|
|
18130 |
120 х 170 |
90 |
|
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Номинальная длина хода, мкм
- 90
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Размер столика, мм
- 120 х 170
- Высота столика, мм
- 25
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 60 х 30 х3
- Электроёмкость, мкФ
- 5.4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
|
|
|
|
19113 |
150 х 182 |
500 |
|
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Номинальная длина хода, мкм
- 500
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Размер столика, мм
- 150 х 182
- Высота столика, мм
- 43.1
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 127 х 87
- Электроёмкость, мкФ
- 16
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Грузоподъёмность, кг
- 0.6
|
|
|
|
21041 |
175 х 175 |
80 |
|
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Номинальная длина хода, мкм
- 80
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Размер столика, мм
- 175 х 175
- Высота столика, мм
- 24.5
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 132x156
- Время шага, мс
- 50
- Использованная нагрузка для измерения времени шага, г
- (300)
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1.8
- Погрешность электроёмкости, %
- 10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 3
- Масса, кг
- 0.6
- Масса, г
- 600
- Допуск по массе, %
- 10
- Габариты, мм
- 212x188x24.5
|
|
|
|
21125 |
75 х 75 |
200 |
35 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Номинальная длина хода, мкм
- 200
- Максимальная длина хода, мкм
- 250
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 35
- Размер столика, мм
- 75 х 75
- Высота столика, мм
- 30
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 22
- Пульсация, мВ
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.15
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.25
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 240
- Резонансная частота с нагрузкой, Гц
- 50
- Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
- 1200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 18
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Датчик
- SGS, высокоточный
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Грузоподъёмность, кг
- 2
|
|
|
|
22099 |
170 х 130 |
500 |
9 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 500
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 9
- Разрешение с обратной связью, нм
- 30
- Разрешение без обратной связи, нм
- 9
- Допуск по разрешению, %
- 20
- Размер столика, мм
- 170 х 130
- Высота столика, мм
- 27
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 115 х 80
- Пульсация, мВ
- 5
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.15
- Электроёмкость, мкФ
- 28.8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Масса, кг
- <1
- Масса, г
- <1000
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
|
|
22129-2 |
70 х 40 |
250 |
3 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 250
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 3
- Разрешение с обратной связью, нм
- 10
- Разрешение без обратной связи, нм
- 3
- Допуск по разрешению, %
- 20
- Размер столика, мм
- 70 х 40
- Высота столика, мм
- 21
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 25
- Пульсация, мВ
- 5
- Повторяемость, %F.S.
- 0.15
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Электроёмкость, мкФ
- 28.8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.2
- Горизонтальная грузоподъёмность, кг
- 0.02
- Инвертированная грузоподъёмность, кг
- 2
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Масса, кг
- <0,3
- Масса, г
- <300
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
|
|
OMZH1A |
|
|
2 |
По запросу
|
|
|
- Серия
- OMZH-A - Подъёмники с пьезомотором
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью / Без обратной связи
- Длина хода, мм
- ± 1
- Разрешение, нм
- 2
- Минимальное движение из состояния покоя, нм
- 50 - 200
- Энкодер
- Оптический градуированный датчик
- Разрешение энкодера, нм
- 5
- Наличие тонкой настройки
- Нет
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Опционально
- Совместим со сверхнизкими температурами, К
- 4
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Параллелизм движения, мкм
- 5
- Точность двунаправленного позиционирования, нм
- 4
- Пиковая тяга двигателя, Н
- 300
- Материал корпуса
- Алюминиевый сплав 6061-T6
- Обработка поверхности
- Чёрное анодирование
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Горизонтальная грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - +80 (Крио исполнение: -269 - +80)
- Масса, г
- 78
- Габариты, мм
- 45,6 х 44,0 х 24,6
- Производитель
- OMTOOLS
|
|
|
|
P11.Z100K |
40 х 40 |
80 |
1 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Рабочая частота, Гц
- 50
- Использованная нагрузка для измерения рабочей частоты, г
- 100
- Допуск рабочей частоты, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 700
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1.8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.8
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.1
- Масса, г
- 100
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 40×40×22
|
|
|
|
P11.Z100S |
40 х 40 |
80 |
3 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 10
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.02
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.05
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Рабочая частота, Гц
- 50
- Использованная нагрузка для измерения рабочей частоты, г
- 100
- Допуск рабочей частоты, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 700
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1.8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.8
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.1
- Масса, г
- 100
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 40×40×22
|
|
|
|
P11.Z200K |
40 х 40 |
160 |
2 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.45
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 180
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3.6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 70/6
- Крепёжные элементы
- 10 х М3 - 20х25 мм
- Метод фиксации
- 4 х под М2,5 - 36х36 мм
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступна вакуум версия
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Вертикальная грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.17
- Масса, г
- 170
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 40×40×22
|
|
|
|
P11.Z200S |
40 х 40 |
160 |
5.5 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 5.5
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 10
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.06
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.15
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.45
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 180
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3.6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 70/6
- Датчик
- SGS
- Крепёжные элементы
- 10 х М3 - 20х25 мм
- Метод фиксации
