21075
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
Z, θX, θY
21075
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
Z, θX, θY |
Номинальная длина хода, мкм
|
200 |
Максимальная длина хода, мкм
|
250 |
Номинальный угол хода, мрад
|
3,2 х 3,2 |
Максимальный угол хода, мрад
|
4 х 4 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
250 |
Вращение по оси θX, мрад
|
4 |
Вращение по оси θY, мрад
|
4 |
Погрешность хода, %
|
Линейная: 5 / Угловая: 20 |
Разрешение, нм
|
10 |
Разрешение, мкрад
|
0.05 |
Разрешение с обратной связью, нм
|
20 |
Разрешение без обратной связи, нм
|
10 |
Разрешение с обратной связью, мкрад
|
0.25 |
Разрешение без обратной связи, мкрад
|
0.05 |
Размер столика, мм
|
139 х 139 |
Высота столика, мм
|
40 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Нет |
Повторяемость, %F.S.
|
0.1 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.2 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
150 х 180 х 180 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
14,4 х 14,4 х 36 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
|
100/20 |
Датчик
|
SGS |
Материал
|
Сталь, алюминий |
Грузоподъёмность, кг
|
3 |
Масса, кг
|
2.5 |
Масса, г
|
2500 |
Допуск по массе, %
|
10 |
Габариты, мм
|
150×150×40 |