21019
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
Z, θX, θY
21019
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
Z, θX, θY |
Номинальная длина хода, мкм
|
150 |
Номинальный угол хода, мрад
|
17 х 17 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
150 |
Вращение по оси θX, мрад
|
17 |
Вращение по оси θY, мрад
|
17 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Диаметр столика, мм
|
18 |
Высота столика, мм
|
58.3 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Нет |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
1000 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
3,6 х 3,6 х 3,6 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Датчик
|
SGS |
Материал
|
Алюминий, сталь |