Позиционеры с пьезодоводкой
Сортировать по:
По умолчанию
| Фото | Документы | Подробная информация | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
 | H81A.XYZ20K | X, Y, Z | 18 х 18 х 18 | 0.2 | Количество осей 3 Рабочие оси X, Y, Z Количество каналов 3 Тип управления Без обратной связи Длина хода, мм 4 х 4 х 4 Размер столика, мм 60 х 60 Высота столика, мм 62.5 Световое отверстие Нет Материал Сталь, Алюминий Номинальная длина хода, мкм 18 х 18 х 18 Напряжение номинального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 4 000 + 18 Перемещение по оси Y, мкм 4 000 + 18 Перемещение по оси Z, мкм 4 000 + 18 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 0.2 Разрешение по оси X, нм 0.2 Разрешение по оси Y, нм 0.2 Разрешение по оси Z, нм 0.2 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X, Y, Z Тип многоосевого Интегрированный Точность, мм/оборот 0.5 Электроёмкость, мкФ 1.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Грузоподъёмность, кг 1 | ||||
| H81A.XYZ20S | X, Y, Z | 18 х 18 х 18 | 1 | Количество осей 3 Рабочие оси X, Y, Z Количество каналов 3 Тип управления С обратной связью Длина хода, мм 4 х 4 х 4 Размер столика, мм 60 х 60 Высота столика, мм 62.5 Световое отверстие Нет Материал Сталь, Алюминий Номинальная длина хода, мкм 18 х 18 х 18 Напряжение номинального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 4 000 + 18 Перемещение по оси Y, мкм 4 000 + 18 Перемещение по оси Z, мкм 4 000 + 18 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 1 Разрешение по оси X, нм 1 Разрешение по оси Y, нм 1 Разрешение по оси Z, нм 1 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X, Y, Z Тип многоосевого Интегрированный Точность, мм/оборот 0.5 Повторяемость, %F.S. 0.2 Прямолинейность, %F.S. 0.3 Электроёмкость, мкФ 1.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 1 | ||||
 | X65P83K | X | 20 | 0.5 | Количество осей 1 Рабочие оси X Тип управления Без обратой связи Длина хода, мм 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 20 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Линейный ход тонкой настройки, мм 0.025 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь Вертикальная грузоподъёмность, кг 1.5 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.4 Масса, г 400 Номинальная длина хода, мкм 20 Максимальная длина хода, мкм 25 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 13 000 + 25 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 0.5 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 0.5 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X Точность, мм/оборот 0.5 Чувствительность, мкм <2 Жёсткость, Н/мкм 2 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1.8 Погрешность электроёмкости, % 2 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 20 Допуск по массе, % 5 | ||||
| X65P83S | X | 20 | 1.5 | Количество осей 1 Рабочие оси X Тип управления С обратной связью Длина хода, мм 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 20 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Линейный ход тонкой настройки, мм 0.025 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь Вертикальная грузоподъёмность, кг 1.5 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.4 Масса, г 400 Номинальная длина хода, мкм 20 Максимальная длина хода, мкм 25 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 13 000 + 25 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 1.5 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 1 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X Точность, мм/оборот 0.5 Повторяемость, %F.S. 0.1 Чувствительность, мкм <2 Прямолинейность, %F.S. 0.2 Жёсткость, Н/мкм 2 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 20 Датчик SGS Допуск по массе, % 5 | ||||
 | X65P84K | X | 80 | 2.5 | Количество осей 1 Рабочие оси X Тип управления Без обратой связи Длина хода, мм 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 20 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Линейный ход тонкой настройки, мм 0.1 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Вертикальная грузоподъёмность, кг 1.3 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.4 Масса, г 400 Номинальная длина хода, мкм 80 Максимальная длина хода, мкм 100 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 2.5 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 1 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X Точность, мм/оборот 0.5 Чувствительность, мкм <2 Жёсткость, Н/мкм 1 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 16 Допуск по массе, % 5 | ||||
