P12A.XY200Z100S
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
X, Y, Z
P12A.XY200Z100S
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
X, Y, Z |
Тип управления
|
С обратной связью |
Номинальная длина хода, мкм
|
200 х 200 х 80 |
Максимальная длина хода, мкм
|
250 х 250 х 100 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
250 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
250 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
100 |
Погрешность хода, %
|
10 |
Разрешение, нм
|
7 х 7 х 3 |
Разрешение по оси X, нм
|
7 |
Разрешение по оси Y, нм
|
7 |
Разрешение по оси Z, нм
|
3 |
Размер столика, мм
|
95 х 95 |
Высота столика, мм
|
30 |
Рекомендованный контроллер
|
E01.D3, E70 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световое окно, мм
|
45 х 45 |
Повторяемость, %F.S.
|
X0,05/Y0,05/Z0,1 |
Прямолинейность, %F.S.
|
X0,1/Y0,1/Z0,2 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
240 х 240 х 150 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
7,2 х 7,2 х 1,8 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Погрешность длины кабеля, мм
|
±10 |
Датчик
|
SGS |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Алюминий, сталь |
Грузоподъёмность, кг
|
0.5 |
Температура эксплуатации, °С
|
-20 - 80 |
Габариты, мм
|
80×80×30 |
Документы