L-U3-H-SI
Характеристики
Тип
—
Моторизованный
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
X, Y, Z
Длина хода, мм
—
12,7 х 2,5 х 2,5
Перемещение по оси X, мм
—
12.7
Перемещение по оси Y, мм
—
2.5
Перемещение по оси Z, мм
—
2.5
Разрешение, мкм
—
0,05 х 0,01 х 0,01
L-U3-H-SI
Характеристики
Тип | Моторизованный |
Количество осей | 3 |
Рабочие оси | X, Y, Z |
Длина хода, мм | 12,7 х 2,5 х 2,5 |
Перемещение по оси X, мм | 12.7 |
Перемещение по оси Y, мм | 2.5 |
Перемещение по оси Z, мм | 2.5 |
Разрешение, мкм | 0,05 х 0,01 х 0,01 |
Разрешение, нм | 50 х 10 х 10 |
Режим шага | 1/64 |
Полных шагов | Линейные оси (на 12,7 мкм): 4,167 х 4,167 х 4,167 Угловые оси (на 12,7 мкм): 3,937 х 1,968 х 1,968 |
Микрошагов | Линейные оси (на 12,7 мкм): 266,666 х 266,666 х 266,666 Угловые оси (на 12,7 мкм): 251,968 х 125,952 х 125,952 |
Разрешение по оси X, нм | 50 |
Разрешение по оси Y, нм | 10 |
Разрешение по оси Z, нм | 10 |
Совмещённый центр вращения | Есть |
Высота центра вращения (относительно столика), мм | 12.7 |
Вынос центра вращения (относительно передней грани столика), мм | 25.4 |
Высота центра вращения (относительно основания), мм | 144.53 |
Размер столика, мм | 44,45 х 44,45 |
Высота столика, мм | 131.83 |
Длина хода аттеньюатора, мм | 12,7 х 12,7 х 12,7 |
Угловые отклонения, мкм | X: Нет - Истинное линейное движение Y, Z: Максимальная погрешность 30 мкм только по Z θX: Максимальная погрешность 35 мкм θY, θZ: Нет |
Линейная жёсткость, кН/м | 130 х 95 х 40 |
Жёсткость на вращение, Н∙м/рад | 75 х 100 х 130 |
Тип привода | X: Прямой привод Y, Z: Привод с передаточным соотношением 5Х θX, θY, θZ: Вращательный |
Тип по кривизне (тип Изгиба) | X: Двойной Y, Z: Одиночный |
Метод фиксации | 4 х Ø6,6 - 100х25 мм |
Примечание | Метрическая монтажная пластина в комплекте. Доступна версия с дюймовой монтажной пластиной. |
Материал | Алюминий 6006 и 7075-T6 |
Обработка поверхности | Красное анодирование |
Грузоподъёмность, кг | 1 |
Критическая нагрузка, кг | 4.5 |
Масса, кг | 1.5 |
Габариты (без учёта микрометра), мм | 147,07 х 44,45 х 131,83 |
Производитель | Luminos |