20142 |
|
|
X, Y |
10 х 10 |
|
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Номинальная длина хода, мкм
- 10 х 10
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 10
- Перемещение по оси Y, мкм
- 10
- Погрешность хода, %
- 20
- Размер столика, мм
- 35 х 35
- Высота столика, мм
- 12
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 33
- Время шага, мс
- ≤2.5
- Использованная нагрузка для измерения времени шага, г
- 100
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- ≥ 500
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- ≥ 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,6 х 1,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.15
- Масса, кг
- 0.25
- Масса, г
- 250
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
20190 |
|
|
X, Y |
200 х 200 |
|
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Номинальная длина хода, мкм
- 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 20
- Размер столика, мм
- 110 х 110
- Высота столика, мм
- 20
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 86 х 86
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 160
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 30
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 43,2 х 43,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 40
|
|
21075-1 |
|
|
X, Y |
64 х 64 |
10 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Номинальная длина хода, мкм
- 64 х 64
- Максимальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 80
- Перемещение по оси Y, мкм
- 80
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 10
- Разрешение с обратной связью, нм
- 15
- Разрешение без обратной связи, нм
- 10
- Разрешение по оси X, нм
- 10
- Разрешение по оси Y, нм
- 10
- Размер столика, мм
- 100 х 70
- Высота столика, мм
- 34
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.03
- Рабочая частота, Гц
- 4000
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 800 х 800
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 36 х 36
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 3000/20
- Блокирующее усилие, Н
- 2000
- Датчик
- SGS
- Материал
- Сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Габариты, мм
- 160×100×34
|
|
21075-2 |
|
|
X, Y |
> 10 х 10 |
5 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Номинальная длина хода, мкм
- > 10 х 10
- Максимальная длина хода, мкм
- > 10 х 10
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 10
- Перемещение по оси Y, мкм
- 10
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 5
- Разрешение по оси X, нм
- 5
- Разрешение по оси Y, нм
- 5
- Размер столика, мм
- 20 х 20
- Высота столика, мм
- 18.5
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Жёсткость, Н/мкм
- 150
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Рабочая частота, Гц
- 4000
- Допуск рабочей частоты, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 800 х 800
- Электроёмкость, мкФ
- 7,2 х 7,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Блокирующее усилие, Н
- 2000
- Датчик
- CAP
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Габариты, мм
- 90×79×25
|
|
21102 |
|
|
X, Y |
15 х 15 |
5,2 х 5,2 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Номинальная длина хода, мкм
- 15 х 15
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 15
- Перемещение по оси Y, мкм
- 15
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 5,2 х 5,2
- Разрешение по оси X, нм
- 5.2
- Разрешение по оси Y, нм
- 5.2
- Размер столика, мм
- 43 х 43
- Высота столика, мм
- 12
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 37
- Время шага, мс
- <5
- Использованная нагрузка для измерения времени шага, г
- 100
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- > 2500
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- > 1000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,6 х 1,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Масса, кг
- <0,24
- Масса, г
- <240
- Допуск по массе, %
- 20
- Габариты, мм
- 65x65x12
|
|
22060 |
|
|
X, Y |
100 000 х 100 000 |
|
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Длина хода, мм
- 100 х 100
- Номинальная длина хода, мкм
- 100 000 х 100 000
- Перемещение по оси X, мкм
- 100 000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100 000
- Размер столика, мм
- 80 х 180
- Высота столика, мм
- 63
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
|
|
22071 |
|
|
X, Y |
45 х 45 |
2 х 2 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Номинальная длина хода, мкм
- 45 х 45
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 45
- Перемещение по оси Y, мкм
- 45
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 2 х 2
- Разрешение по оси X, нм
- 2
- Разрешение по оси Y, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 100 х 100
- Высота столика, мм
- 30
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 86 х 86
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 500 х 800
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 350 х 560
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 14,4 х 14,4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.2
|
|
22078 |
|
|
X, Y |
320 х 320 |
< 100 х 100 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Номинальная длина хода, мкм
- 320 х 320
- Максимальная длина хода, мкм
- 400 х 400
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 400
- Перемещение по оси Y, мкм
- 400
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- < 100 х 100
- Разрешение по оси X, нм
- <100
- Разрешение по оси Y, нм
- <100
- Размер столика, мм
- 130 х 80
- Высота столика, мм
- 27
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 120 х 60
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 40 х 50
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 1500
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 42,3 х 42,3
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1.5
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Масса, кг
- <1,5
- Масса, г
- <1500
|
|
N65.XY15K |
|
|
X, Y |
12 х 12 |
0,2 х 0,2 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 12 х 12
- Максимальная длина хода, мкм
- 15 х 15
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 15
- Перемещение по оси Y, мкм
- 15
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0,2 х 0,2
- Разрешение по оси X, нм
- 0.2
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.2
- Размер столика, мм
- 30 х 27
- Высота столика, мм
- 9.8
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 25 х 27.5
- Время шага без нагрузки, мс
- 1.5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <5
- Крен, мкрад
- <5
- Тангаж, мкрад
- <5
- Жёсткость, Н/мкм
- X3/Y3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1000 х 1000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,7 х 0,7
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.3
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.055
- Масса, г
- 55
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 52×54×10
|
|
P11.XY100K |
|
|
X, Y |
80 х 80 |
1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- X0.25/Z0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 300
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25.10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.7
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.17
- Масса, г
- 170
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 40×40×36.5
|
|
P11.XY100S |
|
|
X, Y |
80 х 80 |
3 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3
- Разрешение по оси X, нм
- 3
- Разрешение по оси Y, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 15
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.03
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- X0.25/Z0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 300
