <20
- Крен, мкрад
- <20
- Тангаж, мкрад
- <20
- Жёсткость, Н/мкм
- X0.3/Y0.25/Z0.2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 150 х 120
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 20.4
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.35
- Масса, г
- 350
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 85×85×28
|
|
P12A.XYZ100S |
|
|
X, Y, Z |
80 х 80 х 80 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3 х 3 х 3
- Разрешение по оси X, нм
- 3
- Разрешение по оси Y, нм
- 3
- Разрешение по оси Z, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 80 х 80
- Высота столика, мм
- 28
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Время шага без нагрузки, мс
- 30
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.15
- Рыскание, мкрад
- <20
- Крен, мкрад
- <20
- Тангаж, мкрад
- <20
- Жёсткость, Н/мкм
- X0.3/Y0.25/Z0.2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 150 х 120
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 20.4
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.35
- Масса, г
- 350
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 85×85×28
|
|
P12A.XYZ200K |
|
|
X, Y, Z |
160 х 160 х 160 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 2 х 2 х 2
- Разрешение по оси X, нм
- 2
- Разрешение по оси Y, нм
- 2
- Разрешение по оси Z, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 95 х 95
- Высота столика, мм
- 31
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 150 х 130 х 90
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7,2 х 7,2 х 7,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.3
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 95×95×31
|
|
P12A.XYZ200S |
|
|
X, Y, Z |
160 х 160 х 160 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 5,5 х 5,5 х 5,5
- Разрешение по оси X, нм
- 5.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 5.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 5.5
- Размер столика, мм
- 95 х 95
- Высота столика, мм
- 31
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Повторяемость, %F.S.
- 0.4
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.5
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 150 х 130 х 90
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7,2 х 7,2 х 7,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.3
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 95×95×31
|
|
P12B.XYZ100K |
|
|
X, Y, Z |
100 х 100 х 100 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1 х 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Диаметр столика, мм
- 43
- Высота столика, мм
- 38.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 10
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.244
- Масса, г
- 244
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P12B.XYZ100S |
|
|
X, Y, Z |
100 х 100 х 100 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 3 х 3 х 3
- Разрешение по оси X, нм
- 3
- Разрешение по оси Y, нм
- 3
- Разрешение по оси Z, нм
- 3
- Диаметр столика, мм
- 43
- Высота столика, мм
- 38.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 10
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.244
- Масса, г
- 244
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P13.XY50Z7K |
|
|
X, Y, Z |
34 х 34 х 6 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 34 х 34 х 6
- Максимальная длина хода, мкм
- 43 х 43 х 8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 43
- Перемещение по оси Y, мкм
- 43
- Перемещение по оси Z, мкм
- 8
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0,5 х 0,5 х 0,1
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.1
- Размер столика, мм
- 35 х 35
- Высота столика, мм
- 36
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 3
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 550 х 520 х 8700
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,8 х 0,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.8
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.2
- Масса, г
- 200
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 35×35×36
|
|
P13.XY50Z7S |
|
|
X, Y, Z |
34 х 34 х 6 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 34 х 34 х 6
- Максимальная длина хода, мкм
- 43 х 43 х 8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 43
- Перемещение по оси Y, мкм
- 43
- Перемещение по оси Z, мкм
- 8
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1,5 х 1,5 х 0,2
- Разрешение по оси X, нм
- 1.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 1.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.5
- Размер столика, мм
- 35 х 35
- Высота столика, мм
- 36
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 30
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 550 х 520 х 8700
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,8 х 0,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.8
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.2
- Масса, г
- 200
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 35×35×36
|
|
P13.XYZ40K |
|
|
X, Y, Z |
30 х 30 х 30 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 30 х 30 х 30
- Максимальная длина хода, мкм
- 37,5 х 37,5 х 37,5
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 37.5
- Перемещение по оси Y, мкм
- 37.5
- Перемещение по оси Z, мкм
- 37.5
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0.5
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.5
- Размер столика, мм
- 26 х 26
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 3
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <5
- Крен, мкрад
- <5
- Тангаж, мкрад
- <5
- Жёсткость, Н/мкм
- X0.1/Y0.15/Z0.2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 350 х 400 х 580
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,8 х 0,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 8.3
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.05
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.22
- Масса, г
- 220
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 26×26×26
|
|
P13.XYZ40S |
|
|
X, Y, Z |
30 х 30 х 30 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 30 х 30 х 30
- Максимальная длина хода, мкм
- 37,5 х 37,5 х 37,5
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 37.5
- Перемещение по оси Y, мкм
- 37.5
- Перемещение по оси Z, мкм
- 37.5
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 26 х 26
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 30
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Рыскание, мкрад
- <5
- Крен, мкрад
- <5
- Тангаж, мкрад
- <5
- Жёсткость, Н/мкм
- X0.1/Y0.15/Z0.2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 350 х 400 х 580
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,8 х 0,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 8.3
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.05
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.22
- Масса, г
- 220
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 26×26×26
|
|
P13A.XYZ80K-4 |
|
|
X, Y, Z |
25 х 25 х 25 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Назначение
- Для сверхнизких температур
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 25 х 25 х 25
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 25
- Перемещение по оси Y, мкм
- 25
- Перемещение по оси Z, мкм
- 25
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0,3 х 0,3 х 0,3
- Разрешение по оси X, нм
- 0.3
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.3
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.3
- Размер столика, мм
- 32 х 32
- Высота столика, мм
- 14.6
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Да
- Совместим со сверхнизкими температурами, К
- 4
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 5 х 5
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 350
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,75 х 0,75 х 1,5
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- Оголенный провод
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Титан
- Материал жилы кабеля
- Витой спаренный провод из фосфорной бронзы
- Грузоподъёмность, кг
- 0.1
- Температура эксплуатации, °С
- -269
- Габариты, мм
- 70×70×23
|
|
P13A.XYZ80K-R |
|
|
X, Y, Z |
80 х 80 х 80 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80 х 80
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 60
- Перемещение по оси X, мкм
- 80
- Перемещение по оси Y, мкм
- 80
- Перемещение по оси Z, мкм
- 80
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1 х 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 32 х 32
