22071
Характеристики
Количество осей
—
2
Рабочие оси
—
X, Y
22071
Характеристики
Количество осей
|
2 |
Рабочие оси
|
X, Y |
Номинальная длина хода, мкм
|
45 х 45 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
45 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
45 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
2 х 2 |
Разрешение по оси X, нм
|
2 |
Разрешение по оси Y, нм
|
2 |
Размер столика, мм
|
100 х 100 |
Высота столика, мм
|
30 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световое окно, мм
|
86 х 86 |
Повторяемость, %F.S.
|
0.1 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.2 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
500 х 800 |
Резонансная частота с нагрузкой, Гц
|
350 х 560 |
Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
|
200 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
14,4 х 14,4 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Датчик
|
SGS |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Алюминий |
Грузоподъёмность, кг
|
0.2 |