- 4 х под М2,5 - 36х36 мм
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступна вакуум версия
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Вертикальная грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.17
- Масса, г
- 170
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 40×40×22
|
|
|
|
P11.Z300K |
40 х 40 |
240 |
2.5 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 240
- Максимальная длина хода, мкм
- 300
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 2.5
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.25
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 120
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 5.4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 50/4
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.4
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.185
- Масса, г
- 185
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 40×40×36.5
|
|
|
|
P11.Z300S |
40 х 40 |
240 |
8 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 240
- Максимальная длина хода, мкм
- 300
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 8
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 10
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.12
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.5
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.25
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 120
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 5.4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 50/4
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.4
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.185
- Масса, г
- 185
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 40×40×36.5
|
|
|
|
P12.Z100K |
60 х 60 / 70 х 70 |
80 |
1 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 60 х 60 / 70 х 70
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 25 / 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 220
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1.8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.8
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.14
- Масса, г
- 140
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×24
|
|
|
|
P12.Z100S |
60 х 60 / 70 х 70 |
80 |
3 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 3
- Размер столика, мм
- 60 х 60 / 70 х 70
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D3, E70
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 25 / 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 10
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.02
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.05
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 220
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 1.8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.8
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.14
- Масса, г
- 140
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×24
|
|
|
|
P12.Z200K |
60 х 60 / 70 х 70 |
160 |
2 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 60 х 60 / 70 х 70
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 25 / 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 1.6
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 150
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3.6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.2
- Масса, г
- 200
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 70×70×24
|
|
|
|
P12.Z200S |
60 х 60 / 70 х 70 |
160 |
5.5 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 5.5
- Размер столика, мм
- 60 х 60 / 70 х 70
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 25 / 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 15
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 150
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3.6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.2
- Масса, г
- 200
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 70×70×24
|
|
|
|
P12.Z300K |
60 х 60 / 70 х 70 |
240 |
2.5 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 240
- Максимальная длина хода, мкм
- 300
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 2.5
- Размер столика, мм
- 60 х 60 / 70 х 70
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 25 / 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 2.4
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 100
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 5.4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.4
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.26
- Масса, г
- 260
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 70×70×24
|
|
|
|
P12.Z300S |
60 х 60 / 70 х 70 |
240 |
8 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 240
- Максимальная длина хода, мкм
- 300
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 8
- Размер столика, мм
- 60 х 60 / 70 х 70
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 25 / 35
- Время шага без нагрузки, мс
- 30
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.15
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 100
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 5.4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.4
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.26
- Масса, г
- 260
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 70×70×24
|
|
|
|
P12A.Z100K |
80 х 80 |
80 |
4 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 4
- Размер столика, мм
- 80 х 80
- Высота столика, мм
- 26
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3.6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.7
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.24
- Масса, г
- 240
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 85×85×28
|
|
|
|
P12A.Z100S |
80 х 80 |
80 |
7 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 80
- Максимальная длина хода, мкм
- 100
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 7
- Размер столика, мм
- 80 х 80
- Высота столика, мм
- 26
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Время шага без нагрузки, мс
- 10
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.04
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <10
- Крен, мкрад
- <10
- Тангаж, мкрад
- <10
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 200
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3.6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.7
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.24
- Масса, г
- 240
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 85×85×28
|
|
|
|
P12A.Z200K |
95 х 95 |
160 |
2 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 95 х 95
- Высота столика, мм
- 31
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 160
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7.2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 95×95×31
|
|
|
|
P12A.Z200S |
95 х 95 |
160 |
5.5 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 5.5
- Размер столика, мм
- 95 х 95
- Высота столика, мм
- 31
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Повторяемость, %F.S.