| X65P84S | X | 80 | 7 | Количество осей 1 Рабочие оси X Тип управления С обратной связью Длина хода, мм 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 20 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Линейный ход тонкой настройки, мм 0.1 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Вертикальная грузоподъёмность, кг 1.3 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.4 Масса, г 400 Номинальная длина хода, мкм 80 Максимальная длина хода, мкм 100 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 7 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 3 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X Точность, мм/оборот 0.5 Повторяемость, %F.S. 0.05 Чувствительность, мкм <2 Прямолинейность, %F.S. 0.1 Жёсткость, Н/мкм 1 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 16 Датчик SGS Допуск по массе, % 5 | ||||
 | XY65P83K | X, Y | 20 х 20 | 0.5 | Количество осей 2 Рабочие оси X, Y Тип управления Без обратой связи Длина хода, мм 13 х 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 40 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Оси с тонкой настройкой X, Y Линейный ход тонкой настройки, мм 0.025 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Вертикальная грузоподъёмность, кг 1.5 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.8 Масса, г 800 Номинальная длина хода, мкм 20 х 20 Максимальная длина хода, мкм 25 х 25 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 13 000 + 25 Перемещение по оси Y, мкм 13 000 + 25 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 0.5 Разрешение по оси X, нм 0.5 Разрешение по оси Y, нм 0.5 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 0.5 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X, Y Тип многоосевого Сборный Точность, мм/оборот 0.5 Чувствительность, мкм <2 Жёсткость, Н/мкм 2 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1,8 х 1,8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 20 Допуск по массе, % 5 | ||||
| XY65P83S | X, Y | 20 х 20 | 1.5 | Количество осей 2 Рабочие оси X, Y Тип управления С обратной связью Длина хода, мм 13 х 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 40 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Оси с тонкой настройкой X, Y Линейный ход тонкой настройки, мм 0.025 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Вертикальная грузоподъёмность, кг 1.5 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.8 Масса, г 800 Номинальная длина хода, мкм 20 х 20 Максимальная длина хода, мкм 25 х 25 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 13 000 + 25 Перемещение по оси Y, мкм 13 000 + 25 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 1.5 Разрешение по оси X, нм 1.5 Разрешение по оси Y, нм 1.5 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 1 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X, Y Тип многоосевого Сборный Точность, мм/оборот 0.5 Повторяемость, %F.S. 0.1 Чувствительность, мкм <2 Прямолинейность, %F.S. 0.2 Жёсткость, Н/мкм 2 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1,8 х 1,8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 20 Датчик SGS Допуск по массе, % 5 | ||||
 | XY65P84K | X, Y | 80 х 80 | 2.5 | Количество осей 2 Рабочие оси X, Y Тип управления Без обратой связи Длина хода, мм 13 х 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 40 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Оси с тонкой настройкой X, Y Линейный ход тонкой настройки, мм 0.1 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Вертикальная грузоподъёмность, кг 1 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.8 Масса, г 800 Номинальная длина хода, мкм 80 х 80 Максимальная длина хода, мкм 100 х 100 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 13 000 + 100 Перемещение по оси Y, мкм 13 000 + 100 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 2.5 Разрешение по оси X, нм 2.5 Разрешение по оси Y, нм 2.5 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 1 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X, Y Тип многоосевого Сборный Точность, мм/оборот 0.5 Чувствительность, мкм <2 Жёсткость, Н/мкм 1 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1,8 х 1,8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 16 Допуск по массе, % 5 | ||||
| XY65P84S | X, Y | 80 х 80 | 7 | Количество осей 2 Рабочие оси X, Y Тип управления С обратной связью Длина хода, мм 13 х 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 40 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Оси с тонкой настройкой X, Y Линейный ход тонкой настройки, мм 0.1 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Вертикальная грузоподъёмность, кг 1 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.8 Масса, г 800 Номинальная длина хода, мкм 80 х 80 Максимальная длина хода, мкм 100 х 100 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 13 000 + 100 Перемещение по оси Y, мкм 13 000 + 100 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 7 Разрешение по оси X, нм 7 Разрешение по оси Y, нм 7 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 3 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X, Y Тип многоосевого Сборный Точность, мм/оборот 0.5 Повторяемость, %F.S. 0.05 Чувствительность, мкм <2 Прямолинейность, %F.S. 0.1 Жёсткость, Н/мкм 1 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1,8 х 1,8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 16 Датчик SGS Допуск по массе, % 5 | ||||
