Z-позиционеры
Сортировать по:
По умолчанию
| Фото | Документы | Подробная информация | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
 | 18130 | 120 х 170 | 90 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Размер столика, мм 120 х 170 Высота столика, мм 25 Световое отверстие Есть Световое окно, мм 60 х 30 х3 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Номинальная длина хода, мкм 90 Напряжение номинального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Электроёмкость, мкФ 5.4 Погрешность электроёмкости, % 20 Датчик SGS | |||||
 | 19113 | 150 х 182 | 500 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Размер столика, мм 150 х 182 Высота столика, мм 43.1 Световое отверстие Есть Световое окно, мм 127 х 87 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Номинальная длина хода, мкм 500 Напряжение номинального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Электроёмкость, мкФ 16 Погрешность электроёмкости, % 20 Грузоподъёмность, кг 0.6 | |||||
 | 21041 | 175 х 175 | 80 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Размер столика, мм 175 х 175 Высота столика, мм 24.5 Световое отверстие Есть Световое окно, мм 132x156 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Масса, кг 0.6 Масса, г 600 Габариты, мм 212x188x24.5 Номинальная длина хода, мкм 80 Напряжение номинального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага, мс 50 Использованная нагрузка для измерения времени шага, г (300) Допуск по времени шага, % 20 Электроёмкость, мкФ 1.8 Погрешность электроёмкости, % 10 Грузоподъёмность, кг 3 Допуск по массе, % 10 | |||||
 | 21125 | 75 х 75 | 200 | 35 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Размер столика, мм 75 х 75 Высота столика, мм 30 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 22 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Номинальная длина хода, мкм 200 Максимальная длина хода, мкм 250 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 35 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Пульсация, мВ 20 Повторяемость, %F.S. 0.15 Прямолинейность, %F.S. 0.25 Резонансная частота без нагрузки, Гц 240 Резонансная частота с нагрузкой, Гц 50 Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г 1200 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 18 Погрешность электроёмкости, % 20 Датчик SGS, высокоточный Грузоподъёмность, кг 2 | ||||
 | 22099 | 170 х 130 | 500 | 9 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 170 х 130 Высота столика, мм 27 Световое отверстие Есть Световое окно, мм 115 х 80 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Масса, кг <1 Масса, г <1000 Номинальная длина хода, мкм 500 Напряжение номинального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 9 Разрешение с обратной связью, нм 30 Разрешение без обратной связи, нм 9 Допуск по разрешению, % 20 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Пульсация, мВ 5 Повторяемость, %F.S. 0.1 Прямолинейность, %F.S. 0.15 Электроёмкость, мкФ 28.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.2 Погрешность грузоподъёмности, % ±5 Допуск по массе, % 5 | ||||
 | 22129-2 | 70 х 40 | 250 | 3 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 70 х 40 Высота столика, мм 21 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 25 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Горизонтальная грузоподъёмность, кг 0.02 Инвертированная грузоподъёмность, кг 2 Масса, кг <0,3 Масса, г <300 Номинальная длина хода, мкм 250 Напряжение номинального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 3 Разрешение с обратной связью, нм 10 Разрешение без обратной связи, нм 3 Допуск по разрешению, % 20 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Пульсация, мВ 5 Повторяемость, %F.S. 0.15 Прямолинейность, %F.S. 0.2 Электроёмкость, мкФ 28.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.2 Погрешность грузоподъёмности, % ±5 Допуск по массе, % 5 | ||||
 | OMZH1A | 2 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью / Без обратной связи Длина хода, мм ± 1 Энкодер Оптический градуированный датчик Наличие тонкой настройки Нет Параллелизм движения, мкм 5 Точность двунаправленного позиционирования, нм 4 Пиковая тяга двигателя, Н 300 Обработка поверхности Чёрное анодирование Горизонтальная грузоподъёмность, кг 1 Температура эксплуатации, °С -20 - +80 (Крио исполнение: -269 - +80) Масса, г 78 Габариты, мм 45,6 х 44,0 х 24,6 Производитель OMTOOLS Серия OMZH-A - Подъёмники с пьезомотором Разрешение, нм 2 Минимальное движение из состояния покоя, нм 50 - 200 Разрешение энкодера, нм 5 Совместим со сверхнизкими температурами Опционально Совместим со сверхнизкими температурами, К 4 Совместим с вакуумом Нет Материал корпуса Алюминиевый сплав 6061-T6 Грузоподъёмность, кг 1 | ||||||