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25.10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.7
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.17
- Масса, г
- 170
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 40×40×36.5
|
|
P11.XY200K |
|
|
X, Y |
160 х 160 |
5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 5
- Разрешение по оси X, нм
- 5
- Разрешение по оси Y, нм
- 5
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- -
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- -
- Крен, мкрад
- -
- Тангаж, мкрад
- -
- Жёсткость, Н/мкм
- -
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 100
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- -
- Антивибрационная конструкция
- Полувысота синусоидальной волны с нагрузкой до 15 г
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.3
- Масса, кг
- -
- Масса, г
- -
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P11.XY200S |
|
|
X, Y |
160 х 160 |
10 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 10
- Разрешение по оси X, нм
- 10
- Разрешение по оси Y, нм
- 10
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- -
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.02
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.05
- Рыскание, мкрад
- -
- Крен, мкрад
- -
- Тангаж, мкрад
- -
- Жёсткость, Н/мкм
- -
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 100
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- -
- Антивибрационная конструкция
- Полувысота синусоидальной волны с нагрузкой до 15 г
- Датчик
- SGS
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.3
- Масса, кг
- -
- Масса, г
- -
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P11.XZ100K |
|
|
X, Z |
80 х 80 |
1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- X0.25/Z0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 300
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25.10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.7
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.17
- Масса, г
- 170
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 40×40×36.5
|
|
P11.XZ100S |
|
|
X, Z |
80 х 80 |
3 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3
- Разрешение по оси X, нм
- 3
- Разрешение по оси Z, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 15
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.03
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- X0.25/Z0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 300
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25.10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.7
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.17
- Масса, г
- 170
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 40×40×36.5
|
|
P12.XY100K |
|
|
X, Y |
80 х 80 |
1 х 1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 60 х 60 / 70 х 70
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 25 / 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- X0,25/Y0,3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Рабочая частота, Гц
- 50
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 180 х 230
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25.8
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.7
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.2
- Масса, г
- 200
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×24
|
|
P12.XY100S |
|
|
X, Y |
80 х 80 |
3 х 3 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3 х 3
- Разрешение по оси X, нм
- 3
- Разрешение по оси Y, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 60 х 60 / 70 х 70
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 25 / 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 15
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- X0,25/Y0,3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Рабочая частота, Гц
- 50
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 180 х 230
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25.8
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.7
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.2
- Масса, г
- 200
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×24
|
|
P12.XZ100K |
|
|
X, Z |
80 х 80 |
1 х 1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Количество каналов
- 2
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 60 х 60 / 70 х 70
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 25 / 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.25
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25.8
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.6
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.2
- Масса, г
- 200
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×24
|
|
P12.XZ100S |
|
|
X, Z |
80 х 80 |
3 х 3 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Количество каналов
- 2
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3 х 3
- Разрешение по оси X, нм
- 3
- Разрешение по оси Z, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 60 х 60 / 70 х 70
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 25 / 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 30
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.08
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.12
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.25
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25.8
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.6
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.2
- Масса, г
- 200
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×24
|
|
P12A.XY100K |
|
|
X, Y |
80 х 80 |
1 х 1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 80 х 80
- Высота столика, мм
- 28
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- X0,25/Y0,3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 170 х 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25.8
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.6
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.29
- Масса, г
- 290
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 85×85×28
|
|
P12A.XY100S |
|
|
X, Y |
80 х 80 |
3 х 3 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3 х 3
- Разрешение по оси X, нм
- 3
- Разрешение по оси Y, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 80 х 80
- Высота столика, мм
- 28
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Время шага без нагрузки, мс
- 15
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- X0,25/Y0,3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 170 х 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25.8
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.6
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.29
- Масса, г
- 290
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 85×85×28
|
|
P12A.XY200K |
|
|
X, Y |
160 х 160 |
2 х 2 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 2 х 2
- Разрешение по оси X, нм
- 2
- Разрешение по оси Y, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 95 х 95
- Высота столика, мм
- 31
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 160 х 140
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7,2 х 7,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.4
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 95×95×31
|
|
P12A.XY200S |
|
|
X, Y |
160 х 160 |
5,5 х 5,5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Y, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 5,5 х 5,5
- Разрешение по оси X, нм
- 5.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 5.5
- Размер столика, мм
- 95 х 95
- Высота столика, мм
- 31
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Повторяемость, %F.S.