- Высота столика, мм
- 14.6
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 5 х 5
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 350
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 5,5 х 5,5 х 11
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- Оголенный провод
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Нержавеющая сталь
- Материал жилы кабеля
- Стандартный провод
- Грузоподъёмность, кг
- 0.1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 70×70×23
|
|
P15.XYZ100K-B1 |
|
|
X, Y, Z |
1000 х 1000 х 1000 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 1000 х 1000 х 1000
- Максимальная длина хода, мкм
- 1200 х 1200 х 1200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 1200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 1200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 1200
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1 х 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 85 х 85
- Высота столика, мм
- 36
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 60 х 60
- Рыскание, мкрад
- 30
- Крен, мкрад
- 30
- Тангаж, мкрад
- 30
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.8
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 300 х 350 х 400
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7,2 х 7,2 х 14,4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 100/20
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.7
- Масса, г
- 700
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 140×140×36
|
|
P15.XYZ100K-B2 |
|
|
X, Y, Z |
100 х 100 х 200 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 4
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 200
- Максимальная длина хода, мкм
- 120 х 120 х 240
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 120
- Перемещение по оси Y, мкм
- 120
- Перемещение по оси Z, мкм
- 240
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1 х 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 85 х 85
- Высота столика, мм
- 36
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 60 х 60
- Рыскание, мкрад
- 30
- Крен, мкрад
- 30
- Тангаж, мкрад
- 30
- Жёсткость, Н/мкм
- 1,6/1,6/0,8
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 389 х 355 х 400
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 14,4 х 14,4 х 14,4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- XY150/20
Z100/20
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 2
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.75
- Масса, г
- 750
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 140×140×36
|
|
P15.XYZ100S-B1 |
|
|
X, Y, Z |
1000 х 1000 х 1000 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 1000 х 1000 х 1000
- Максимальная длина хода, мкм
- 1200 х 1200 х 1200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 1200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 1200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 1200
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3,5 х 3,5 х 3,5
- Разрешение по оси X, нм
- 3.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 3.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 3.5
- Размер столика, мм
- 85 х 85
- Высота столика, мм
- 36
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 60 х 60
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Рыскание, мкрад
- 30
- Крен, мкрад
- 30
- Тангаж, мкрад
- 30
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.8
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 300 х 350 х 400
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7,2 х 7,2 х 14,4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 100/20
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.7
- Масса, г
- 700
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 140×140×36
|
|
P15.XYZ100S-B2 |
|
|
X, Y, Z |
100 х 100 х 200 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 4
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 200
- Максимальная длина хода, мкм
- 120 х 120 х 240
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 120
- Перемещение по оси Y, мкм
- 120
- Перемещение по оси Z, мкм
- 240
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3,5 х 3,5 х 3,5
- Разрешение по оси X, нм
- 3.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 3.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 3.5
- Размер столика, мм
- 85 х 85
- Высота столика, мм
- 36
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 60 х 60
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Рыскание, мкрад
- 30
- Крен, мкрад
- 30
- Тангаж, мкрад
- 30
- Жёсткость, Н/мкм
- 1,6/1,6/0,8
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 389 х 355 х 400
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 14,4 х 14,4 х 14,4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- XY150/20
Z100/20
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 2
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.75
- Масса, г
- 750
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 140×140×36
|
|
P15.XYZ300K |
|
|
X, Y, Z |
2400 х 2400 х 2400 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 2400 х 2400 х 2400
- Максимальная длина хода, мкм
- 3000 х 3000 х 3000
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 3000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 3000
- Перемещение по оси Z, мкм
- 3000
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 2,5 х 2,5 х 2,5
- Разрешение по оси X, нм
- 2.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 2.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 2.5
- Размер столика, мм
- 94 х 94
- Высота столика, мм
- 30
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 66 х 66
- Время шага без нагрузки, мс
- 10
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <30
- Крен, мкрад
- <30
- Тангаж, мкрад
- <30
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 140 х 170 х 220
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 10,8 х 10,8 х 13,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 50/10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.83
- Масса, г
- 830
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 150×150×30
|
|
P15.XYZ300K-C1 |
|
|
X, Y, Z |
2400 х 2400 х 2400 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 4
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 2400 х 2400 х 2400
- Максимальная длина хода, мкм
- 3000 х 3000 х 3000
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 3000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 3000
- Перемещение по оси Z, мкм
- 3000
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 2,5 х 2,5 х 2,5
- Разрешение по оси X, нм
- 2.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 2.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 2.5
- Размер столика, мм
- 128 х 128
- Высота столика, мм
- 35
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 66 х 66
- Рыскание, мкрад
- <150
- Крен, мкрад
- <150
- Тангаж, мкрад
- <150
- Жёсткость, Н/мкм
- 1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 190 х 145 х 249
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 21,68 х 21,68 х 21,68
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 200/10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 3
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 150×150×35
|
|
P15.XYZ300K-C2 |
|
|
X, Y, Z |
2400 х 2400 х 2400 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 4
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 2400 х 2400 х 2400
- Максимальная длина хода, мкм
- 3000 х 3000 х 3000
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 3000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 3000
- Перемещение по оси Z, мкм
- 3000
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 2,5 х 2,5 х 2,5
- Разрешение по оси X, нм
- 2.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 2.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 2.5
- Размер столика, мм
- 128 х 128
- Высота столика, мм
- 35
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 66 х 66
- Рыскание, мкрад
- <150
- Крен, мкрад
- <150
- Тангаж, мкрад
- <150
- Жёсткость, Н/мкм
- 1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 180 х 200 х 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 21,6 х 21,6 х 43
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 200/10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 150×150×35
|
|
P15.XYZ300S |
|
|
X, Y, Z |
2400 х 2400 х 2400 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 2400 х 2400 х 2400