 | P11.Z100K | 40 х 40 | 80 | 1 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратой связи Размер столика, мм 40 х 40 Световое отверстие Нет Рыскание, мкрад <10 Крен, мкрад <10 Тангаж, мкрад <10 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.1 Масса, г 100 Габариты, мм 40×40×22 Номинальная длина хода, мкм 80 Максимальная длина хода, мкм 100 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 1 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 0.8 Допуск по времени шага, % 20 Жёсткость, Н/мкм 0.3 Погрешность жёсткости, % 20 Рабочая частота, Гц 50 Использованная нагрузка для измерения рабочей частоты, г 100 Допуск рабочей частоты, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 700 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 1.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 30.10 Грузоподъёмность, кг 0.8 Допуск по массе, % 5 | ||||
| P11.Z100S | 40 х 40 | 80 | 3 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 40 х 40 Световое отверстие Нет Рыскание, мкрад <10 Крен, мкрад <10 Тангаж, мкрад <10 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.1 Масса, г 100 Габариты, мм 40×40×22 Номинальная длина хода, мкм 80 Максимальная длина хода, мкм 100 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 3 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 10 Допуск по времени шага, % 20 Повторяемость, %F.S. 0.02 Прямолинейность, %F.S. 0.05 Жёсткость, Н/мкм 0.3 Погрешность жёсткости, % 20 Рабочая частота, Гц 50 Использованная нагрузка для измерения рабочей частоты, г 100 Допуск рабочей частоты, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 700 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 1.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 30.10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.8 Допуск по массе, % 5 | ||||
 | P11.Z200K | 40 х 40 | 160 | 2 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратой связи Размер столика, мм 40 х 40 Световое отверстие Нет Рыскание, мкрад <10 Крен, мкрад <10 Тангаж, мкрад <10 Длина кабеля, м 1.5 Крепёжные элементы 10 х М3 - 20х25 мм Метод фиксации 4 х под М2,5 - 36х36 мм Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступна вакуум версия Материал Сталь, Алюминий Вертикальная грузоподъёмность, кг 0.5 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.17 Масса, г 170 Габариты, мм 40×40×22 Номинальная длина хода, мкм 160 Максимальная длина хода, мкм 200 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 2 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 0.8 Допуск по времени шага, % 20 Жёсткость, Н/мкм 0.45 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 180 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 3.6 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 70/6 Грузоподъёмность, кг 0.5 Допуск по массе, % 5 | ||||
| P11.Z200S | 40 х 40 | 160 | 5.5 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 40 х 40 Световое отверстие Нет Рыскание, мкрад <10 Крен, мкрад <10 Тангаж, мкрад <10 Длина кабеля, м 1.5 Крепёжные элементы 10 х М3 - 20х25 мм Метод фиксации 4 х под М2,5 - 36х36 мм Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступна вакуум версия Материал Сталь, Алюминий Вертикальная грузоподъёмность, кг 0.5 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.17 Масса, г 170 Габариты, мм 40×40×22 Номинальная длина хода, мкм 160 Максимальная длина хода, мкм 200 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 5.5 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 10 Допуск по времени шага, % 20 Повторяемость, %F.S. 0.06 Прямолинейность, %F.S. 0.15 Жёсткость, Н/мкм 0.45 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 180 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 3.6 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 70/6 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.5 Допуск по массе, % 5 | ||||
 | P11.Z300K | 40 х 40 | 240 | 2.5 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратой связи Размер столика, мм 40 х 40 Световое отверстие Нет Рыскание, мкрад <10 Крен, мкрад <10 Тангаж, мкрад <10 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.185 Масса, г 185 Габариты, мм 40×40×36.5 Номинальная длина хода, мкм 240 Максимальная длина хода, мкм 300 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 2.5 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 0.8 Допуск по времени шага, % 20 Жёсткость, Н/мкм 0.25 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 120 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 5.4 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 50/4 Грузоподъёмность, кг 0.4 Допуск по массе, % 5 | ||||
| P11.Z300S | 40 х 40 | 240 | 8 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 40 х 40 Световое отверстие Нет Рыскание, мкрад <10 Крен, мкрад <10 Тангаж, мкрад <10 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.185 Масса, г 185 Габариты, мм 40×40×36.5 Номинальная длина хода, мкм 240 Максимальная длина хода, мкм 300 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 8 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 10 Допуск по времени шага, % 20 Повторяемость, %F.S. 0.12 Прямолинейность, %F.S. 0.5 Жёсткость, Н/мкм 0.25 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 120 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 5.4 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 50/4 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.4 Допуск по массе, % 5 | ||||