- 0.3
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.4
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 160 х 140
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7,2 х 7,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.4
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 95×95×31
|
|
P12A.XZ100K |
|
|
X, Z |
80 х 80 |
1 х 1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 37 х 37
- Высота столика, мм
- 57.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 28
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- X0,3/Z0,25
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 150
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25.8
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.6
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.29
- Масса, г
- 290
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 85×85×28
|
|
P12A.XZ100S |
|
|
X, Z |
80 х 80 |
3 х 3 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Z, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3 х 3
- Разрешение по оси X, нм
- 3
- Разрешение по оси Z, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 37 х 37
- Высота столика, мм
- 57.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 28
- Время шага без нагрузки, мс
- 15
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- X0,3/Z0,25
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 150
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 25.8
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.6
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.29
- Масса, г
- 290
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 85×85×28
|
|
P12A.XZ200K |
|
|
X, Z |
160 х 160 |
2 х 2 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 2 х 2
- Разрешение по оси X, нм
- 2
- Разрешение по оси Z, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 95 х 95
- Высота столика, мм
- 31
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 160 х 140
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7,2 х 7,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.4
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 95×95×31
|
|
P12A.XZ200S |
|
|
X, Z |
160 х 160 |
5,5 х 5,5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 5,5 х 5,5
- Разрешение по оси X, нм
- 5.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 5.5
- Размер столика, мм
- 95 х 95
- Высота столика, мм
- 31
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Повторяемость, %F.S.
- 0.3
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.4
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 160 х 140
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7,2 х 7,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.4
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 95×95×31
|
|
P13.XY40K |
|
|
X, Y |
30 х 30 |
0.5 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 30 х 30
- Максимальная длина хода, мкм
- 37,5 х 37,5
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 37.5
- Перемещение по оси Y, мкм
- 37.5
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0.5
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.5
- Размер столика, мм
- 26 х 26
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 2
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <5
- Крен, мкрад
- <5
- Тангаж, мкрад
- <5
- Жёсткость, Н/мкм
- X0.15/Y0.2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 450 х 550
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 5.2
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.05
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.11
- Масса, г
- 110
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 26×26×16
|
|
P13.XY40S |
|
|
X, Y |
30 х 30 |
1 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 30 х 30
- Максимальная длина хода, мкм
- 37,5 х 37,5
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 37.5
- Перемещение по оси Y, мкм
- 37.5
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 26 х 26
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 30
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Рыскание, мкрад
- <5
- Крен, мкрад
- <5
- Тангаж, мкрад
- <5
- Жёсткость, Н/мкм
- X0.15/Y0.2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 450 х 550
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 5.2
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.05
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.11
- Масса, г
- 110
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 26×26×16
|
|
P13.XY50K |
|
|
X, Y |
34 х 34 |
0.5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 34 х 34
- Максимальная длина хода, мкм
- 43 х 43
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 43
- Перемещение по оси Y, мкм
- 43
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0.5
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.5
- Размер столика, мм
- 35 х 35
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 3
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 550 х 520
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.8
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.12
- Масса, г
- 120
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 35×35×36
|
|
P13.XY50S |
|
|
X, Y |
34 х 34 |
1.5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 34 х 34
- Максимальная длина хода, мкм
- 43 х 43
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 43
- Перемещение по оси Y, мкм
- 43
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1.5
- Разрешение по оси X, нм
- 1.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 1.5
- Размер столика, мм
- 35 х 35
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 30
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 550 х 520
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.8
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.12
- Масса, г
- 120
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 35×35×36
|
|
P13A.XY180K-4 |
|
|
X, Y |
80 х 80 |
1 х 1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Назначение
- Для сверхнизких температур
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 80
- Перемещение по оси Y, мкм
- 80
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Высота столика, мм
- 23
- Рекомендованный контроллер
- E01.C3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Да
- Совместим со сверхнизкими температурами, К
- 4
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 15 х 15
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- -
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,65 х 1,65
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- Оголенный провод
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Титан
- Материал жилы кабеля
- Витой спаренный провод из фосфорной бронзы
- Грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Температура эксплуатации, °С
- -269
- Габариты, мм
- 46×46×18.7
|
|
P13A.XY180K-R |
|
|
X, Y |
180 х 180 |
2 х 2 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 180 х 180
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 60
- Перемещение по оси X, мкм
- 180
- Перемещение по оси Y, мкм
- 180
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 2 х 2
- Разрешение по оси X, нм
- 2
- Разрешение по оси Y, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Высота столика, мм
- 23
- Рекомендованный контроллер
- E01.C3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 15 х 15
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- -
