FAT01
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
X, Y, θZ
FAT01
Терморегулируемая станция ручного позиционирования серии FAT01, разработанная на основе полупроводниковой технологии охлаждения, позволяет одновременно осуществлять точный контроль температуры и юстировку положения рабочей поверхности. Станция состоит из многомерного позиционера с ручным управлением и высоконадежного полупроводникового чипа, встроенного в теплообменник. Высокая теплопроводность материала теплообменника (медь или нержавеющая сталь) обеспечивают эффективность теплопередачи и однородность температуры на рабочей поверхности. Перепад температуры по площади не превышает 0.2֯ С, что важно при работе оптических, электрических и гибридных микросхем. Поверхность можно как охлаждать, так и нагревать в широком диапазоне рабочих температур. Небольшой размер станции, отсутствие шума и вибрации позволяют использовать её в стыковке, тестировании и в других технологических процессах, связанных с чипами и микросхемами. По запросу для фиксации чипа станция может быть оснащена вакуумным зажимом.
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
X, Y, θZ |
Метод фиксации чипа
|
Вакуумная адсорбция |
Метод фиксации волокна
|
Вакуумная адсорбция |
Метод фиксации держателя волокна
|
Нет |
Длина хода, мм
|
13 х 13 |
Угол хода, градусы
|
360 |
Перемещение по оси X, мм
|
±6,5 |
Перемещение по оси Y, мм
|
±6,5 |
Вращение по оси θZ, градус
|
360 |
Разрешение линейное, мкм
|
5 |
Разрешение угловое, градусы
|
0.0014 |
Разрешение по оси X, мкм
|
5 |
Разрешение по оси Y, мкм
|
5 |
Разрешение по оси θZ, градус
|
2 |
Разрешение, °С
|
0.05 |
Высота центра вращения (относительно столика), мм
|
- |
Высота центра вращения (относительно основания), мм
|
- |
Размер столика, мм
|
40 х 40 |
Тип направляющей
|
Направляющая с поперечными роликами |
Передаточный механизм
|
Микрометрическая головка |
Положение привода
|
- |
Рука
|
Левая |
Зеркальная версия
|
Да |
Наличие тонкой настройки
|
Да |
Оси с тонкой настройкой
|
θZ |
Линейный ход тонкой настройки, мм
|
±6,5 |
Линейное разрешение тонкой настройки, мкм/деление
|
10 |
Угловое разрешение тонкой настройки, градус/деление
|
0.083 |
Угловой ход тонкой настройки, градус
|
5 |
Наличие блокировки
|
Стопорный винт |
Опционально доступен дифференциальный микрометрический винт
|
Нет |
Система охлаждения
|
Есть |
Способ охлаждения столика
|
Каскад элементов Пельтье |
Способ охлаждения TEC
|
Водяное охлаждение |
Минимальная температура столика, °С
|
-20 |
Максимальная температура столика, °С
|
100 |
Разрешение настройки температуры, °С
|
0.05 |
Колебания темепературы, °С
|
±0,1 |
Температурный дрейф, на 30℃, ℃
|
0.1 |
Равномерность распределения температуры, °С
|
0.2 |
Высокостабильный
|
Нет |
Крепёжные элементы
|
Нет |
Метод фиксации
|
4 х М6 (контрборы) |
Материал корпуса
|
Алюминиевый сплав 6061-T6 |
Обработка поверхности
|
Чёрное анодирование |
Материал столика
|
Медь |
Обработка столешницы
|
Матовая обработка |