FAT01
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
X, Y, θZ
Метод фиксации чипа
—
Вакуумная адсорбция
Метод фиксации держателя волокна
—
Нет
Длина хода, мм
—
13 х 13
Угол хода, градусы
—
360
Перемещение по оси X, мм
—
±6,5
Перемещение по оси Y, мм
—
±6,5
FAT01
Терморегулируемая станция ручного позиционирования серии FAT01, разработанная на основе полупроводниковой технологии охлаждения, позволяет одновременно осуществлять точный контроль температуры и юстировку положения рабочей поверхности. Станция состоит из многомерного позиционера с ручным управлением и высоконадежного полупроводникового чипа, встроенного в теплообменник. Высокая теплопроводность материала теплообменника (медь или нержавеющая сталь) обеспечивают эффективность теплопередачи и однородность температуры на рабочей поверхности. Перепад температуры по площади не превышает 0.2֯ С, что важно при работе оптических, электрических и гибридных микросхем. Поверхность можно как охлаждать, так и нагревать в широком диапазоне рабочих температур. Небольшой размер станции, отсутствие шума и вибрации позволяют использовать её в стыковке, тестировании и в других технологических процессах, связанных с чипами и микросхемами. По запросу для фиксации чипа станция может быть оснащена вакуумным зажимом.
Характеристики
Количество осей | 3 |
Рабочие оси | X, Y, θZ |
Метод фиксации чипа | Вакуумная адсорбция |
Метод фиксации волокна | Вакуумная адсорбция |
Метод фиксации держателя волокна | Нет |
Длина хода, мм | 13 х 13 |
Угол хода, градусы | 360 |
Перемещение по оси X, мм | ±6,5 |
Перемещение по оси Y, мм | ±6,5 |
Вращение по оси θZ, градус | 360 |
Разрешение линейное, мкм | 5 |
Разрешение угловое, градусы | 0.0014 |
Разрешение по оси X, мкм | 5 |
Разрешение по оси Y, мкм | 5 |
Разрешение по оси θZ, градус | 2 |
Разрешение, °С | 0.05 |
Высота центра вращения (относительно столика), мм | - |
Высота центра вращения (относительно основания), мм | - |
Размер столика, мм | 40 х 40 |
Тип направляющей | Направляющая с поперечными роликами |
Передаточный механизм | Микрометрическая головка |
Положение привода | - |
Рука | Левая |
Зеркальная версия | Да |
Наличие тонкой настройки | Да |
Оси с тонкой настройкой | θZ |
Линейный ход тонкой настройки, мм | ±6,5 |
Линейное разрешение тонкой настройки, мкм/деление | 10 |
Угловое разрешение тонкой настройки, градус/деление | 0.083 |
Угловой ход тонкой настройки, градус | 5 |
Наличие блокировки | Стопорный винт |
Опционально доступен дифференциальный микрометрический винт | Нет |
Система охлаждения | Есть |
Способ охлаждения столика | Каскад элементов Пельтье |
Способ охлаждения TEC | Водяное охлаждение |
Минимальная температура столика, °С | -20 |
Максимальная температура столика, °С | 100 |
Разрешение настройки температуры, °С | 0.05 |
Колебания темепературы, °С | ±0,1 |
Температурный дрейф, на 30℃, ℃ | 0.1 |
Равномерность распределения температуры, °С | 0.2 |
Высокостабильный | Нет |
Крепёжные элементы | Нет |
Метод фиксации | 4 х М6 (контрборы) |
Материал корпуса | Алюминиевый сплав 6061-T6 |
Обработка поверхности | Чёрное анодирование |
Материал столика | Медь |
Обработка столешницы | Матовая обработка |