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 12,1 х 12,1
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- Оголенный провод
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Нержавеющая сталь
- Материал жилы кабеля
- Стандартный провод
- Грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 46×46×18.7
|
|
P13A.XY90K-4 |
|
|
X, Y |
30 х 30 |
0,3 х 0,3 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Назначение
- Для сверхнизких температур
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 30 х 30
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 30
- Перемещение по оси Y, мкм
- 30
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0,3 х 0,3
- Разрешение по оси X, нм
- 0.3
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.3
- Размер столика, мм
- 33 х 33
- Высота столика, мм
- 14.6
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Да
- Совместим со сверхнизкими температурами, К
- 4
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 10 х 10
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 450
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 160
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 150
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,75 х 0,75
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- Оголенный провод
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Титан
- Материал жилы кабеля
- Витой спаренный провод из фосфорной бронзы
- Грузоподъёмность, кг
- ≤0,15
- Температура эксплуатации, °С
- -269
- Масса, кг
- 0.88
- Масса, г
- 88
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 33×33×14.6
|
|
P13A.XY90K-R |
|
|
X, Y |
90 х 90 |
1 х 1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 90 х 90
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 60
- Перемещение по оси X, мкм
- 90
- Перемещение по оси Y, мкм
- 90
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 33 х 33
- Высота столика, мм
- 14.6
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 10 х 10
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 450
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 160
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 150
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 5,5 х 5,5
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- Оголенный провод
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Нержавеющая сталь
- Материал жилы кабеля
- Стандартный провод
- Грузоподъёмность, кг
- ≤0,15
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.88
- Масса, г
- 88
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 33×33×14.6
|
|
P15.XY100K-B1 |
|
|
X, Y |
80 х 80 |
1 х 1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 4х 13х13 - квадрат 78х78
- Высота столика, мм
- 16
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 65 х 55
- Время шага без нагрузки, мс
- 20
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 490
- Электроёмкость, мкФ
- 14,5 х 14,5
- Погрешность электроёмкости, %
- 10
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.73
- Масса, г
- 730
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 160×160×16
|
|
P15.XY100K-C1 |
|
|
X, Y |
800 х 800 |
1 х 1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Количество каналов
- 2
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 800 х 800
- Максимальная длина хода, мкм
- 1000 х 1000
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 1000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 1000
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 145 х 145
- Высота столика, мм
- 30
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 66 х 66
- Рыскание, мкрад
- <30
- Крен, мкрад
- <30
- Тангаж, мкрад
- <30
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.6
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 10,88 х 10,88
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 60/10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 6
- Горизонтальная грузподъёмность, кг
- 6
- Инвертированная грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- <1,1
- Масса, г
- <1100
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 150×150×30
|
|
P15.XY100S-B1 |
|
|
X, Y |
80 х 80 |
3 х 3 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3 х 3
- Разрешение по оси X, нм
- 3
- Разрешение по оси Y, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 4х 13х13 - квадрат 78х78
- Высота столика, мм
- 16
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 65 х 55
- Время шага без нагрузки, мс
- 50
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.15
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 490
- Электроёмкость, мкФ
- 14,5 х 14,5
- Погрешность электроёмкости, %
- 10
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.73
- Масса, г
- 730
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 160×160×16
|
|
P15.XY100S-C1 |
|
|
X, Y |
800 х 800 |
3,5 х 3,5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Количество каналов
- 2
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 800 х 800
- Максимальная длина хода, мкм
- 1000 х 1000
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 1000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 1000
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3,5 х 3,5
- Разрешение по оси X, нм
- 3.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 3.5
- Размер столика, мм
- 145 х 145
- Высота столика, мм
- 30
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 66 х 66
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.15
- Рыскание, мкрад
- <30
- Крен, мкрад
- <30
- Тангаж, мкрад
- <30
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.6
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 10,88 х 10,88
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 60/10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 6
- Горизонтальная грузподъёмность, кг
- 6
- Инвертированная грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- <1,1
- Масса, г
- <1100
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 150×150×30
|
|
P16.XY100K |
|
|
X, Y |
80 х 80 |
1 х 1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100 х 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 100
- Перемещение по оси Y, мкм
- 100
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 35 х 35
- Высота столика, мм
- 13
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 20
- Время шага без нагрузки, мс
- 1.6
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <25
- Крен, мкрад
- <25
- Тангаж, мкрад
- <25
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 600
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30/30
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.22
- Масса, г
- 220
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×13
|
|
P16.XY100S |
|
|
X, Y |
66 х 66 |
2,5 х 2,5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 66 х 66
- Максимальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 100
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 120
- Перемещение по оси X, мкм
- 80
- Перемещение по оси Y, мкм
- 80
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 2,5 х 2,5
- Разрешение по оси X, нм
- 2.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 2.5
- Размер столика, мм
- 35 х 35
- Высота столика, мм
- 13
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 20
- Время шага без нагрузки, мс
- 10
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.5
- Прямолинейность, %F.S.