- 0.2
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.3
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 160
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 7.2
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 95×95×31
|
|
|
|
P12A.Z400K |
95 х 95 |
320 |
3.5 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 320
- Максимальная длина хода, мкм
- 400
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 3.5
- Размер столика, мм
- 95 х 95
- Высота столика, мм
- 31
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 130
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 14.4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.4
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 95×95×31
|
|
|
|
P12A.Z400S |
95 х 95 |
320 |
11 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 320
- Максимальная длина хода, мкм
- 400
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 11
- Размер столика, мм
- 95 х 95
- Высота столика, мм
- 31
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Повторяемость, %F.S.
- 0.3
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.4
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 130
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 14.4
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.4
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 95×95×31
|
|
|
|
P12A.Z600K |
95 х 95 |
480 |
5 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 480
- Максимальная длина хода, мкм
- 600
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 5
- Размер столика, мм
- 95 х 95
- Высота столика, мм
- 31
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 80
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 21.6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.3
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 95×95×31
|
|
|
|
P12A.Z600S |
95 х 95 |
480 |
16 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 480
- Максимальная длина хода, мкм
- 600
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 16
- Размер столика, мм
- 95 х 95
- Высота столика, мм
- 31
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световое окно, мм
- 45 х 45
- Повторяемость, %F.S.
- 0.4
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.5
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 80
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 21.6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий, сталь
- Грузоподъёмность, кг
- 0.3
- Погрешность грузоподъёмности, %
- ±5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Габариты, мм
- 95×95×31
|
|
|
|
P18.Z200K |
37 х 37 |
160 |
2 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Количество каналов
- 1
- Тип управления
- Без обратной связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 37 х 37
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 35
- Рыскание, мкрад
- <20
- Крен, мкрад
- <20
- Тангаж, мкрад
- <20
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 300
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 50/10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1
|
|
|
|
P18.Z200S |
37 х 37 |
160 |
7 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Количество каналов
- 1
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 160
- Максимальная длина хода, мкм
- 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 7
- Размер столика, мм
- 37 х 37
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Есть
- Световой диаметр, мм
- 35
- Повторяемость, %F.S.
- 0.15
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Рыскание, мкрад
- <20
- Крен, мкрад
- <20
- Тангаж, мкрад
- <20
- Жёсткость, Н/мкм
- 0.3
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 300
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 50/10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1
|
|
|
|
P60.Z1000K-C1 |
230 х 52 |
800 |
10 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 800
- Максимальная длина хода, мкм
- 1000
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 10
- Размер столика, мм
- 230 х 52
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- -
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 72
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Крепёжные элементы
- 8 х М2 - 40х130, 40х210 мм
- Метод фиксации
- 8 х под М6 (контрбор) - 75х75, 75х175 мм
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступна вакуум версия
- Материал
- Титан / Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 1.3
- Масса, г
- 1300
- Допуск по массе, %
- 20
- Габариты, мм
- 245×85×36
|
|
|
|
P60.Z1000S-C1 |
230 х 52 |
800 |
35 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 800
- Максимальная длина хода, мкм
- 1000
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 35
- Размер столика, мм
- 230 х 52
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.2
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 80
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 72
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Крепёжные элементы
- 8 х М2 - 40х130, 40х210 мм
- Метод фиксации
- 8 х под М6 (контрбор) - 75х75, 75х175 мм
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступна вакуум версия
- Материал
- Титан / Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 1.3
- Масса, г
- 1300
- Допуск по массе, %
- 20
- Габариты, мм
- 245×85×36
|
|
|
|
P60.Z250K |
45 х 45 |
250 |
2 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 250
- Максимальная длина хода, мкм
- 250
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 2
- Размер столика, мм
- 45 х 45
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Да
- Совместим с вакуумом, мбар
- 10^-5
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 260
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 21.6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Крепёжные элементы
- 7 х М2,5 - 35х35 мм
- Метод фиксации
- 4 х под М3 (контрбор) - 54х54 мм
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.4
- Масса, г
- 400
- Допуск по массе, %
- 20
- Габариты, мм
- 80×60×20
|
|
|
|
P60.Z250S |
45 х 45 |
200 |
7 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 200
- Максимальная длина хода, мкм
- 200
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 7
- Размер столика, мм
- 45 х 45
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Да
- Совместим с вакуумом, мбар
- 10^-5
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Повторяемость, %F.S.