 | P12.Z100K | 60 х 60 / 70 х 70 | 80 | 1 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратной связи Размер столика, мм 60 х 60 / 70 х 70 Высота столика, мм 24 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 25 / 35 Рыскание, мкрад <10 Крен, мкрад <10 Тангаж, мкрад <10 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.14 Масса, г 140 Габариты, мм 60×60×24 Номинальная длина хода, мкм 80 Максимальная длина хода, мкм 100 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 1 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 0.8 Допуск по времени шага, % 20 Жёсткость, Н/мкм 0.3 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 220 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 1.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 30.10 Грузоподъёмность, кг 0.8 Допуск по массе, % 5 | ||||
| P12.Z100S | 60 х 60 / 70 х 70 | 80 | 3 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 60 х 60 / 70 х 70 Высота столика, мм 24 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 25 / 35 Рыскание, мкрад <10 Крен, мкрад <10 Тангаж, мкрад <10 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.14 Масса, г 140 Габариты, мм 60×60×24 Номинальная длина хода, мкм 80 Максимальная длина хода, мкм 100 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 3 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 10 Допуск по времени шага, % 20 Повторяемость, %F.S. 0.02 Прямолинейность, %F.S. 0.05 Жёсткость, Н/мкм 0.3 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 220 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 1.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 30.10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.8 Допуск по массе, % 5 | ||||
 | P12.Z200K | 60 х 60 / 70 х 70 | 160 | 2 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратной связи Размер столика, мм 60 х 60 / 70 х 70 Высота столика, мм 24 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 25 / 35 Рыскание, мкрад <15 Крен, мкрад <15 Тангаж, мкрад <15 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.2 Масса, г 200 Габариты, мм 70×70×24 Номинальная длина хода, мкм 160 Максимальная длина хода, мкм 200 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 2 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 1.6 Допуск по времени шага, % 20 Жёсткость, Н/мкм 0.2 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 150 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 3.6 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 30.10 Грузоподъёмность, кг 0.5 Допуск по массе, % 5 | ||||
| P12.Z200S | 60 х 60 / 70 х 70 | 160 | 5.5 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 60 х 60 / 70 х 70 Высота столика, мм 24 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 25 / 35 Рыскание, мкрад <15 Крен, мкрад <15 Тангаж, мкрад <15 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.2 Масса, г 200 Габариты, мм 70×70×24 Номинальная длина хода, мкм 160 Максимальная длина хода, мкм 200 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 5.5 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 15 Допуск по времени шага, % 20 Повторяемость, %F.S. 0.05 Прямолинейность, %F.S. 0.1 Жёсткость, Н/мкм 0.2 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 150 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 3.6 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 30.10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.5 Допуск по массе, % 5 | ||||
 | P12.Z300K | 60 х 60 / 70 х 70 | 240 | 2.5 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратной связи Размер столика, мм 60 х 60 / 70 х 70 Высота столика, мм 24 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 25 / 35 Рыскание, мкрад <15 Крен, мкрад <15 Тангаж, мкрад <15 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.26 Масса, г 260 Габариты, мм 70×70×24 Номинальная длина хода, мкм 240 Максимальная длина хода, мкм 300 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 2.5 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 2.4 Допуск по времени шага, % 20 Жёсткость, Н/мкм 0.1 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 100 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 5.4 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 30.10 Грузоподъёмность, кг 0.4 Допуск по массе, % 5 | ||||
| P12.Z300S | 60 х 60 / 70 х 70 | 240 | 8 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 60 х 60 / 70 х 70 Высота столика, мм 24 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 25 / 35 Рыскание, мкрад <15 Крен, мкрад <15 Тангаж, мкрад <15 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.26 Масса, г 260 Габариты, мм 70×70×24 Номинальная длина хода, мкм 240 Максимальная длина хода, мкм 300 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 8 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 30 Допуск по времени шага, % 20 Повторяемость, %F.S. 0.1 Прямолинейность, %F.S. 0.15 Жёсткость, Н/мкм 0.1 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 100 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 5.4 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 30.10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.4 Допуск по массе, % 5 | ||||
