H62.XYZTR25S
Характеристики
Количество осей
—
6
Рабочие оси
—
X, Y, Z, θX, θY, θZ
H62.XYZTR25S
Характеристики
Количество осей
|
6 |
Рабочие оси
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
Количество каналов
|
7 |
Тип управления
|
С обратной связью |
Номинальная длина хода, мкм
|
160 х 160 х 160 |
Максимальная длина хода, мкм
|
200 х 200 х 200 |
Номинальный угол хода, мрад
|
20 x 20 x 1,28 |
Максимальный угол хода, мрад
|
25 x 25 x 1,6 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 100 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 120 |
Перемещение по оси X, мкм
|
200 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
200 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
200 |
Вращение по оси θX, мрад
|
25 |
Вращение по оси θY, мрад
|
25 |
Вращение по оси θZ, мрад
|
1.6 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
7 х 7 х 7 |
Разрешение, мкрад
|
0,9 x 0,9 x 0,06 |
Разрешение, угл.сек.
|
0,19 х 0,19 х 0,12 |
Разрешение по оси X, нм
|
7 |
Разрешение по оси Y, нм
|
7 |
Разрешение по оси Z, нм
|
7 |
Разрешение по оси θX, мкрад
|
0.9 |
Разрешение по оси θY, мкрад
|
0.9 |
Разрешение по оси θZ, мкрад
|
0.06 |
Диаметр столика, мм
|
35 |
Высота столика, мм
|
38 |
Рекомендованный контроллер
|
E51.D7S, E01.A9 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Нет |
Повторяемость, %F.S.
|
0.2 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.5 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
140 х 150 х 200 х 270 х 280 х 110 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
14,4 x 14,4 x 28,8 x 14,4 x 14,4 x 3,6 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Погрешность длины кабеля, мм
|
±10 |
Разъём кабеля
|
- |
Датчик
|
SGS |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Сталь, алюминий |
Грузоподъёмность, кг
|
0.2 |
Погрешность грузоподъёмности, %
|
5 |
Температура эксплуатации, °С
|
-20 - 80 |
Масса, кг
|
0.96 |
Масса, г
|
960 |
Допуск по массе, %
|
5 |
Документы