22123
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
X, Y, θZ
22123
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
X, Y, θZ |
Номинальная длина хода, мкм
|
200 х 200 |
Номинальный угол хода, мрад
|
2 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
200 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
200 |
Вращение по оси θZ, мрад
|
2 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
2.7 |
Разрешение, мкрад
|
0.1 |
Разрешение с обратной связью, мкрад
|
0.3 |
Разрешение без обратной связи, мкрад
|
0.1 |
Разрешение по оси X, нм
|
2.7 |
Разрешение по оси Y, нм
|
2.7 |
Разрешение по оси θZ, мкрад
|
0,1/0,3 |
Размер столика, мм
|
180 х 180 |
Высота столика, мм
|
30 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световой диаметр, мм
|
60 |
Повторяемость, %F.S.
|
0.15 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.2 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
150 |
Резонансная частота с нагрузкой, Гц
|
50 / 20 |
Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
|
2500 / 5000 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
10,8 х 10,8 х 28,8 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Материал
|
Алюминий |
Грузоподъёмность, кг
|
5 |
Горизонтальная грузподъёмность, кг
|
0.2 |
Инвертированная грузоподъёмность, кг
|
3 |
Погрешность грузоподъёмности, %
|
5 |
Масса, кг
|
<1,3 |
Масса, г
|
<1300 |
Допуск по массе, %
|
5 |