 | P12A.Z100K | 80 х 80 | 80 | 4 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратной связи Размер столика, мм 80 х 80 Высота столика, мм 26 Световое отверстие Есть Световое окно, мм 45 х 45 Рыскание, мкрад <10 Крен, мкрад <10 Тангаж, мкрад <10 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.24 Масса, г 240 Габариты, мм 85×85×28 Номинальная длина хода, мкм 80 Максимальная длина хода, мкм 100 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 4 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 0.8 Допуск по времени шага, % 20 Жёсткость, Н/мкм 0.3 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 200 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 3.6 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 30.10 Грузоподъёмность, кг 0.7 Допуск по массе, % 5 | ||||
| P12A.Z100S | 80 х 80 | 80 | 7 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 80 х 80 Высота столика, мм 26 Световое отверстие Есть Световое окно, мм 45 х 45 Рыскание, мкрад <10 Крен, мкрад <10 Тангаж, мкрад <10 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.24 Масса, г 240 Габариты, мм 85×85×28 Номинальная длина хода, мкм 80 Максимальная длина хода, мкм 100 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 7 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 10 Допуск по времени шага, % 20 Повторяемость, %F.S. 0.04 Прямолинейность, %F.S. 0.1 Жёсткость, Н/мкм 0.3 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 200 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 3.6 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 30.10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.7 Допуск по массе, % 5 | ||||
 | P12A.Z200K | 95 х 95 | 160 | 2 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратной связи Размер столика, мм 95 х 95 Высота столика, мм 31 Световое отверстие Есть Световое окно, мм 45 х 45 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Габариты, мм 95×95×31 Номинальная длина хода, мкм 160 Максимальная длина хода, мкм 200 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 2 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Резонансная частота без нагрузки, Гц 160 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 7.2 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Грузоподъёмность, кг 0.5 Погрешность грузоподъёмности, % ±5 | ||||
| P12A.Z200S | 95 х 95 | 160 | 5.5 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 95 х 95 Высота столика, мм 31 Световое отверстие Есть Световое окно, мм 45 х 45 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Габариты, мм 95×95×31 Номинальная длина хода, мкм 160 Максимальная длина хода, мкм 200 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 5.5 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Повторяемость, %F.S. 0.2 Прямолинейность, %F.S. 0.3 Резонансная частота без нагрузки, Гц 160 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 7.2 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.5 Погрешность грузоподъёмности, % ±5 | ||||
 | P12A.Z400K | 95 х 95 | 320 | 3.5 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратной связи Размер столика, мм 95 х 95 Высота столика, мм 31 Световое отверстие Есть Световое окно, мм 45 х 45 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Габариты, мм 95×95×31 Номинальная длина хода, мкм 320 Максимальная длина хода, мкм 400 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 3.5 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Резонансная частота без нагрузки, Гц 130 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 14.4 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Грузоподъёмность, кг 0.4 Погрешность грузоподъёмности, % ±5 | ||||
| P12A.Z400S | 95 х 95 | 320 | 11 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 95 х 95 Высота столика, мм 31 Световое отверстие Есть Световое окно, мм 45 х 45 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Габариты, мм 95×95×31 Номинальная длина хода, мкм 320 Максимальная длина хода, мкм 400 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 11 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Повторяемость, %F.S. 0.3 Прямолинейность, %F.S. 0.4 Резонансная частота без нагрузки, Гц 130 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 14.4 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.4 Погрешность грузоподъёмности, % ±5 | ||||
 | P12A.Z600K | 95 х 95 | 480 | 5 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратной связи Размер столика, мм 95 х 95 Высота столика, мм 31 Световое отверстие Есть Световое окно, мм 45 х 45 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Габариты, мм 95×95×31 Номинальная длина хода, мкм 480 Максимальная длина хода, мкм 600 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 5 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Резонансная частота без нагрузки, Гц 80 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 21.6 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Грузоподъёмность, кг 0.3 Погрешность грузоподъёмности, % ±5 | ||||
