21180
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
Z, θX, θY
21180
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
Z, θX, θY |
Номинальная длина хода, мкм
|
500 |
Номинальный угол хода, мрад
|
2 х 2 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
500 |
Вращение по оси θX, мрад
|
2 |
Вращение по оси θY, мрад
|
2 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
67 |
Разрешение, мкрад
|
0.3 |
Размер столика, мм
|
550 х 550 |
Высота столика, мм
|
35 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световое окно, мм
|
400 х 400 |
Пульсация, мВ
|
20 |
Повторяемость, %F.S.
|
0.25 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.4 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
30 |
Резонансная частота с нагрузкой, Гц
|
20 |
Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
|
1500 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
86,4 х 86,4 х 86,4 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Датчик
|
SGS, высокая точность |
Грузоподъёмность, кг
|
1.5 |