- Максимальная длина хода, мкм
- 3000 х 3000 х 3000
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 3000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 3000
- Перемещение по оси Z, мкм
- 3000
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 8 х 8 х 8
- Разрешение по оси X, нм
- 8
- Разрешение по оси Y, нм
- 8
- Разрешение по оси Z, нм
- 8
- Размер столика, мм
- 94 х 94
- Высота столика, мм
- 30
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 66 х 66
- Время шага без нагрузки, мс
- 60
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Рыскание, мкрад
- <30
- Крен, мкрад
- <30
- Тангаж, мкрад
- <30
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 140 х 170 х 220
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 10,8 х 10,8 х 13,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 50/10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.83
- Масса, г
- 830
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 150×150×30
|
|
P15.XYZ300S-C1 |
|
|
X, Y, Z |
2400 х 2400 х 2400 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 4
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 2400 х 2400 х 2400
- Максимальная длина хода, мкм
- 3000 х 3000 х 3000
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 3000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 3000
- Перемещение по оси Z, мкм
- 3000
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 8 х 8 х 8
- Разрешение по оси X, нм
- 8
- Разрешение по оси Y, нм
- 8
- Разрешение по оси Z, нм
- 8
- Размер столика, мм
- 128 х 128
- Высота столика, мм
- 35
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 66 х 66
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Рыскание, мкрад
- <150
- Крен, мкрад
- <150
- Тангаж, мкрад
- <150
- Жёсткость, Н/мкм
- 1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 190 х 145 х 249
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 21,68 х 21,68 х 21,68
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 200/10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 3
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 150×150×35
|
|
P15.XYZ300S-C2 |
|
|
X, Y, Z |
2400 х 2400 х 2400 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 4
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 2400 х 2400 х 2400
- Максимальная длина хода, мкм
- 3000 х 3000 х 3000
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 3000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 3000
- Перемещение по оси Z, мкм
- 3000
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 8 х 8 х 8
- Разрешение по оси X, нм
- 8
- Разрешение по оси Y, нм
- 8
- Разрешение по оси Z, нм
- 8
- Размер столика, мм
- 128 х 128
- Высота столика, мм
- 35
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 66 х 66
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Рыскание, мкрад
- <150
- Крен, мкрад
- <150
- Тангаж, мкрад
- <150
- Жёсткость, Н/мкм
- 1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 180 х 200 х 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 21,6 х 21,6 х 43
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 200/10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 150×150×35
|
|
P18.XYZ200K |
|
|
X, Y, Z |
160 х 160 х 160 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 2 х 2 х 2
- Разрешение по оси X, нм
- 2
- Разрешение по оси Y, нм
- 2
- Разрешение по оси Z, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 37 х 37
- Высота столика, мм
- 57.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 10
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <25
- Крен, мкрад
- <25
- Тангаж, мкрад
- <25
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 120 х 200 х 300
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 11 х 11 х 11
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- LEMO
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.8
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.75
- Масса, г
- 750
- Габариты, мм
- 100×100×57.5
|
|
P18.XYZ200S |
|
|
X, Y, Z |
160 х 160 х 160 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 7 х 7 х 7
- Разрешение по оси X, нм
- 7
- Разрешение по оси Y, нм
- 7
- Разрешение по оси Z, нм
- 7
- Размер столика, мм
- 37 х 37
- Высота столика, мм
- 57.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 80
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.2
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.4
- Рыскание, мкрад
- <25
- Крен, мкрад
- <25
- Тангаж, мкрад
- <25
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 120 х 200 х 300
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 11 х 11 х 11
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- LEMO
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.8
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.75
- Масса, г
- 750
- Габариты, мм
- 100×100×57.5
|
|
P32.ZT4K |
|
|
Z, θX, θY |
30 |
5 х 5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- Z, θX, θY
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 30
- Максимальная длина хода, мкм
- 37.5
- Номинальный угол хода, мрад
- 5 х 5
- Максимальный угол хода, мрад
- 6 х 6
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 1030 х 1030
- Максимальный угол хода, угл.сек.
- 1230 х 1230
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси Z, мкм
- 37.5
- Вращение по оси θX, мрад
- 6
- Вращение по оси θY, мрад
- 6
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0.5
- Разрешение, мкрад
- 0,05 х 0,05
- Разрешение, угл.сек.
- 0,01 х 0,01
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.5
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.05
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.05
- Диаметр столика, мм
- 25
- Высота столика, мм
- 55
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 2
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.3
- Масса, г
- 300
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P32.ZT4S |
|
|
Z, θX, θY |
30 |
5 х 5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- Z, θX, θY
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 30
- Максимальная длина хода, мкм
- 37.5
- Номинальный угол хода, мрад
- 5 х 5
- Максимальный угол хода, мрад
- 6 х 6
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 1030 х 1030
- Максимальный угол хода, угл.сек.
- 1230 х 1230
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси Z, мкм
- 37.5
- Вращение по оси θX, мрад
- 6
- Вращение по оси θY, мрад
- 6
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1
- Разрешение, мкрад
- 0,2 х 0,2
- Разрешение, угл.сек.
- 0,04 х 0,04
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.2
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.2
- Диаметр столика, мм
- 25
- Высота столика, мм
- 55
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.02
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.05
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.3
- Масса, г
- 300
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P32.ZT6K |
|
|
Z, θX, θY |
45 |
9 х 9 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- Z, θX, θY
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 45
- Максимальная длина хода, мкм
- 55
- Номинальный угол хода, мрад
- 9 х 9
- Максимальный угол хода, мрад
- 11 х 11
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 1855 х 1855
- Максимальный угол хода, угл.сек.
- 2270 х 2270
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси Z, мкм
- 55
- Вращение по оси θX, мрад
- 11
- Вращение по оси θY, мрад
- 11
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0.5
- Разрешение, мкрад
- 0,1 х 0,1
- Разрешение, угл.сек.
- 0,02 х 0,02
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.5
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.1
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.1
- Диаметр столика, мм
- 25
- Высота столика, мм
- 73
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 4
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 5,4 х 5,4 х 5,4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.35
- Масса, г
- 350
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P32.ZT6S |
|
|
Z, θX, θY |
45 |
9 х 9 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- Z, θX, θY
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 45
- Максимальная длина хода, мкм
- 55
- Номинальный угол хода, мрад
- 9 х 9
- Максимальный угол хода, мрад
- 11 х 11
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 1855 х 1855
- Максимальный угол хода, угл.сек.
