22083
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
X, Y, Z
22083
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
X, Y, Z |
Номинальная длина хода, мкм
|
200 х 200 х 100 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
200 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
200 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
100 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
2,1 х 2,1 х 2,1 |
Разрешение по оси X, нм
|
2.1 |
Разрешение по оси Y, нм
|
2.1 |
Разрешение по оси Z, нм
|
2.1 |
Размер столика, мм
|
94 х 94 |
Высота столика, мм
|
39.3 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световое окно, мм
|
68 х 68 |
Повторяемость, %F.S.
|
0.1 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.2 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
220 |
Резонансная частота с нагрузкой, Гц
|
110 |
Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
|
50 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
14,4 х 14,4 х 14,4 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Датчик
|
SGS |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Алюминий, сталь |
Грузоподъёмность, кг
|
5 |
Погрешность грузоподъёмности, %
|
±5 |
Масса, кг
|
<1,5 |
Масса, г
|
<1500 |