H60.XYZTR1K
Характеристики
Количество осей
—
6
Рабочие оси
—
X, Y, Z, θX, θY, θZ
H60.XYZTR1K
Характеристики
Количество осей
|
6 |
Рабочие оси
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
Тип управления
|
Без обратной связи |
Номинальная длина хода, мкм
|
13 x 13 x 6,4 |
Номинальный угол хода, мрад
|
0,32 x 0,32 x 0,48 |
Номинальный угол хода, угл.сек
|
60 x 60 x 100 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Перемещение по оси X, мкм
|
13 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
13 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
6.4 |
Вращение по оси θX, мрад
|
0.32 |
Вращение по оси θY, мрад
|
0.32 |
Вращение по оси θZ, мрад
|
0.48 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
0,4 x 0,4 x 0,2 |
Разрешение, мкрад
|
0,01 x 0,01 x 0,02 |
Разрешение, угл.сек.
|
0,002 х 0,002 х 0,004 |
Размер столика, мм
|
98 х 98 |
Высота столика, мм
|
63 |
Рекомендованный контроллер
|
E00.D6, E70 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Гексапод |
Световое отверстие
|
Есть |
Световой диаметр, мм
|
30 |
Жёсткость, Н/мкм
|
50 |
Погрешность жёсткости, %
|
20 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
1000 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
5 |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Грузоподъёмность, кг
|
5 |
Температура эксплуатации, °С
|
-20 - 80 |
Масса, кг
|
1 |
Масса, г
|
1000 |
Допуск по массе, %
|
5 |
Документы