- 0.1
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.4
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 260
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 21.6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Крепёжные элементы
- 7 х М2,5 - 35х35 мм
- Метод фиксации
- 4 х под М3 (контрбор) - 54х54 мм
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.4
- Масса, г
- 400
- Допуск по массе, %
- 20
- Габариты, мм
- 80×60×20
|
|
|
|
P60.Z500K |
40 х 40 |
400 |
4 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 400
- Максимальная длина хода, мкм
- 500
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 4
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 290
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 28.8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 2
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.65
- Масса, г
- 650
- Допуск по массе, %
- 20
- Габариты, мм
- 88×88×36
|
|
|
|
P60.Z500S |
40 х 40 |
400 |
13.5 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 400
- Максимальная длина хода, мкм
- 500
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 20
- Разрешение, нм
- 13.5
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 290
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 28.8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Сталь, Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 2
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.65
- Масса, г
- 650
- Допуск по массе, %
- 20
- Габариты, мм
- 88×88×36
|
|
|
|
P63.Z7K |
30 х 30 |
5.5 |
0.1 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 5.5
- Максимальная длина хода, мкм
- 6.8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.1
- Размер столика, мм
- 30 х 30
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.3
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <5
- Крен, мкрад
- <5
- Тангаж, мкрад
- <5
- Жёсткость, Н/мкм
- 2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2500
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0.8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 12.2
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.8
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.07
- Масса, г
- 70
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 30×30×24
|
|
|
|
P63.Z7S |
30 х 30 |
5.5 |
0.2 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 5.5
- Максимальная длина хода, мкм
- 6.8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.2
- Размер столика, мм
- 30 х 30
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 1.5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.2
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.4
- Рыскание, мкрад
- <5
- Крен, мкрад
- <5
- Тангаж, мкрад
- <5
- Жёсткость, Н/мкм
- 2
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 2500
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0.8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 12.2
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.8
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.07
- Масса, г
- 70
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 30×30×24
|
|
|
|
P63.Z8K |
40 х 40 |
6 |
0.1 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 6
- Максимальная длина хода, мкм
- 8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.1
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 0.5
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0.8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.112
- Масса, г
- 112
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
|
|
P63.Z8S |
40 х 40 |
6 |
0.2 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 6
- Максимальная длина хода, мкм
- 8
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.2
- Размер столика, мм
- 40 х 40
- Высота столика, мм
- 24
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Тип многоосевого
- Интегрированный
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 8
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.25
- Прямолинейность, %F.S.
- 1
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1000
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 0.8
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 0.5
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.112
- Масса, г
- 112
- Допуск по массе, %
- 5
|
|
|
|
P66.Z30K |
22 х 22 |
24 |
0.5 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- Без обратой связи
- Номинальная длина хода, мкм
- 24
- Максимальная длина хода, мкм
- 30
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 0.5
- Размер столика, мм
- 22 х 22
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 1
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- 1.1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1400
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3.6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.2
- Масса, г
- 200
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×23
|
|
|
|
P66.Z30S |
22 х 22 |
24 |
1 |
По запросу
|
|
|
- Количество осей
- 1
- Рабочие оси
- Z
- Тип управления
- С обратной связью
- Номинальная длина хода, мкм
- 24
- Максимальная длина хода, мкм
- 30
- Напряжение номинального хода, В
- 0 - 120
- Напряжение максимального хода, В
- 0 - 150
- Погрешность хода, %
- 10
- Разрешение, нм
- 1
- Размер столика, мм
- 22 х 22
- Рекомендованный контроллер
- E01.D1, E53
- Совместим со сверхнизкими температурами
- Нет
- Совместим со сверхвысокими температурами
- Нет
- Совместим с вакуумом
- Нет
- Длинного хода
- Нет
- Световое отверстие
- Нет
- Время шага без нагрузки, мс
- 15
- Допуск по времени шага, %
- 20
- Повторяемость, %F.S.
- 0.05
- Прямолинейность, %F.S.
- 0.1
- Рыскание, мкрад
- <15
- Крен, мкрад
- <15
- Тангаж, мкрад
- <15
- Жёсткость, Н/мкм
- 1.1
- Погрешность жёсткости, %
- 20
- Резонансная частота без нагрузки, Гц
- 1400
- Допуск по резонансной частоте, %
- 20
- Электроёмкость, мкФ
- 3.6
- Погрешность электроёмкости, %
- 20
- Длина кабеля, м
- 1.5
- Погрешность длины кабеля, мм
- ±10
- Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
- 30.10
- Датчик
- SGS
- Примечание
- Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии
- Материал
- Алюминий
- Грузоподъёмность, кг
- 1
- Температура эксплуатации, °С
- -20 - 80
- Масса, кг
- 0.2
- Масса, г
- 200
- Допуск по массе, %
- 5
- Габариты, мм
- 60×60×23
|
|
|