 | XYZ65P83K | X, Y, Z | 20 х 20 х 20 | 0.5 | Количество осей 3 Рабочие оси X, Y, Z Тип управления Без обратой связи Длина хода, мм 13 х 13 х 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 65 - 130 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Оси с тонкой настройкой X, Y, Z Линейный ход тонкой настройки, мм 0.025 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Вертикальная грузоподъёмность, кг 0.3 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 1.4 Масса, г 1400 Номинальная длина хода, мкм 20 х 20 х 20 Максимальная длина хода, мкм 25 х 25 х 25 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 13 000 + 25 Перемещение по оси Y, мкм 13 000 + 25 Перемещение по оси Z, мкм 13 000 + 25 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 0.5 Разрешение по оси X, нм 0.5 Разрешение по оси Y, нм 0.5 Разрешение по оси Z, нм 0.5 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 0.5 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X, Y, Z Тип многоосевого Сборный Точность, мм/оборот 0.5 Чувствительность, мкм <2 Жёсткость, Н/мкм 2 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1, 8 х 1,8 х 1,8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 20 Допуск по массе, % 5 | ||||
| XYZ65P83S | X, Y, Z | 20 х 20 х 20 | 1.5 | Количество осей 3 Рабочие оси X, Y, Z Тип управления С обратной связью Длина хода, мм 13 х 13 х 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 65 - 130 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Оси с тонкой настройкой X, Y, Z Линейный ход тонкой настройки, мм 0.025 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Вертикальная грузоподъёмность, кг 0.3 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 1.4 Масса, г 1400 Номинальная длина хода, мкм 20 х 20 х 20 Максимальная длина хода, мкм 25 х 25 х 25 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 13 000 + 25 Перемещение по оси Y, мкм 13 000 + 25 Перемещение по оси Z, мкм 13 000 + 25 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 1.5 Разрешение по оси X, нм 1.5 Разрешение по оси Y, нм 1.5 Разрешение по оси Z, нм 1.5 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 1 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X, Y, Z Тип многоосевого Сборный Точность, мм/оборот 0.5 Повторяемость, %F.S. 0.1 Чувствительность, мкм <2 Прямолинейность, %F.S. 0.2 Жёсткость, Н/мкм 2 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1, 8 х 1,8 х 1,8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 20 Датчик SGS Допуск по массе, % 5 | ||||
 | XYZ65P84K | X, Y, Z | 80 х 80 х 80 | 1 | Количество осей 3 Рабочие оси X, Y, Z Тип управления Без обратой связи Длина хода, мм 13 х 13 х 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 65 - 130 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Оси с тонкой настройкой X, Y, Z Линейный ход тонкой настройки, мм 0.1 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Вертикальная грузоподъёмность, кг 0.5 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 1.55 Масса, г 1550 Номинальная длина хода, мкм 80 х 80 х 80 Максимальная длина хода, мкм 100 х 100 х 100 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 13 000 + 100 Перемещение по оси Y, мкм 13 000 + 100 Перемещение по оси Z, мкм 13 000 + 100 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 1 Разрешение по оси X, нм 1 Разрешение по оси Y, нм 1 Разрешение по оси Z, нм 1 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 1 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X, Y, Z Тип многоосевого Сборный Точность, мм/оборот 0.5 Чувствительность, мкм <2 Жёсткость, Н/мкм 1 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1, 8 х 1,8 х 1,8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 16 Материал Сталь, Алюминий Допуск по массе, % 5 | ||||
| XYZ65P84S | X, Y, Z | 80 х 80 х 80 | 3 | Количество осей 3 Рабочие оси X, Y, Z Тип управления С обратной связью Длина хода, мм 13 х 13 х 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 65 - 130 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Оси с тонкой настройкой X, Y, Z Линейный ход тонкой настройки, мм 0.1 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Вертикальная грузоподъёмность, кг 0.5 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 1.55 Масса, г 1550 Номинальная длина хода, мкм 80 х 80 х 80 Максимальная длина хода, мкм 100 х 100 х 100 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 13 000 + 100 Перемещение по оси Y, мкм 13 000 + 100 Перемещение по оси Z, мкм 13 000 + 100 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 3 Разрешение по оси X, нм 3 Разрешение по оси Y, нм 3 Разрешение по оси Z, нм 3 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 3 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X, Y, Z Тип многоосевого Сборный Точность, мм/оборот 0.5 Повторяемость, %F.S. 0.05 Чувствительность, мкм <2 Прямолинейность, %F.S. 0.1 Жёсткость, Н/мкм 1 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1, 8 х 1,8 х 1,8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 16 Датчик SGS Допуск по массе, % 5 | ||||