| P12A.Z600S | 95 х 95 | 480 | 16 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 95 х 95 Высота столика, мм 31 Световое отверстие Есть Световое окно, мм 45 х 45 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Габариты, мм 95×95×31 Номинальная длина хода, мкм 480 Максимальная длина хода, мкм 600 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 16 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Повторяемость, %F.S. 0.4 Прямолинейность, %F.S. 0.5 Резонансная частота без нагрузки, Гц 80 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 21.6 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.3 Погрешность грузоподъёмности, % ±5 | ||||
 | P18.Z200K | 37 х 37 | 160 | 2 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Количество каналов 1 Тип управления Без обратной связи Размер столика, мм 37 х 37 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 35 Рыскание, мкрад <20 Крен, мкрад <20 Тангаж, мкрад <20 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий Номинальная длина хода, мкм 160 Максимальная длина хода, мкм 200 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 2 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Жёсткость, Н/мкм 0.3 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 300 Допуск по резонансной частоте, % 20 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 50/10 Грузоподъёмность, кг 1 | ||||
| P18.Z200S | 37 х 37 | 160 | 7 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Количество каналов 1 Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 37 х 37 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 35 Рыскание, мкрад <20 Крен, мкрад <20 Тангаж, мкрад <20 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий Номинальная длина хода, мкм 160 Максимальная длина хода, мкм 200 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 7 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Повторяемость, %F.S. 0.15 Прямолинейность, %F.S. 0.2 Жёсткость, Н/мкм 0.3 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 300 Допуск по резонансной частоте, % 20 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 50/10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 1 | ||||
 | P60.Z1000K-C1 | 230 х 52 | 800 | 10 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратой связи Размер столика, мм 230 х 52 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Крепёжные элементы 8 х М2 - 40х130, 40х210 мм Метод фиксации 8 х под М6 (контрбор) - 75х75, 75х175 мм Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступна вакуум версия Материал Титан / Сталь, Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 1.3 Масса, г 1300 Габариты, мм 245×85×36 Номинальная длина хода, мкм 800 Максимальная длина хода, мкм 1000 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 10 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Резонансная частота без нагрузки, Гц - Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 72 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Грузоподъёмность, кг 1.5 Допуск по массе, % 20 | ||||
| P60.Z1000S-C1 | 230 х 52 | 800 | 35 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 230 х 52 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Крепёжные элементы 8 х М2 - 40х130, 40х210 мм Метод фиксации 8 х под М6 (контрбор) - 75х75, 75х175 мм Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступна вакуум версия Материал Титан / Сталь, Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 1.3 Масса, г 1300 Габариты, мм 245×85×36 Номинальная длина хода, мкм 800 Максимальная длина хода, мкм 1000 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 35 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Повторяемость, %F.S. 0.1 Прямолинейность, %F.S. 0.2 Резонансная частота без нагрузки, Гц 80 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 72 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 1.5 Допуск по массе, % 20 | ||||
 | P60.Z250K | 45 х 45 | 250 | 2 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратой связи Размер столика, мм 45 х 45 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Крепёжные элементы 7 х М2,5 - 35х35 мм Метод фиксации 4 х под М3 (контрбор) - 54х54 мм Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём Материал Сталь, Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.4 Масса, г 400 Габариты, мм 80×60×20 Номинальная длина хода, мкм 250 Максимальная длина хода, мкм 250 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 2 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Да Совместим с вакуумом, мбар 10^-5 Длинного хода Нет Резонансная частота без нагрузки, Гц 260 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 21.6 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Грузоподъёмность, кг 1 Допуск по массе, % 20 | ||||