- 1
- Рыскание, мкрад
- <25
- Крен, мкрад
- <25
- Тангаж, мкрад
- <25
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 600
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30/30
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.22
- Масса, г
- 220
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×13
|
|
P16.XY15K |
|
|
X, Y |
16 х 16 |
0,2 х 0,2 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 16 х 16
- Максимальная длина хода, мкм
- 20 х 20
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 20
- Перемещение по оси Y, мкм
- 20
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0,2 х 0,2
- Разрешение по оси X, нм
- 0.2
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.2
- Размер столика, мм
- 42,8 х 42,8
- Высота столика, мм
- 11.5
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 37
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.7
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 2.2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1500
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,6 х 1,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 44/44
- Материал
- Алюминий, сталь
- Масса, кг
- 0.235
- Масса, г
- 235
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P16.XY15S |
|
|
X, Y |
13,2 х 13,2 |
0,5 х 0,5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 13,2 х 13,2
- Максимальная длина хода, мкм
- 16 х 16
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 100
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 120
- Перемещение по оси X, мкм
- 16
- Перемещение по оси Y, мкм
- 16
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0,5 х 0,5
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.5
- Размер столика, мм
- 42,8 х 42,8
- Высота столика, мм
- 11.5
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 37
- Время шага без нагрузки, мс
- 1.5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.3
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 2.2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1500
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,6 х 1,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 44/44
- Датчик
- SGS
- Материал
- Алюминий, сталь
- Масса, кг
- 0.235
- Масса, г
- 235
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P16.XY20K |
|
|
X, Y |
16 х 16 |
0,2 х 0,2 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 16 х 16
- Максимальная длина хода, мкм
- 20 х 20
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 20
- Перемещение по оси Y, мкм
- 20
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0,2 х 0,2
- Разрешение по оси X, нм
- 0.2
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.2
- Размер столика, мм
- 32 х 32
- Высота столика, мм
- 16
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 26
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.7
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- X2,2/Y2,2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2000 х 2000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,6 х 1,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 44/44
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.18
- Масса, г
- 180
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 70×70×16
|
|
P16.XY20S |
|
|
X, Y |
13,2 х 13,2 |
0,5 х 0,5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 13,2 х 13,2
- Максимальная длина хода, мкм
- 16 х 16
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 100
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 120
- Перемещение по оси X, мкм
- 16
- Перемещение по оси Y, мкм
- 16
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0,5 х 0,5
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.5
- Размер столика, мм
- 32 х 32
- Высота столика, мм
- 16
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 26
- Время шага без нагрузки, мс
- 1.5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.3
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- X2,2/Y2,2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2000 х 2000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,6 х 1,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 44/44
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.18
- Масса, г
- 180
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 70×70×16
|
|
P16.XY50K |
|
|
X, Y |
40 х 40 |
0,5 х 0,5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Количество каналов
- 2
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 40 х 40
- Максимальная длина хода, мкм
- 50 х 50
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 50
- Перемещение по оси Y, мкм
- 50
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0,5 х 0,5
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.5
- Размер столика, мм
- 35 х 35
- Высота столика, мм
- 13
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 20
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <20
- Крен, мкрад
- <20
- Тангаж, мкрад
- <20
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 500
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.2
- Масса, г
- 200
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×13
|
|
P16.XY50S |
|
|
X, Y |
40 х 40 |
1,5 х 1,5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Количество каналов
- 2
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 40 х 40
- Максимальная длина хода, мкм
- 50 х 50
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 50
- Перемещение по оси Y, мкм
- 50
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1,5 х 1,5
- Разрешение по оси X, нм
- 1.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 1.5
- Размер столика, мм
- 35 х 35
- Высота столика, мм
- 13
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 20
- Время шага без нагрузки, мс
- 10
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 1
- Прямолинейность, %F.S.
- 1
- Рыскание, мкрад
- <20
- Крен, мкрад
- <20
- Тангаж, мкрад
- <20
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 500
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.2
- Масса, г
- 200
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×13
|
|
P16.XY80K |
|
|
X, Y |
80 х 80 |
1 х 1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 105 х 105
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 105
- Перемещение по оси Y, мкм
- 105
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1 х 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 70 х 70
- Высота столика, мм
- 13
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 43
- Время шага без нагрузки, мс
- 1.5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 700
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 15
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.47
- Масса, г
- 470
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 85×85×13
|
|
P16.XY80S |
|
|
X, Y |
66 х 66 |
2,5 х 2,5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 66 х 66
- Максимальная длина хода, мкм
- 80 х 80
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 100
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 120
- Перемещение по оси X, мкм
- 80
- Перемещение по оси Y, мкм
- 80
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 2,5 х 2,5
- Разрешение по оси X, нм
- 2.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 2.5
- Размер столика, мм
- 70 х 70
- Высота столика, мм
- 13
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 43
- Время шага без нагрузки, мс
- 5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- X0,1/Y0,5
- Прямолинейность, %F.S.