 | XZ65P83K | X, Z | 20 х 20 | 0.5 | Количество осей 2 Рабочие оси X, Z Тип управления Без обратой связи Длина хода, мм 13 х 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 45 - 110 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Оси с тонкой настройкой X, Z Линейный ход тонкой настройки, мм 0.025 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Вертикальная грузоподъёмность, кг 0.3 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 1 Масса, г 1000 Номинальная длина хода, мкм 20 х 20 Максимальная длина хода, мкм 25 х 25 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 13 000 + 25 Перемещение по оси Z, мкм 13 000 + 25 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 0.5 Разрешение по оси X, нм 0.5 Разрешение по оси Z, нм 0.5 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 0.5 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X, Z Тип многоосевого Сборный Точность, мм/оборот 0.5 Чувствительность, мкм <2 Жёсткость, Н/мкм 2 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1,8 х 1,8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 20 Допуск по массе, % 5 | ||||
| XZ65P83S | X, Z | 20 х 20 | 1.5 | Количество осей 2 Рабочие оси X, Z Тип управления С обратной связью Длина хода, мм 13 х 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 45 - 110 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Оси с тонкой настройкой X, Z Линейный ход тонкой настройки, мм 0.025 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Вертикальная грузоподъёмность, кг 0.3 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 1 Масса, г 1000 Номинальная длина хода, мкм 20 х 20 Максимальная длина хода, мкм 25 х 25 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 13 000 + 25 Перемещение по оси Z, мкм 13 000 + 25 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 1.5 Разрешение по оси X, нм 1.5 Разрешение по оси Z, нм 1.5 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 1 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X, Z Тип многоосевого Сборный Точность, мм/оборот 0.5 Повторяемость, %F.S. 0.1 Чувствительность, мкм <2 Прямолинейность, %F.S. 0.2 Жёсткость, Н/мкм 2 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1,8 х 1,8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 20 Датчик SGS Допуск по массе, % 5 | ||||
 | XZ65P84K | X, Z | 80 х 80 | 2.5 | Количество осей 2 Рабочие оси X, Z Тип управления Без обратой связи Длина хода, мм 13 х 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 45 - 110 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Оси с тонкой настройкой X, Z Линейный ход тонкой настройки, мм 0.1 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Вертикальная грузоподъёмность, кг 0.5 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 1 Масса, г 1000 Номинальная длина хода, мкм 80 х 80 Максимальная длина хода, мкм 100 х 100 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 13 000 + 100 Перемещение по оси Z, мкм 13 000 + 100 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 2.5 Разрешение по оси X, нм 2.5 Разрешение по оси Y, нм 2.5 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 1 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X, Z Тип многоосевого Сборный Точность, мм/оборот 0.5 Чувствительность, мкм <2 Жёсткость, Н/мкм 1 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1,8 х 1,8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 16 Допуск по массе, % 5 | ||||
| XZ65P84S | X, Z | 80 х 80 | 7 | Количество осей 2 Рабочие оси X, Z Тип управления С обратной связью Длина хода, мм 13 х 13 Разрешение, мкм 10 Размер столика, мм 65 х 65 Высота столика, мм 45 - 110 Цена деления шкалы микрометра, мкм 10 Наличие тонкой настройки Есть Оси с тонкой настройкой X, Z Линейный ход тонкой настройки, мм 0.1 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Вертикальная грузоподъёмность, кг 0.5 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 1 Масса, г 1000 Номинальная длина хода, мкм 80 х 80 Максимальная длина хода, мкм 100 х 100 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Перемещение по оси X, мкм 13 000 + 100 Перемещение по оси Z, мкм 13 000 + 100 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 7 Разрешение по оси X, нм 7 Разрешение по оси Y, нм 7 Передаточный механизм Микрометрический винт с пьезодоводкой Линейное разрешение тонкой настройки, нм 3 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Да Оси длинного хода X, Z Тип многоосевого Сборный Точность, мм/оборот 0.5 Повторяемость, %F.S. 0.05 Чувствительность, мкм <2 Прямолинейность, %F.S. 0.1 Жёсткость, Н/мкм 1 Погрешность жёсткости, % 20 Электроёмкость, мкФ 1,8 х 1,8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 16 Датчик SGS Допуск по массе, % 5 |