- 2270 х 2270
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси Z, мкм
- 55
- Вращение по оси θX, мрад
- 11
- Вращение по оси θY, мрад
- 11
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1.5
- Разрешение, мкрад
- 0,3 х 0,3
- Разрешение, угл.сек.
- 0,06 х 0,06
- Разрешение по оси Z, нм
- 1.5
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.3
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.3
- Диаметр столика, мм
- 25
- Высота столика, мм
- 73
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 10
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- θx θy:0,2 Z:0,5
- Прямолинейность, %F.S.
- θx θy0,2 Z:0,5
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 4
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 5,4 х 5,4 х 5,4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.35
- Масса, г
- 350
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P60.XYZ200K |
|
|
X, Y, Z |
160 х 160 х 160 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 4
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 2
- Разрешение по оси X, нм
- 2
- Разрешение по оси Y, нм
- 2
- Разрешение по оси Z, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 50 х 50
- Высота столика, мм
- 30.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- Без хода: 270 / Ход: 20
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 110
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 100
- Ход измерения резонансной частоты
- 80 нм
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 14 х 14 х 7,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.3
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.74
- Масса, г
- 740
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 120×120×30.5
|
|
P60.XYZ200S |
|
|
X, Y, Z |
160 х 160 х 160 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 4
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 5.5
- Разрешение по оси X, нм
- 5.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 5.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 5.5
- Размер столика, мм
- 50 х 50
- Высота столика, мм
- 30.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- Без хода: 270 / Ход: 20
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 110
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 100
- Ход измерения резонансной частоты
- 80 нм
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 14 х 14 х 7,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.3
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.74
- Масса, г
- 740
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 120×120×30,5
|
|
P63.XY18Z8K |
|
|
X, Y, Z |
16 х 16 х 6 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 16 х 16 х 6
- Максимальная длина хода, мкм
- 18 х 18 х 8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 18
- Перемещение по оси Y, мкм
- 18
- Перемещение по оси Z, мкм
- 18
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0,6 х 0,6 х 0,2
- Разрешение по оси X, нм
- 0.2
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.2
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.1
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Высота столика, мм
- 42
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Прямолинейность, %F.S.
- X,Y 0,3/Z
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2000 х 2000 х 1000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.235
- Масса, г
- 235
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P63.XY18Z8S |
|
|
X, Y, Z |
16 х 16 х 6 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 16 х 16 х 6
- Максимальная длина хода, мкм
- 18 х 18 х 8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 18
- Перемещение по оси Y, мкм
- 18
- Перемещение по оси Z, мкм
- 18
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0,6 х 0,6 х 0,2
- Разрешение по оси X, нм
- 0.6
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.6
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.2
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Высота столика, мм
- 42
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.25
- Прямолинейность, %F.S.
- X,Y 0,3/Z
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2000 х 2000 х 1000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.235
- Масса, г
- 235
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P63.XYZ7K |
|
|
X, Y, Z |
5,5 х 5,5 х 5,5 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 5,5 х 5,5 х 5,5
- Максимальная длина хода, мкм
- 6,8 х 6,8 х 6,8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 6.8
- Перемещение по оси Y, мкм
- 6.8
- Перемещение по оси Z, мкм
- 6.8
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.1
- Разрешение по оси X, нм
- 0.1
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.1
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.1
- Размер столика, мм
- 30 х 30
- Высота столика, мм
- 43
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.3
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- X0.9/Y1/Z1.2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 900 х 950 х 1200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,8 х 0,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 7.2
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.4
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.16
- Масса, г
- 160
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 30×30×42
|
|
P63.XYZ7S |
|
|
X, Y, Z |
5,5 х 5,5 х 5,5 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 5,5 х 5,5 х 5,5
- Максимальная длина хода, мкм
- 6,8 х 6,8 х 6,8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 6.8
- Перемещение по оси Y, мкм
- 6.8
- Перемещение по оси Z, мкм
- 6.8
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.2
- Разрешение по оси X, нм
- 0.2
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.2
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.2
- Размер столика, мм
- 30 х 30
- Высота столика, мм
- 43
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 1.5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.2
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.4
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- X0.9/Y1/Z1.2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 900 х 950 х 1200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,8 х 0,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 7.2
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.4
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.16
- Масса, г
- 160
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 30×30×42
|
|
P66.XYZ30K |
|
|
X, Y, Z |
24 х 24 х 24 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 24 х 24 х 24
- Максимальная длина хода, мкм
- 30 х 30 х 30
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 30
- Перемещение по оси Y, мкм
- 30
- Перемещение по оси Z, мкм
- 30
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.5
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.5
- Размер столика, мм
- 22 х 22
- Высота столика, мм
- 55
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 1
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 600 х 700 х 1200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.46
- Масса, г
- 460
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×55
|
|
P66.XYZ30S |
|
|
X, Y, Z |
24 х 24 х 24 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 24 х 24 х 24
- Максимальная длина хода, мкм
- 30 х 30 х 30
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 30
- Перемещение по оси Y, мкм
- 30
- Перемещение по оси Z, мкм
- 30
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 22 х 22
- Высота столика, мм
- 55
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 30
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.15
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 600 х 700 х 1200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.46
- Масса, г
- 460
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×55
|
|
P79.XYZ50K |
|
|
X, Y, Z |
40 х 40 х 40 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 40 х 40 х 40
- Максимальная длина хода, мкм
- 50 х 50 х 50
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 50
- Перемещение по оси Y, мкм
- 50
