H81A.XYZ20S
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
X, Y, Z
H81A.XYZ20S
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
X, Y, Z |
Количество каналов
|
3 |
Тип управления
|
С обратной связью |
Длина хода, мм
|
4 х 4 х 4 |
Номинальная длина хода, мкм
|
18 х 18 х 18 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
4 000 + 18 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
4 000 + 18 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
4 000 + 18 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
1 |
Разрешение по оси X, нм
|
1 |
Разрешение по оси Y, нм
|
1 |
Разрешение по оси Z, нм
|
1 |
Размер столика, мм
|
60 х 60 |
Высота столика, мм
|
62.5 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Да |
Оси длинного хода
|
X, Y, Z |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Нет |
Точность, мм/оборот
|
0.5 |
Повторяемость, %F.S.
|
0.2 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.3 |
Электроёмкость, мкФ
|
1.8 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Датчик
|
SGS |
Материал
|
Сталь, Алюминий |
Грузоподъёмность, кг
|
1 |
Документы