H60.XYZTR5S
Характеристики
Количество осей
—
6
Рабочие оси
—
X, Y, Z, θX, θY, θZ
H60.XYZTR5S
Характеристики
Количество осей
|
6 |
Рабочие оси
|
X, Y, Z, θX, θY, θZ |
Тип управления
|
С обратной связью |
Номинальная длина хода, мкм
|
80 x 80 x 55 |
Номинальный угол хода, мрад
|
1,2 x 1,2 x 1,6 |
Номинальный угол хода, угл.сек
|
246 x 246 x 330 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Перемещение по оси X, мкм
|
80 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
80 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
55 |
Вращение по оси θX, мрад
|
1.2 |
Вращение по оси θY, мрад
|
1.2 |
Вращение по оси θZ, мрад
|
1.6 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
0,5 х 0,5 х 0,5 |
Разрешение, мкрад
|
0,5 х 0,5 х 0,5 |
Разрешение, угл.сек.
|
0,1 х 0,1 х 0,1 |
Разрешение по оси X, нм
|
0.5 |
Разрешение по оси Y, нм
|
0.5 |
Разрешение по оси Z, нм
|
0.5 |
Разрешение по оси θX, мкрад
|
0.5 |
Разрешение по оси θY, мкрад
|
0.5 |
Разрешение по оси θZ, мкрад
|
0.5 |
Размер столика, мм
|
80 х 80 |
Высота столика, мм
|
93 |
Рекомендованный контроллер
|
E00.D6, E70 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Гексапод |
Световое отверстие
|
Есть |
Световой диаметр, мм
|
30 |
Повторяемость, %F.S.
|
0.1 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.1 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
1000 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
5 |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Грузоподъёмность, кг
|
5 |
Температура эксплуатации, °С
|
-20 - 80 |
Масса, кг
|
1.3 |
Масса, г
|
1300 |
Допуск по массе, %
|
5 |
Документы