- Перемещение по оси Z, мкм
- 50
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0,5 х 0,5 х 0,5
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.5
- Размер столика, мм
- 100 х 100
- Высота столика, мм
- 20
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 84 х 65
- Время шага без нагрузки, мс
- 6
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <20
- Крен, мкрад
- <20
- Тангаж, мкрад
- <20
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,2 х 3,2 х 3,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25/-
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.72
- Масса, г
- 720
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 140×120×20
|
|
P79.XYZ50K-B2 |
|
|
X, Y, Z |
40 х 40 х 40 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 40 х 40 х 40
- Максимальная длина хода, мкм
- 50 х 50 х 50
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 50
- Перемещение по оси Y, мкм
- 50
- Перемещение по оси Z, мкм
- 50
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0,5 х 0,5 х 0,5
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.5
- Размер столика, мм
- 105 х 71
- Высота столика, мм
- 20
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 84 х 65
- Время шага без нагрузки, мс
- 6
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <20
- Крен, мкрад
- <20
- Тангаж, мкрад
- <20
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 499 х 589 х 470
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,2 х 3,2 х 3,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25/-
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 1.4
- Масса, г
- 1400
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P79.XYZ50S |
|
|
X, Y, Z |
40 х 40 х 40 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 40 х 40 х 40
- Максимальная длина хода, мкм
- 50 х 50 х 50
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 50
- Перемещение по оси Y, мкм
- 50
- Перемещение по оси Z, мкм
- 50
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1,5 х 1,5 х 1,5
- Разрешение по оси X, нм
- 1.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 1.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 1.5
- Размер столика, мм
- 100 х 100
- Высота столика, мм
- 20
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 84 х 65
- Время шага без нагрузки, мс
- 30
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <20
- Крен, мкрад
- <20
- Тангаж, мкрад
- <20
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,2 х 3,2 х 3,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25/-
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.72
- Масса, г
- 720
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 140×120×20
|
|
P79.XYZ50S-B2 |
|
|
X, Y, Z |
40 х 40 х 40 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 40 х 40 х 40
- Максимальная длина хода, мкм
- 50 х 50 х 50
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 50
- Перемещение по оси Y, мкм
- 50
- Перемещение по оси Z, мкм
- 50
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1,5 х 1,5 х 1,5
- Разрешение по оси X, нм
- 1.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 1.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 1.5
- Размер столика, мм
- 105 х 71
- Высота столика, мм
- 20
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 84 х 65
- Время шага без нагрузки, мс
- 30
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <20
- Крен, мкрад
- <20
- Тангаж, мкрад
- <20
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 499 х 589 х 470
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,2 х 3,2 х 3,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25/-
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 1.4
- Масса, г
- 1400
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
S23.ZT1K |
|
|
Z, θX, θY |
8 |
1,2 х 1,2 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- Z, θX, θY
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 8
- Максимальная длина хода, мкм
- 10
- Номинальный угол хода, мрад
- 1,2 х 1,2
- Максимальный угол хода, мрад
- 1,5 х 1,5
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 248 х 248
- Максимальный угол хода, угл.сек.
- 309 х 309
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси Z, мкм
- 10
- Вращение по оси θX, мрад
- 1.5
- Вращение по оси θY, мрад
- 1.5
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0.08
- Разрешение, мкрад
- 0,02 х 0,02
- Разрешение, угл.сек.
- 0,004 х 0,004
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.08
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.02
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.02
- Диаметр столика, мм
- 19.5
- Высота столика, мм
- 19.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 10
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 7500 х 3200 х 3500
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,5 х 0,5 х 0,5
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.08
- Масса, г
- 80
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
S51.ZT1K |
|
|
Z, θX, θY |
80 |
1,8 х 1,8 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- Z, θX, θY
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100
- Номинальный угол хода, мрад
- 1,8 х 1,8
- Максимальный угол хода, мрад
- 2,2 х 2,2
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 380 х 380
- Максимальный угол хода, угл.сек.
- 440 х 440
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Вращение по оси θX, мрад
- 2.2
- Вращение по оси θY, мрад
- 2.2
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 4
- Разрешение, мкрад
- 0,05 х 0,05
- Разрешение, угл.сек.
- 0,01 х 0,1
- Разрешение по оси Z, нм
- 4
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.05
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.05
- Размер столика, мм
- 130 х 130
- Высота столика, мм
- 20
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 80 х 80
- Время шага без нагрузки, мс
- 4.5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Жёсткость, Н/мкм
- 1.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 340
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 120/15
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.82
- Масса, г
- 820
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 150 х 150 х 20
|
|
S51.ZT1K-C1 |
|
|
Z, θX, θY |
90 |
1,8 х 1,8 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- Z, θX, θY
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 90
- Максимальная длина хода, мкм
- 110
- Номинальный угол хода, мрад
- 1,8 х 1,8
- Максимальный угол хода, мрад
- 2,2 х 2,2
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 380 х 380
- Максимальный угол хода, угл.сек.
- 440 х 440
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси Z, мкм
- 110
- Вращение по оси θX, мрад
- 2.2
- Вращение по оси θY, мрад
- 2.2
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 4
- Разрешение, мкрад
- 0,05 х 0,05
- Разрешение по оси Z, нм
- 4
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.05
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.05
- Размер столика, мм
- 135 х 135
- Высота столика, мм
- 22.3
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Жёсткость, Н/мкм
- 1.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 300
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 10,8 х 10,8 х 10,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 10
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±0,1
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 120/15
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 2.5
- Масса, кг
- 0.815
- Масса, г
- 815
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 165 х 165 х 24,5
|
|
S51.ZT1S |
|
|
Z, θX, θY |
80 |
1,8 х 1,8 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- Z, θX, θY
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100
- Номинальный угол хода, мрад
- 1,8 х 1,8
- Максимальный угол хода, мрад
- 2,2 х 2,2
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 380 х 380
- Максимальный угол хода, угл.сек.
- 440 х 440
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Вращение по оси θX, мрад
- 2.2
- Вращение по оси θY, мрад
- 2.2
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 7
- Разрешение, мкрад
- 0,25 х 0,25
- Разрешение, угл.сек.
