H61.XYZTR0S-B1
Характеристики
Количество осей
—
6
Рабочие оси
—
X, Y, Z, θX, θY, θZ
H61.XYZTR0S-B1
Характеристики
Количество осей
|
6 |
Рабочие оси
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
Количество каналов
|
7 |
Тип управления
|
С обратной связью |
Номинальная длина хода, мкм
|
32 x 32 x 28 |
Максимальная длина хода, мкм
|
40 x 40 x 35 |
Номинальный угол хода, мрад
|
0,24 x 0,24 x 0,3 |
Максимальный угол хода, мрад
|
0,56 x 0,56 x 0,7 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
40 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
40 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
35 |
Вращение по оси θX, мрад
|
0.56 |
Вращение по оси θY, мрад
|
0.56 |
Вращение по оси θZ, мрад
|
0.7 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
2,5 х 1,5 х 1 |
Разрешение, мкрад
|
0,02 х 0,02 х 0,02 |
Разрешение, угл.сек.
|
0,004 х 0,004 х 0,004 |
Разрешение по оси X, нм
|
2.5 |
Разрешение по оси Y, нм
|
2.5 |
Разрешение по оси Z, нм
|
1 |
Разрешение по оси θX, мкрад
|
0.02 |
Разрешение по оси θY, мкрад
|
0.02 |
Разрешение по оси θZ, мкрад
|
0.02 |
Размер столика, мм
|
85 х 85 |
Высота столика, мм
|
64 |
Рекомендованный контроллер
|
E51.D7S, E01.A9 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световое окно, мм
|
50 х 50 |
Повторяемость, %F.S.
|
0.1 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.2 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
350 |
Резонансная частота с нагрузкой, Гц
|
50 |
Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
|
10500 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
29 x 29 x 29 x 15 x 15 x 7 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Погрешность длины кабеля, мм
|
±10 |
Разъём кабеля
|
D-SUB |
Датчик
|
SGS |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Сталь, алюминий |
Грузоподъёмность, кг
|
10.5 |
Погрешность грузоподъёмности, %
|
5 |
Температура эксплуатации, °С
|
-20 - 80 |
Масса, кг
|
< 4 |
Масса, г
|
<4000 |
Допуск по массе, %
|
5 |
Габариты, мм
|
200 x 200 x 64 |
Документы