- X0,3/Y1
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 700
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 50
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.47
- Масса, г
- 470
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 85×85×13
|
|
P17.XY200K |
|
|
X, Y |
150 х 150 |
1,5 х 1,5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 150 х 150
- Максимальная длина хода, мкм
- 187,5 х 187,5
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 187.5
- Перемещение по оси Y, мкм
- 187.5
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1,5 х 1,5
- Разрешение по оси X, нм
- 1.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 1.5
- Размер столика, мм
- 74 х 74
- Высота столика, мм
- 25
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 60 х 60
- Время шага без нагрузки, мс
- 5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- X0,2/Y0,2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Рабочая частота, Гц
- 25
- Использованная нагрузка для измерения рабочей частоты, г
- 28
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 240 х 400
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 40/15
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.66
- Масса, г
- 660
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 140×140×25
|
|
P17.XY200S |
|
|
X, Y |
150 х 150 |
5 х 5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 150 х 150
- Максимальная длина хода, мкм
- 187,5 х 187,5
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 187.5
- Перемещение по оси Y, мкм
- 187.5
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 5 х 5
- Разрешение по оси X, нм
- 5
- Разрешение по оси Y, нм
- 5
- Размер столика, мм
- 74 х 74
- Высота столика, мм
- 25
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 60 х 60
- Время шага без нагрузки, мс
- 30
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- X0,2/Y0,2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Рабочая частота, Гц
- 25
- Использованная нагрузка для измерения рабочей частоты, г
- 28
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 240 х 400
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 40/15
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.66
- Масса, г
- 660
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 140×140×25
|
|
P18.XY200K |
|
|
X, Y |
200 х 200 |
2 х 2 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Количество каналов
- 2
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 200 х 200
- Максимальная длина хода, мкм
- 250 х 250
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 250
- Перемещение по оси Y, мкм
- 250
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 2 х 2
- Разрешение по оси X, нм
- 2
- Разрешение по оси Y, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 37 х 37
- Высота столика, мм
- 29.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 450
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 11 х 11
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 60/20
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.36
- Масса, г
- 360
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 100×100×29.5
|
|
P18.XY200S |
|
|
X, Y |
200 х 200 |
7 х 7 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Количество каналов
- 2
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 200 х 200
- Максимальная длина хода, мкм
- 250 х 250
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 250
- Перемещение по оси Y, мкм
- 250
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 7 х 7
- Разрешение по оси X, нм
- 7
- Разрешение по оси Y, нм
- 7
- Размер столика, мм
- 37 х 37
- Высота столика, мм
- 29.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 50
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.15
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 450
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 11 х 11
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 60/20
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.36
- Масса, г
- 360
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 100×100×29.5
|
|
P18.XY300K |
|
|
X, Y |
150 х 150 |
3 х 3 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 150 х 150
- Максимальная длина хода, мкм
- 187,5 х 187,5
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 187.5
- Перемещение по оси Y, мкм
- 187.5
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3 х 3
- Разрешение по оси X, нм
- 3
- Разрешение по оси Y, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 37 х 37
- Высота столика, мм
- 29.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 10
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Рабочая частота, Гц
- 10
- Использованная нагрузка для измерения рабочей частоты, г
- 30
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 250 х 500
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 21,6 х 21,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 150/150
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 3
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.38
- Масса, г
- 380
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 100×100×29.5
|
|
P18.XY300S |
|
|
X, Y |
150 х 150 |
10 х 10 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Количество каналов
- 3
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 150 х 150
- Максимальная длина хода, мкм
- 187,5 х 187,5
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 187.5
- Перемещение по оси Y, мкм
- 187.5
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 10 х 10
- Разрешение по оси X, нм
- 10
- Разрешение по оси Y, нм
- 10
- Размер столика, мм
- 37 х 37
- Высота столика, мм
- 29.5
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 50
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.15
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Рабочая частота, Гц
- 10
- Использованная нагрузка для измерения рабочей частоты, г
- 30
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 250 х 500
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 21,6 х 21,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 150/150
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 3
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.38
- Масса, г
- 380
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 100×100×29.5
|
|
P18.XZ200K |
|
|
X, Z |
160 х 160 |
2 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Количество каналов
- 2
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 2
- Разрешение по оси X, нм
- 2
- Разрешение по оси Z, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 37 х 37
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <20
- Крен, мкрад
- <20
- Тангаж, мкрад
- <20
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 300
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 11 х 11
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.55
- Масса, г
- 550
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 100×100×43
|
|
P18.XZ200S |
|
|
X, Z |
160 х 160 |
7 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Количество каналов
- 2
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 160 х 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200 х 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 200
- Перемещение по оси Z, мкм
- 200
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 7
- Разрешение по оси X, нм
- 7
- Разрешение по оси Z, нм
- 7
- Размер столика, мм
- 37 х 37
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 50
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.15
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Рыскание, мкрад
- <20
- Крен, мкрад
- <20
- Тангаж, мкрад
- <20
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200 х 300
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 11 х 11
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.55
- Масса, г
- 550
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 100×100×43
|
|
P63.X18Z8K |
|
|
X, Z |
17 х 6 |
0,2 х 0,1 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 17 х 6
- Максимальная длина хода, мкм
- 19 х 8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 18
- Перемещение по оси Z, мкм
- 18
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0,2 х 0,1
- Разрешение по оси X, нм
- 0.2
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.1
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Высота столика, мм
- 33
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Прямолинейность, %F.S.
- X 0,3/Z
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2000 х 1000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.0015
- Масса, г
- 1.5
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P63.X18Z8S |
|
|
X, Z |
16 х 6 |
0,6 х 0,2 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 16 х 6
- Максимальная длина хода, мкм
- 18 х 8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 18
- Перемещение по оси Z, мкм
- 18
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0,6 х 0,2
- Разрешение по оси X, нм
- 0.6
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.2
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Высота столика, мм
- 33
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.25
- Прямолинейность, %F.S.