| P60.Z250S | 45 х 45 | 200 | 7 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 45 х 45 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Крепёжные элементы 7 х М2,5 - 35х35 мм Метод фиксации 4 х под М3 (контрбор) - 54х54 мм Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём Материал Сталь, Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.4 Масса, г 400 Габариты, мм 80×60×20 Номинальная длина хода, мкм 200 Максимальная длина хода, мкм 200 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 7 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Да Совместим с вакуумом, мбар 10^-5 Длинного хода Нет Повторяемость, %F.S. 0.1 Прямолинейность, %F.S. 0.4 Резонансная частота без нагрузки, Гц 260 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 21.6 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 1 Допуск по массе, % 20 | ||||
 | P60.Z500K | 40 х 40 | 400 | 4 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратой связи Размер столика, мм 40 х 40 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.65 Масса, г 650 Габариты, мм 88×88×36 Номинальная длина хода, мкм 400 Максимальная длина хода, мкм 500 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 4 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Резонансная частота без нагрузки, Гц 290 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 28.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Грузоподъёмность, кг 2 Допуск по массе, % 20 | ||||
| P60.Z500S | 40 х 40 | 400 | 13.5 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 40 х 40 Световое отверстие Нет Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Сталь, Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.65 Масса, г 650 Габариты, мм 88×88×36 Номинальная длина хода, мкм 400 Максимальная длина хода, мкм 500 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 20 Разрешение, нм 13.5 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Повторяемость, %F.S. 0.05 Прямолинейность, %F.S. 0.1 Резонансная частота без нагрузки, Гц 290 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 28.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 2 Допуск по массе, % 20 | ||||
 | P63.Z7K | 30 х 30 | 5.5 | 0.1 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратой связи Размер столика, мм 30 х 30 Световое отверстие Нет Рыскание, мкрад <5 Крен, мкрад <5 Тангаж, мкрад <5 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.07 Масса, г 70 Габариты, мм 30×30×24 Номинальная длина хода, мкм 5.5 Максимальная длина хода, мкм 6.8 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 0.1 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 0.3 Допуск по времени шага, % 20 Жёсткость, Н/мкм 2 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 2500 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 0.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 12.2 Грузоподъёмность, кг 0.8 Допуск по массе, % 5 | ||||
| P63.Z7S | 30 х 30 | 5.5 | 0.2 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 30 х 30 Световое отверстие Нет Рыскание, мкрад <5 Крен, мкрад <5 Тангаж, мкрад <5 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.07 Масса, г 70 Габариты, мм 30×30×24 Номинальная длина хода, мкм 5.5 Максимальная длина хода, мкм 6.8 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 0.2 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 1.5 Допуск по времени шага, % 20 Повторяемость, %F.S. 0.2 Прямолинейность, %F.S. 0.4 Жёсткость, Н/мкм 2 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 2500 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 0.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 12.2 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.8 Допуск по массе, % 5 | ||||
 | P63.Z8K | 40 х 40 | 6 | 0.1 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратой связи Размер столика, мм 40 х 40 Высота столика, мм 24 Световое отверстие Нет Рыскание, мкрад <15 Крен, мкрад <15 Тангаж, мкрад <15 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.112 Масса, г 112 Номинальная длина хода, мкм 6 Максимальная длина хода, мкм 8 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 0.1 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Тип многоосевого Интегрированный Время шага без нагрузки, мс 0.5 Допуск по времени шага, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 1000 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 0.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Грузоподъёмность, кг 0.5 Допуск по массе, % 5 | ||||
| P63.Z8S | 40 х 40 | 6 | 0.2 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 40 х 40 Высота столика, мм 24 Световое отверстие Нет Рыскание, мкрад <15 Крен, мкрад <15 Тангаж, мкрад <15 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.112 Масса, г 112 Номинальная длина хода, мкм 6 Максимальная длина хода, мкм 8 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 0.2 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Тип многоосевого Интегрированный Время шага без нагрузки, мс 8 Допуск по времени шага, % 20 Повторяемость, %F.S. 0.25 Прямолинейность, %F.S. 1 Резонансная частота без нагрузки, Гц 1000 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 0.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.5 Допуск по массе, % 5 | ||||