- 0,05 х 0,05
- Разрешение по оси Z, нм
- 7
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.25
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.25
- Размер столика, мм
- 130 х 130
- Высота столика, мм
- 20
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 80 х 80
- Время шага без нагрузки, мс
- 30
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Жёсткость, Н/мкм
- 1.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 340
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 120/15
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.82
- Масса, г
- 820
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 150 х 150 х 20
|
|
S51.ZT1S-C1 |
|
|
Z, θX, θY |
90 |
1,8 х 1,8 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- Z, θX, θY
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 90
- Максимальная длина хода, мкм
- 110
- Номинальный угол хода, мрад
- 1,8 х 1,8
- Максимальный угол хода, мрад
- 2,2 х 2,2
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 380 х 380
- Максимальный угол хода, угл.сек.
- 440 х 440
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси Z, мкм
- 110
- Вращение по оси θX, мрад
- 2.2
- Вращение по оси θY, мрад
- 2.2
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 7
- Разрешение, мкрад
- 0,25 х 0,25
- Разрешение по оси Z, нм
- 7
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.25
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.25
- Размер столика, мм
- 135 х 135
- Высота столика, мм
- 22.3
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 35
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Жёсткость, Н/мкм
- 1.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 300
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 10,8 х 10,8 х 10,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 10
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±0,1
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 120/15
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 2.5
- Масса, кг
- 0.815
- Масса, г
- 815
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 150 х 150 х 22,3
|
|
S51.ZT2K-C1 |
|
|
Z, θX, θY |
192 |
3,2 х 3,2 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- Z, θX, θY
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 192
- Максимальная длина хода, мкм
- 240
- Номинальный угол хода, мрад
- 3,2 х 3,2
- Максимальный угол хода, мрад
- 4 х 4
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 660 х 660
- Максимальный угол хода, угл.сек.
- 825 х 825
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси Z, мкм
- 240
- Вращение по оси θX, мрад
- 4
- Вращение по оси θY, мрад
- 4
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 2
- Разрешение, мкрад
- 0,06 х 0,06
- Разрешение по оси Z, нм
- 2
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.06
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.06
- Размер столика, мм
- 150 х 150
- Высота столика, мм
- 24.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 96 х 96
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 160
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 21,6 х 21,6 х 21,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±0,1
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 1.07
- Масса, г
- 1070
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 165 х 165 х 24,5
|
|
S51.ZT2S-C1 |
|
|
Z, θX, θY |
192 |
3,2 х 3,2 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- Z, θX, θY
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 192
- Максимальная длина хода, мкм
- 240
- Номинальный угол хода, мрад
- 3,2 х 3,2
- Максимальный угол хода, мрад
- 4 х 4
- Номинальный угол хода, угл.сек
- 660 х 660
- Максимальный угол хода, угл.сек.
- 825 х 825
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси Z, мкм
- 240
- Вращение по оси θX, мрад
- 4
- Вращение по оси θY, мрад
- 4
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 7
- Разрешение, мкрад
- 0,15 х 0,15
- Разрешение по оси Z, нм
- 7
- Разрешение по оси θX, мкрад
- 0.15
- Разрешение по оси θY, мкрад
- 0.15
- Размер столика, мм
- 150 х 150
- Высота столика, мм
- 24.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 96 х 96
- Повторяемость, %F.S.
- 0,3 х 0,1 х 0,1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.3
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 160
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 21,6 х 21,6 х 21,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±0,1
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 1.07
- Масса, г
- 1070
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 165 х 165 х 24,5
|
|
XD106.XYZ200K |
|
|
X, Y, Z |
200/80 х 200/80 х 100/50 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Назначение
- Только прямое статичное горизонтальное положение
- Тип
- Прямой
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 7 (4 движущих + 3 сенсорных)
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 200/80 х 200/80 х 100/50
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200 / 80
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200 / 80
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100 / 50
- Погрешность хода, %
- 10 / 20
- Разрешение, нм
- 2 х 2 х 2
- Разрешение по оси X, нм
- 2
- Разрешение по оси Y, нм
- 2
- Разрешение по оси Z, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 80 х 80
- Высота столика, мм
- 34.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Да
- Совместим со сверхнизкими температурами, К
- 100
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 50
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 180 х 180 х 250
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 140 х 140 х 200
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6 х 7,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Титан
- Грузоподъёмность, кг
- 0.7
- Температура эксплуатации, °С
- -173 - 80
- Масса, кг
- 1.36
- Масса, г
- 1360
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 125 х 125 х 34,5
|
|
XD106.XYZ60K |
|
|
X, Y, Z |
70/30 х 70/30 х 70/30 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Назначение
- Только инвертированное положение
- Тип
- Инвертированный
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 6 (3 движущих + 3 сенсорных)
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 70/30 х 70/30 х 70/30
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 60 / 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 70 / 30
- Перемещение по оси Y, мкм
- 70 / 30
- Перемещение по оси Z, мкм
- 70 / 30
- Погрешность хода, %
- 10 / 20
- Разрешение, нм
- 2 х 2 х 2
- Разрешение по оси X, нм
- 2
- Разрешение по оси Y, нм
- 2
- Разрешение по оси Z, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 39 х 39
- Высота столика, мм
- 35
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Да
- Совместим со сверхнизкими температурами, К
- 4
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 10
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 415 х 465 х 497
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 105 х 105 х 229
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 5,4 х 5,4 х 10,9
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Титан
- Грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Инвертированная грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Температура эксплуатации, °С
- -173 - 80
- Масса, кг
- 0.22
- Масса, г
- 220
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 39 х 39 х 35
|
|
XD107.XY100Z20K |
|
|
X, Y, Z |
80 х 80 х 64 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80 х 64
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 80
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 80
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1 х 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 94 х 94
- Высота столика, мм
- 24.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 50 х 50
- Рыскание, мкрад
- ≤ 30
- Крен, мкрад
- ≤ 30
- Тангаж, мкрад
- ≤ 30
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 220 х 220 х 160
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 110 х 110 х 80
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 400
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.4
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.42
- Масса, г
- 420
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 94×94×24.5
|
|
XD107.XY100Z20S |
|
|
X, Y, Z |
80 х 80 х 64 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80 х 64
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 80
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 80
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3 х 3 х 3
- Разрешение по оси X, нм
- 3
- Разрешение по оси Y, нм
- 3
- Разрешение по оси Z, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 94 х 94
- Высота столика, мм
- 24.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 50 х 50
- Повторяемость, %F.S.
