22078
Характеристики
Количество осей
—
2
Рабочие оси
—
X, Y
22078
Характеристики
Количество осей
|
2 |
Рабочие оси
|
X, Y |
Номинальная длина хода, мкм
|
320 х 320 |
Максимальная длина хода, мкм
|
400 х 400 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
400 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
400 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
< 100 х 100 |
Разрешение по оси X, нм
|
<100 |
Разрешение по оси Y, нм
|
<100 |
Размер столика, мм
|
130 х 80 |
Высота столика, мм
|
27 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световое окно, мм
|
120 х 60 |
Резонансная частота с нагрузкой, Гц
|
40 х 50 |
Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
|
1500 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
42,3 х 42,3 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Датчик
|
SGS |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Алюминий, сталь |
Грузоподъёмность, кг
|
1.5 |
Погрешность грузоподъёмности, %
|
±5 |
Масса, кг
|
<1,5 |
Масса, г
|
<1500 |