XYZ65P83S
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
X, Y, Z
XYZ65P83S
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
X, Y, Z |
Тип управления
|
С обратной связью |
Длина хода, мм
|
13 х 13 х 13 |
Номинальная длина хода, мкм
|
20 х 20 х 20 |
Максимальная длина хода, мкм
|
25 х 25 х 25 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
13 000 + 25 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
13 000 + 25 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
13 000 + 25 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, мкм
|
10 |
Разрешение, нм
|
1.5 |
Разрешение по оси X, нм
|
1.5 |
Разрешение по оси Y, нм
|
1.5 |
Разрешение по оси Z, нм
|
1.5 |
Размер столика, мм
|
65 х 65 |
Высота столика, мм
|
65 - 130 |
Цена деления шкалы микрометра, мкм
|
10 |
Передаточный механизм
|
Микрометрический винт с пьезодоводкой |
Наличие тонкой настройки
|
Есть |
Оси с тонкой настройкой
|
X, Y, Z |
Линейный ход тонкой настройки, мм
|
0.025 |
Линейное разрешение тонкой настройки, нм
|
1 |
Рекомендованный контроллер
|
E01.D3, E70 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Да |
Оси длинного хода
|
X, Y, Z |
Тип многоосевого
|
Сборный |
Световое отверстие
|
Нет |
Точность, мм/оборот
|
0.5 |
Повторяемость, %F.S.
|
0.1 |
Чувствительность, мкм
|
<2 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.2 |
Жёсткость, Н/мкм
|
2 |
Погрешность жёсткости, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
1, 8 х 1,8 х 1,8 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Погрешность длины кабеля, мм
|
±10 |
Разъём кабеля
|
LEMO |
Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
|
20 |
Датчик
|
SGS |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Сталь, Алюминий |
Вертикальная грузоподъёмность, кг
|
0.3 |
Температура эксплуатации, °С
|
-20 - 80 |
Масса, кг
|
1.4 |
Масса, г
|
1400 |
Допуск по массе, %
|
5 |
Документы