- XY0.02/Z0.02
- Прямолинейность, %F.S.
- XY0.2/Z0.1
- Рыскание, мкрад
- ≤ 30
- Крен, мкрад
- ≤ 30
- Тангаж, мкрад
- ≤ 30
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 220 х 220 х 160
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 110 х 110 х 80
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 400
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.4
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.42
- Масса, г
- 420
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 94×94×24.5
|
|
XD601.XYZ100K |
|
|
X, Y, Z |
130 х 130 х 250 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 130 х 130 х 250
- Максимальная длина хода, мкм
- 180 х 180 х 300
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 180
- Перемещение по оси Y, мкм
- 180
- Перемещение по оси Z, мкм
- 300
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1,5 х 1,5 х 2,5
- Разрешение по оси X, нм
- 1.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 1.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 2.5
- Размер столика, мм
- 23 х 18
- Высота столика, мм
- 25 - 43
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Допуск рабочей частоты, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 180 х 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 2,2 х 2,2 х 7
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 50×62×41
|
|
XD601.XYZ100S |
|
|
X, Y, Z |
130 х 130 х 250 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 130 х 130 х 250
- Максимальная длина хода, мкм
- 180 х 180 х 300
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 180
- Перемещение по оси Y, мкм
- 180
- Перемещение по оси Z, мкм
- 300
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 4,5 х 4,5 х 8,5
- Разрешение по оси X, нм
- 4.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 4.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 8.5
- Размер столика, мм
- 23 х 18
- Высота столика, мм
- 25 - 43
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.4
- Рабочая частота, Гц
- 40
- Использованная нагрузка для измерения рабочей частоты, г
- 50
- Допуск рабочей частоты, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 180 х 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 2,2 х 2,2 х 7
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 50×62×41
|
|
XD611.XYZ500K |
|
|
X, Y, Z |
400 х 400 х 400 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 400 х 400 х 400
- Максимальная длина хода, мкм
- 500 х 500 х 500
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 500
- Перемещение по оси Y, мкм
- 500
- Перемещение по оси Z, мкм
- 500
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 7
- Разрешение по оси X, нм
- 7
- Разрешение по оси Y, нм
- 7
- Разрешение по оси Z, нм
- 7
- Размер столика, мм
- 82 х 82
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 80 х 130 х 80
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 14,4 х 14,4 х 14,4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.85
- Масса, г
- 850
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
XD611.XYZ500S |
|
|
X, Y, Z |
400 х 400 х 400 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 400 х 400 х 400
- Максимальная длина хода, мкм
- 500 х 500 х 500
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 500
- Перемещение по оси Y, мкм
- 500
- Перемещение по оси Z, мкм
- 500
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 18
- Разрешение по оси X, нм
- 18
- Разрешение по оси Y, нм
- 18
- Разрешение по оси Z, нм
- 18
- Размер столика, мм
- 82 х 82
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 80 х 130 х 80
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 14,4 х 14,4 х 14,4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.85
- Масса, г
- 850
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
XD731.XYZ100K |
|
|
X, Y, Z |
80 х 80 х 80 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 4
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 55 х 55
- Высота столика, мм
- 50
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Да
- Совместим с вакуумом, мбар
- 10^-7
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- <20
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <35
- Крен, мкрад
- <35
- Тангаж, мкрад
- <35
- Жёсткость, Н/мкм
- 1.5/1.5/0.9
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 400
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 150
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 250
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7,2 х 7,2 х 7,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 50/15
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступна крио версия
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.68
- Масса, г
- 680
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×58
|
|
XD731.XYZ100S |
|
|
X, Y, Z |
80 х 80 х 80 |
|
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Количество каналов
- 4
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 3
- Разрешение по оси X, нм
- 3
- Разрешение по оси Y, нм
- 3
- Разрешение по оси Z, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 55 х 55
- Высота столика, мм
- 50
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Да
- Совместим с вакуумом, мбар
- 10^-7
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага, мс
- 30
- Время шага без нагрузки, мс
- 20
- Использованная нагрузка для измерения времени шага, г
- 250
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.03
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.07
- Рыскание, мкрад
- <35
- Крен, мкрад
- <35
- Тангаж, мкрад
- <35
- Жёсткость, Н/мкм
- 1.5/1.5/0.9
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 400
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 150
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 250
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7,2 х 7,2 х 7,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 50/15
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступна крио версия
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.68
- Масса, г
- 680
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×58
|
|
XYZ65N81E26 |
|
|
X, Y, Z |
25 000 х 25 000 х 25 000 |
|
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Длина хода, мм
- 25 х 25 х 25
- Номинальная длина хода, мкм
- 25 000 х 25 000 х 25 000
- Перемещение по оси X, мкм
- 25 000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 25 000
- Перемещение по оси Z, мкм
- 25 000
- Разрешение, нм
- 80
- Разрешение по оси X, нм
- 80
- Разрешение по оси Y, нм
- 80
- Разрешение по оси Z, нм
- 80
- Размер столика, мм
- 65 х 65
- Высота столика, мм
- 56 - 121
- Передаточный механизм
- Юстирующий винт с пьезодовдкой
- Наличие тонкой настройки
- Есть
- Оси с тонкой настройкой
- X, Y, Z
- Линейное разрешение тонкой настройки, нм
- 80
- Рекомендованный контроллер
- E53.D1E
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
- Повторяемость, %F.S.
- 1.5
- Прямолинейность, %F.S.