| P66.Z30K | 22 х 22 | 24 | 0.5 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратой связи Размер столика, мм 22 х 22 Световое отверстие Нет Рыскание, мкрад <15 Крен, мкрад <15 Тангаж, мкрад <15 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.2 Масса, г 200 Габариты, мм 60×60×23 Номинальная длина хода, мкм 24 Максимальная длина хода, мкм 30 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 0.5 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 1 Допуск по времени шага, % 20 Жёсткость, Н/мкм 1.1 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 1400 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 3.6 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 30.10 Грузоподъёмность, кг 1 Допуск по массе, % 5 | ||||
| P66.Z30S | 22 х 22 | 24 | 1 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 22 х 22 Световое отверстие Нет Рыскание, мкрад <15 Крен, мкрад <15 Тангаж, мкрад <15 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.2 Масса, г 200 Габариты, мм 60×60×23 Номинальная длина хода, мкм 24 Максимальная длина хода, мкм 30 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 1 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 15 Допуск по времени шага, % 20 Повторяемость, %F.S. 0.05 Прямолинейность, %F.S. 0.1 Жёсткость, Н/мкм 1.1 Погрешность жёсткости, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 1400 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 3.6 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 30.10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 1 Допуск по массе, % 5 | ||||
 | P70.XY20K | 17 | 0.2 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Количество каналов 3 Тип управления Без обратной связи Диаметр столика, мм 25 / 30 Высота столика, мм 21.5 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 10 Рыскание, мкрад <15 Крен, мкрад <15 Тангаж, мкрад <15 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.175 Масса, г 175 Габариты, мм 50×50×26.5 Номинальная длина хода, мкм 17 Максимальная длина хода, мкм 21.2 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 0.2 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 30 Допуск по времени шага, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 1200 Резонансная частота с нагрузкой, Гц 400 Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г 53 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 0.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Грузоподъёмность, кг 0.3 Допуск по массе, % 5 | |||||
| P70.XY20S | 14 | 0.6 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Количество каналов 3 Тип управления С обратной связью Диаметр столика, мм 25 / 30 Высота столика, мм 21.5 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 10 Рыскание, мкрад <15 Крен, мкрад <15 Тангаж, мкрад <15 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.175 Масса, г 175 Габариты, мм 50×50×26.5 Номинальная длина хода, мкм 14 Максимальная длина хода, мкм 21.2 Напряжение номинального хода, В 0 - 100 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 0.6 Рекомендованный контроллер E01.D3, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 30 Допуск по времени шага, % 20 Повторяемость, %F.S. 0.2 Прямолинейность, %F.S. 0.3 Резонансная частота без нагрузки, Гц 1200 Резонансная частота с нагрузкой, Гц 400 Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г 53 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 0.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.3 Допуск по массе, % 5 | |||||
 | P70.Z8K | 40 х 40 | 6.4 | 0.1 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Количество каналов 1 Тип управления Без обратной связи Размер столика, мм 40 х 40 Высота столика, мм 27 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 12 Рыскание, мкрад <10 Крен, мкрад <10 Тангаж, мкрад <10 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.128 Масса, г 128.5 Габариты, мм 100×100×31 Номинальная длина хода, мкм 6.4 Максимальная длина хода, мкм 8 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 0.1 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 20 Допуск по времени шага, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 3600 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 1.6 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Грузоподъёмность, кг 0.2 Допуск по массе, % 5 | ||||
| P70.Z8S | 40 х 40 | 6.4 | 0.3 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Количество каналов 1 Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 40 х 40 Высота столика, мм 27 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 12 Рыскание, мкрад <10 Крен, мкрад <10 Тангаж, мкрад <10 Длина кабеля, м 1.5 Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 0.128 Масса, г 128.5 Габариты, мм 100×100×31 Номинальная длина хода, мкм 6.4 Максимальная длина хода, мкм 8 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 0.3 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 20 Допуск по времени шага, % 20 Повторяемость, %F.S. 0.16 Прямолинейность, %F.S. 0.25 Резонансная частота без нагрузки, Гц 3600 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 1.6 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 0.2 Допуск по массе, % 5 | ||||
