21102
Характеристики
Количество осей
—
2
Рабочие оси
—
X, Y
21102
Характеристики
Количество осей
|
2 |
Рабочие оси
|
X, Y |
Номинальная длина хода, мкм
|
15 х 15 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
15 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
15 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
5,2 х 5,2 |
Разрешение по оси X, нм
|
5.2 |
Разрешение по оси Y, нм
|
5.2 |
Размер столика, мм
|
43 х 43 |
Высота столика, мм
|
12 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световой диаметр, мм
|
37 |
Время шага, мс
|
<5 |
Использованная нагрузка для измерения времени шага, г
|
100 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
> 2500 |
Резонансная частота с нагрузкой, Гц
|
> 1000 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
1,6 х 1,6 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Сталь |
Грузоподъёмность, кг
|
0.2 |
Масса, кг
|
<0,24 |
Масса, г
|
<240 |
Допуск по массе, %
|
20 |
Габариты, мм
|
65x65x12 |