- 1.5
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Максимальная скорость, мм/с
- 0.05
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Горизонтальная грузподъёмность, кг
- 2
- Вертикальная грузоподъёмность, кг
- 1.5
- Температура эксплуатации, °С
- 0 - 50
- Масса, кг
- 2.6
- Масса, г
- 2600
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
XYZ65N81E26 -ST |
|
|
X, Y, Z |
25 000 х 25 000 х 25 000 |
|
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Длина хода, мм
- 25 х 25 х 25
- Номинальная длина хода, мкм
- 25 000 х 25 000 х 25 000
- Перемещение по оси X, мкм
- 25 000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 25 000
- Перемещение по оси Z, мкм
- 25 000
- Разрешение, нм
- < 30 х 30 х 30
- Разрешение по оси X, нм
- <30
- Разрешение по оси Y, нм
- <30
- Разрешение по оси Z, нм
- <30
- Допуск по разрешению, %
- 10
- Размер столика, мм
- 65 х 65
- Высота столика, мм
- 56 - 121
- Передаточный механизм
- Юстирующий винт с пьезодовдкой
- Наличие тонкой настройки
- Есть
- Оси с тонкой настройкой
- X, Y, Z
- Линейное разрешение тонкой настройки, нм
- 30
- Рекомендованный контроллер
- E53.D1E
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
- Повторяемость двунаправленного позиционирования, мкм
- 2
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Датчик
- Инкрементальный энкодер
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Температура эксплуатации, °С
- 0 - 40
- Масса, кг
- 1.45
- Масса, г
- 1450
|
|
XYZ65N81K26 |
|
|
X, Y, Z |
25 400 х 25 400 х 25 400 |
|
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Длина хода, мм
- 25,4 х 25,4 х 25,4
- Номинальная длина хода, мкм
- 25 400 х 25 400 х 25 400
- Перемещение по оси X, мкм
- 25 400
- Перемещение по оси Y, мкм
- 25 400
- Перемещение по оси Z, мкм
- 25 400
- Погрешность хода, %
- 20
- Размер столика, мм
- 65 х 65
- Высота столика, мм
- 48 - 113
- Передаточный механизм
- Винт на шарикоподшипнике с пьезодоводкой
- Наличие тонкой настройки
- Есть
- Оси с тонкой настройкой
- X, Y, Z
- Линейный ход тонкой настройки, мм
- 25,4 х 25,4 х 25,4
- Линейное разрешение тонкой настройки, нм
- 30 х 30 х 30
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
- Минимальный шаг, нм
- <30
- Длина кабеля, м
- 2
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- RJ11 / Авиационный коннектор на 4 контакта
- Материал
- Алюминий
- Горизонтальная грузподъёмность, кг
- 2
- Вертикальная грузоподъёмность, кг
- 1.5
- Температура эксплуатации, °С
- 10 - 40
- Масса, кг
- 1.22
- Масса, г
- 1220
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
XYZ65N81K26-B3 |
|
|
X, Y, Z |
25 000 х 12 500 х 12 500 |
|
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Длина хода, мм
- 25 х 12,5 х 12,5
- Номинальная длина хода, мкм
- 25 000 х 12 500 х 12 500
- Перемещение по оси X, мкм
- 25 000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 12 500
- Перемещение по оси Z, мкм
- 12 500
- Разрешение, нм
- < 30
- Разрешение по оси X, нм
- 30
- Разрешение по оси Y, нм
- 30
- Разрешение по оси Z, нм
- 30
- Размер столика, мм
- 65 х 65
- Высота столика, мм
- 49 - 114
- Передаточный механизм
- Юстирующий винт с пьезодовдкой
- Наличие тонкой настройки
- Есть
- Оси с тонкой настройкой
- X, Y, Z
- Линейное разрешение тонкой настройки, нм
- 30
- Рекомендованный контроллер
- E53.C4K
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y, Z
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
- Разъём кабеля
- RJ11
- Материал
- Алюминий
- Температура эксплуатации, °С
- 10 - 40
- Масса, кг
- 1.16
- Масса, г
- 1160
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
XYZ72KN81K13 |
|
|
X, Y, Z |
10 000 х 10 000 х 8 |
|
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Длина хода, мм
- 10 х 10 х 0,008
- Номинальная длина хода, мкм
- 10 000 х 10 000 х 8
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 10 000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 10 000
- Перемещение по оси Z, мкм
- 8
- Разрешение, нм
- < 30 х 30 х 0,1
- Разрешение по оси X, нм
- <30
- Разрешение по оси Y, нм
- <30
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.1
- Размер столика, мм
- 72 х 72
- Высота столика, мм
- 56
- Передаточный механизм
- Юстирующий винт с пьезодовдкой
- Наличие тонкой настройки
- Есть
- Оси с тонкой настройкой
- X, Y, Z
- Линейный ход тонкой настройки, мм
- 10 х 10 х 0,008
- Линейное разрешение тонкой настройки, нм
- 30 х 30 х 0,1
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 35
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2500
- Разъём кабеля
- RJ11
- Вертикальная грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Масса, кг
- 0.695
- Масса, г
- 695
|
|
XYZ72SN81K13 |
|
|
X, Y, Z |
10 000 х 10 000 х 8 |
|
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 3
- Рабочие оси
- X, Y, Z
- Длина хода, мм
- 10 х 10 х 0,008
- Номинальная длина хода, мкм
- 10 000 х 10 000 х 8
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 10 000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 10 000
- Перемещение по оси Z, мкм
- 8
- Разрешение, нм
- < 30 х 30 х 0,3
- Разрешение по оси X, нм
- <30
- Разрешение по оси Y, нм
- <30
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.3
- Размер столика, мм
- 72 х 72
- Высота столика, мм
- 56
- Передаточный механизм
- Юстирующий винт с пьезодовдкой
- Наличие тонкой настройки
- Есть
- Оси с тонкой настройкой
- X, Y, Z
- Линейный ход тонкой настройки, мм
- 10 х 10 х 0,008
- Линейное разрешение тонкой настройки, нм
- 30 х 30 х 0,3
- Рекомендованный контроллер
- E53.C4K, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 35
- Повторяемость, %F.S.
- 0.25
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.25
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2500
- Разъём кабеля
- RJ11
- Датчик
- SGS
- Вертикальная грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Масса, кг
- 0.695
- Масса, г
- 695
|
|