22038
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
X, Y, θZ
22038
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
X, Y, θZ |
Номинальная длина хода, мкм
|
50 х 50 |
Номинальный угол хода, мрад
|
9 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
50 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
50 |
Вращение по оси θZ, мрад
|
9 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
0.5 |
Разрешение, мкрад
|
0.1 |
Разрешение с обратной связью, нм
|
2 |
Разрешение без обратной связи, нм
|
0.5 |
Разрешение с обратной связью, мкрад
|
0.3 |
Разрешение без обратной связи, мкрад
|
0.1 |
Разрешение по оси X, нм
|
0.5 |
Разрешение по оси Y, нм
|
0.5 |
Разрешение по оси θZ, мкрад
|
0.1 |
Диаметр столика, мм
|
20 |
Высота столика, мм
|
31 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световой диаметр, мм
|
18 |
Повторяемость, %F.S.
|
0.15 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.2 |
Электроёмкость, мкФ
|
5,4 х 5,4 х 21,6 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Датчик
|
SGS |
Материал
|
Сталь, алюминий |
Грузоподъёмность, кг
|
0.2 |
Погрешность грузоподъёмности, %
|
5 |
Масса, кг
|
<0,5 |
Масса, г
|
<500 |
Допуск по массе, %
|
5 |