 | P77.30K140 | 210 х 210 | 25.6 | 0.2 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратной связи Размер столика, мм 210 х 210 Высота столика, мм 56 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 140 Рыскание, мкрад <15 Крен, мкрад <15 Тангаж, мкрад <15 Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 4.2 Масса, г 4200 Габариты, мм 210×210×56 Номинальная длина хода, мкм 25.6 Максимальная длина хода, мкм 32 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 0.2 Рекомендованный контроллер E53, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 7 Резонансная частота без нагрузки, Гц 200 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 28.8 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 80/15 Грузоподъёмность, кг 5 Допуск по массе, % 5 | ||||
| P77.30S140 | 210 х 210 | 25.6 | 0.5 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 210 х 210 Высота столика, мм 56 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 140 Рыскание, мкрад <15 Крен, мкрад <15 Тангаж, мкрад <15 Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 4.2 Масса, г 4200 Габариты, мм 210×210×56 Номинальная длина хода, мкм 25.6 Максимальная длина хода, мкм 32 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 0.5 Рекомендованный контроллер E53, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 14 Резонансная частота без нагрузки, Гц 200 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 14.4 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 80/15 Грузоподъёмность, кг 5 Допуск по массе, % 5 | ||||
 | P77.50K85 | 150 х 150 | 40 | 0.4 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратной связи Размер столика, мм 150 х 150 Высота столика, мм 72 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 85 Рыскание, мкрад - Крен, мкрад - Тангаж, мкрад - Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 2.1 Масса, г 2100 Габариты, мм 150×150×72 Номинальная длина хода, мкм 40 Максимальная длина хода, мкм 50 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 0.4 Рекомендованный контроллер E53, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 15 Использованная дистанция для измерения шага, мкм 10 Допуск по времени шага, % ±20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 1100 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 7.2 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Грузоподъёмность, кг 3 Допуск по массе, % 5 | ||||
| P77.50S85 | 150 х 150 | 40 | 1.5 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления С обратной связью Размер столика, мм 150 х 150 Высота столика, мм 72 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 85 Рыскание, мкрад - Крен, мкрад - Тангаж, мкрад - Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий, сталь Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 2.1 Масса, г 2100 Габариты, мм 150×150×72 Номинальная длина хода, мкм 40 Максимальная длина хода, мкм 50 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 1.5 Рекомендованный контроллер E53, E70 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 15 Использованная дистанция для измерения шага, мкм 10 Допуск по времени шага, % ±20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 1100 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 7.2 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Датчик SGS Грузоподъёмность, кг 3 Допуск по массе, % 5 | ||||
 | P77.K106 | 170 х 170 | 17.5 | 0.2 | Количество осей 1 Рабочие оси Z Тип управления Без обратной связи Размер столика, мм 170 х 170 Высота столика, мм 33 Световое отверстие Есть Световой диаметр, мм 106 Рыскание, мкрад <10 Крен, мкрад <10 Тангаж, мкрад <10 Длина кабеля, м 1.5 Разъём кабеля LEMO Примечание Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии Материал Алюминий Горизонтальная грузоподъёмность, кг 5 Инвертированная грузоподъёмность, кг 10 Температура эксплуатации, °С -20 - 80 Масса, кг 1.6 Масса, г 1600 Габариты, мм 170×170×33 Номинальная длина хода, мкм 17.5 Максимальная длина хода, мкм 17.5 Напряжение номинального хода, В 0 - 120 Напряжение максимального хода, В 0 - 150 Погрешность хода, % 10 Разрешение, нм 0.2 Рекомендованный контроллер E01.D1, E53 Совместим со сверхнизкими температурами Нет Совместим со сверхвысокими температурами Нет Совместим с вакуумом Нет Длинного хода Нет Время шага без нагрузки, мс 2.5 Допуск по времени шага, % 20 Резонансная частота без нагрузки, Гц 300 Допуск по резонансной частоте, % 20 Электроёмкость, мкФ 5.4 Погрешность электроёмкости, % 20 Погрешность длины кабеля, мм ±10 Мощность толкающего/тянущего усилия, Н 100/20 Грузоподъёмность, кг 15 Допуск по массе, % 5 |
Загрузить еще
12