21075-2
Характеристики
Количество осей
—
2
Рабочие оси
—
X, Y
21075-2
Характеристики
Количество осей
|
2 |
Рабочие оси
|
X, Y |
Номинальная длина хода, мкм
|
> 10 х 10 |
Максимальная длина хода, мкм
|
> 10 х 10 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
10 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
10 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
5 |
Разрешение по оси X, нм
|
5 |
Разрешение по оси Y, нм
|
5 |
Размер столика, мм
|
20 х 20 |
Высота столика, мм
|
18.5 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Нет |
Жёсткость, Н/мкм
|
150 |
Погрешность жёсткости, %
|
20 |
Рабочая частота, Гц
|
4000 |
Допуск рабочей частоты, %
|
20 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
800 х 800 |
Электроёмкость, мкФ
|
7,2 х 7,2 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Блокирующее усилие, Н
|
2000 |
Датчик
|
CAP |
Материал
|
Сталь, Алюминий |
Габариты, мм
|
90×79×25 |