- X 0,3/Z
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2000 х 1000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.0015
- Масса, г
- 1.5
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P63.XY18K |
|
|
X, Y |
16 х 16 |
0.2 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 16 х 16
- Максимальная длина хода, мкм
- 18 х 18
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 18
- Перемещение по оси Y, мкм
- 18
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.2
- Разрешение по оси X, нм
- 0.2
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.2
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Высота столика, мм
- 30
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2000 х 2000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.0015
- Масса, г
- 1.5
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P63.XY18S |
|
|
X, Y |
16 х 16 |
0.6 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 16 х 16
- Максимальная длина хода, мкм
- 18 х 18
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 18
- Перемещение по оси Y, мкм
- 18
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.6
- Разрешение по оси X, нм
- 0.6
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.6
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Высота столика, мм
- 30
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.25
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.3
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2000 х 2000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1,8 х 1,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.0015
- Масса, г
- 1.5
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
P63.XY7K |
|
|
X, Y |
5,5 х 5,5 |
0.1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 5,5 х 5,5
- Максимальная длина хода, мкм
- 6,8 х 6,8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 6.8
- Перемещение по оси Y, мкм
- 6.8
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.1
- Разрешение по оси X, нм
- 0.1
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.1
- Размер столика, мм
- 30 х 30
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.3
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- X1.2/Y1.4
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1300 х 1900
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 8.2
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.12
- Масса, г
- 120
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 30×30×30
|
|
P63.XY7S |
|
|
X, Y |
5,5 х 5,5 |
0.2 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 5,5 х 5,5
- Максимальная длина хода, мкм
- 6,8 х 6,8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 6.8
- Перемещение по оси Y, мкм
- 6.8
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.2
- Разрешение по оси X, нм
- 0.2
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.2
- Размер столика, мм
- 30 х 30
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 1.5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.2
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.4
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- X1.2/Y1.4
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1300 х 1900
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 8.2
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.12
- Масса, г
- 120
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 30×30×30
|
|
P63.XZ7K |
|
|
X, Z |
5,5 х 5,5 |
0.1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 5,5 х 5,5
- Максимальная длина хода, мкм
- 6,8 х 6,8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 6.8
- Перемещение по оси Z, мкм
- 6.8
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.1
- Разрешение по оси X, нм
- 0.1
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.1
- Размер столика, мм
- 30 х 30
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.3
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- < 10
- Крен, мкрад
- < 10
- Тангаж, мкрад
- < 10
- Жёсткость, Н/мкм
- X1.2/Z1.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1500 х 1600
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 9.2
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.12
- Масса, г
- 120
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 30×30×33
|
|
P63.XZ7S |
|
|
X, Z |
5,5 х 5,5 |
0.2 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 5,5 х 5,5
- Максимальная длина хода, мкм
- 6,8 х 6,8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 6.8
- Перемещение по оси Z, мкм
- 6.8
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.2
- Разрешение по оси X, нм
- 0.2
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.2
- Размер столика, мм
- 30 х 30
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 1.5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.2
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.4
- Рыскание, мкрад
- < 10
- Крен, мкрад
- < 10
- Тангаж, мкрад
- < 10
- Жёсткость, Н/мкм
- X1.2/Z1.5
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1500 х 1600
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,8 х 0,8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 9.2
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.12
- Масса, г
- 120
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 30×30×33
|
|
P66.XY30K |
|
|
X, Y |
24 х 24 |
0.5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 24 х 24
- Максимальная длина хода, мкм
- 30 х 30
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 30
- Перемещение по оси Y, мкм
- 30
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 0.5
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 0.5
- Размер столика, мм
- 22 х 22
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- 3.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 900 х 1600
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 100/15
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.26
- Масса, г
- 260
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×32
|
|
P66.XY30S |
|
|
X, Y |
24 х 24 |
1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 24 х 24
- Максимальная длина хода, мкм
- 30 х 30
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 30
- Перемещение по оси Y, мкм
- 30
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Y, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 22 х 22
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.08
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- 3.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 900 х 1600
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 100/15
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.26
- Масса, г
- 260
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×32
|
|
P66.XY60K |
|
|
X, Y |
48 х 48 |
5.5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 48 х 48
- Максимальная длина хода, мкм
- 60 х 60
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 60
- Перемещение по оси Y, мкм
- 60
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 5.5
- Разрешение по оси X, нм
- 5.5
- Разрешение по оси Y, нм
- 5.5
- Размер столика, мм
- 57 х 22
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 1.6
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <20
- Крен, мкрад
- <20
- Тангаж, мкрад
- <20
- Жёсткость, Н/мкм
- 2.1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 900 х 1200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7,2 х 7,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 120/12
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 4
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.45
- Масса, г
- 450
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 100×100×39
|
|
P66.XY60S |
|
|
X, Y |
48 х 48 |
