P16.XY15S
Характеристики
Количество осей
—
2
Рабочие оси
—
X, Y
P16.XY15S
Характеристики
Количество осей
|
2 |
Рабочие оси
|
X, Y |
Количество каналов
|
3 |
Тип управления
|
С обратной связью |
Номинальная длина хода, мкм
|
13,2 х 13,2 |
Максимальная длина хода, мкм
|
16 х 16 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 100 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 120 |
Перемещение по оси X, мкм
|
16 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
16 |
Погрешность хода, %
|
10 |
Разрешение, нм
|
0,5 х 0,5 |
Разрешение по оси X, нм
|
0.5 |
Разрешение по оси Y, нм
|
0.5 |
Размер столика, мм
|
42,8 х 42,8 |
Высота столика, мм
|
11.5 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световой диаметр, мм
|
37 |
Время шага без нагрузки, мс
|
1.5 |
Допуск по времени шага, %
|
20 |
Повторяемость, %F.S.
|
0.1 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.3 |
Рыскание, мкрад
|
<10 |
Крен, мкрад
|
<10 |
Тангаж, мкрад
|
<10 |
Жёсткость, Н/мкм
|
2.2 |
Погрешность жёсткости, %
|
20 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
1500 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
1,6 х 1,6 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
|
44/44 |
Датчик
|
SGS |
Материал
|
Алюминий, сталь |
Масса, кг
|
0.235 |
Масса, г
|
235 |
Допуск по массе, %
|
5 |
Документы