2 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 48 х 48
- Максимальная длина хода, мкм
- 60 х 60
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 60
- Перемещение по оси Y, мкм
- 60
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 2
- Разрешение по оси X, нм
- 2
- Разрешение по оси Y, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 57 х 22
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 20
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.15
- Рыскание, мкрад
- <20
- Крен, мкрад
- <20
- Тангаж, мкрад
- <20
- Жёсткость, Н/мкм
- 2.1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 900 х 1200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7,2 х 7,2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 120/12
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 4
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.45
- Масса, г
- 450
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 100×100×39
|
|
P66.XZ30K |
|
|
X, Z |
24 х 24 |
0.5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 24 х 24
- Максимальная длина хода, мкм
- 30 х 30
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 30
- Перемещение по оси Z, мкм
- 30
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.5
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.5
- Размер столика, мм
- 22 х 22
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 1
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- 1.1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1500 х 800
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.32
- Масса, г
- 320
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×32
|
|
P66.XZ30S |
|
|
X, Z |
24 х 24 |
1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 24 х 24
- Максимальная длина хода, мкм
- 30 х 30
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Перемещение по оси X, мкм
- 30
- Перемещение по оси Z, мкм
- 30
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1
- Разрешение по оси X, нм
- 1
- Разрешение по оси Z, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 22 х 22
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 20
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.08
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- 1.1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1500 х 800
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3,6 х 3,6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.32
- Масса, г
- 320
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×32
|
|
XD604.XZ8K |
|
|
X, Z |
8 х 8 |
0.1 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 8 х 8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 1000
- Перемещение по оси X, мкм
- 8
- Перемещение по оси Z, мкм
- 8
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.1
- Разрешение по оси X, нм
- 0.1
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.1
- Размер столика, мм
- 400 х 200
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- < 10
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.13
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.19
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 560
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- Нагрузка: 340 / Нагрузка и ход: 20
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 80000
- Ход измерения резонансной частоты
- 200 нм
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,44 х 1,33
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 80
- Температура эксплуатации, °С
- - 40 - 80
- Масса, кг
- 63
- Масса, г
- 63000
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 500×340×105
|
|
XD604.XZ8S |
|
|
X, Z |
8 х 8 |
0.5 |
По запросу
|
Загрузить файл
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 8 х 8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 1000
- Перемещение по оси X, мкм
- 8
- Перемещение по оси Z, мкм
- 8
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.5
- Разрешение по оси X, нм
- 0.5
- Разрешение по оси Z, нм
- 0.5
- Размер столика, мм
- 400 х 200
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 15
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.13
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.19
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 560
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 340 - нагрузка / 20 - нагрузка и ход
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 80000
- Ход измерения резонансной частоты
- 200 нм
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0,44 х 1,33
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 80
- Температура эксплуатации, °С
- - 40 - 80
- Масса, кг
- 63
- Масса, г
- 63000
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 500×340×105
|
|
XY65N81E26 |
|
|
X, Y |
25 000 х 25 000 |
80 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Тип управления
- С обратной связью
- Длина хода, мм
- 25 х 25
- Номинальная длина хода, мкм
- 25 000 х 25 000
- Перемещение по оси X, мкм
- 25 000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 25 000
- Разрешение, нм
- 80
- Разрешение по оси X, нм
- 80
- Разрешение по оси Y, нм
- 80
- Размер столика, мм
- 65 х 65
- Высота столика, мм
- 48
- Передаточный механизм
- Юстирующий винт с пьезодовдкой
- Наличие тонкой настройки
- Есть
- Оси с тонкой настройкой
- X, Y
- Линейное разрешение тонкой настройки, нм
- 80
- Рекомендованный контроллер
- E53.D1E
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
- Повторяемость, %F.S.
- 1.5
- Прямолинейность, %F.S.
- 1.5
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Максимальная скорость, мм/с
- 0.05
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Температура эксплуатации, °С
- 0 - 50
- Масса, кг
- 1.7
- Масса, г
- 1700
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
XY65N81K26 |
|
|
X, Y |
25 400 х 25 400 |
|
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Длина хода, мм
- 25,4 х 25,4
- Номинальная длина хода, мкм
- 25 400 х 25 400
- Перемещение по оси X, мкм
- 25 400
- Перемещение по оси Y, мкм
- 25 400
- Погрешность хода, %
- 20
- Размер столика, мм
- 65 х 65
- Высота столика, мм
- 40
- Передаточный механизм
- Винт на шарикоподшипнике с пьезодоводкой
- Наличие тонкой настройки
- Есть
- Оси с тонкой настройкой
- X, Y
- Линейный ход тонкой настройки, мм
- 25,4 х 25,4
- Линейное разрешение тонкой настройки, нм
- 30 х 30
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y
- Тип многоосевого
- Сборный
- Световое отверстие
- Нет
- Минимальный шаг, нм
- <30
- Длина кабеля, м
- 2
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Разъём кабеля
- RJ11 / Авиационный коннектор на 4 контакта
- Материал
- Алюминий
- Горизонтальная грузподъёмность, кг
- 5
- Вертикальная грузоподъёмность, кг
- 2
- Температура эксплуатации, °С
- 10 - 40
- Масса, кг
- 0.7
- Масса, г
- 700
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
XY72N81K13 |
|
|
X, Y |
10 000 х 10 000 |
< 30 х 30 |
По запросу
|
|
Подробнее
|
- Количество осей
- 2
- Рабочие оси
- X, Y
- Длина хода, мм
- 10 х 10
- Номинальная длина хода, мкм
- 10 000 х 10 000
- Перемещение по оси X, мкм
- 10 000
- Перемещение по оси Y, мкм
- 10 000
- Разрешение, нм
- < 30 х 30
- Разрешение по оси X, нм
- <30
- Разрешение по оси Y, нм
- <30
- Размер столика, мм
- 72 х 72
- Высота столика, мм
- 34
- Передаточный механизм
- Юстирующий винт с пьезодовдкой
- Наличие тонкой настройки
- Есть
- Оси с тонкой настройкой
- θX, θY
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Да
- Оси длинного хода
- X, Y
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 35
- Разъём кабеля
- RJ11
- Горизонтальная грузподъёмность, кг
- 1.5
- Вертикальная грузоподъёмность, кг
- 1.5
- Масса, кг
- -
- Масса, г
- -
|
|