IRBN-VC
Характеристики
Количество осей
—
2
Рабочие оси
—
X, Y
Длина хода, мм
—
100 х 100
Перемещение по оси X, мм
—
100
Перемещение по оси Y, мм
—
100
Тип направляющей
—
Вакуум-совместимая направляющая с поперечными роликами
Световое отверстие
—
Нет
Повторяемость, мкм
—
± 0,5
IRBN-VC
Документы
Характеристики
Серия | IRBN-VC - Вакуумный двухосевой позиционер |
Количество осей | 2 |
Рабочие оси | X, Y |
Длина хода, мм | 100 х 100 |
Перемещение по оси X, мм | 100 |
Перемещение по оси Y, мм | 100 |
Разрешение, нм | 10 |
Разрешение по оси X, нм | 10 |
Разрешение по оси Y, нм | 10 |
Минимальный шаг по оси X, мкм | 0.01 |
Минимальный шаг по оси Y, мкм | 0.01 |
Тип направляющей | Вакуум-совместимая направляющая с поперечными роликами |
Совместим с вакуумом | Да |
Совместим с вакуумом, мбар | 1,33 х 10^(-7) |
Световое отверстие | Нет |
Повторяемость, мкм | ± 0,5 |
Прямолинейность, мкм | ±0,3 х ±0,3 |
Плоскостность, мкм | ±75 х ±75 |
Точность позиционирования после компенсации, мкм | ±1 х ±1 |
Точность двунаправленного позиционирования, мкм | ±1 х ±1 |
Рыскание, угл. сек. | ±5 х ±5 |
Тангаж, угл. сек. | ±5 х ±5 |
Тип двигателя | Линейный двигатель |
Максимальная скорость, мм/с | 100 х 100 |
Датчик | Встроенный энкодер |
Особенность | Бесконтактная вакуум-совместимая конструкция, Низкое температурное раширение, Глухие монтажные отверстия |
Материал | Авиационный алюминиевый сплав 7075 |
Обработка поверхности | Чёрное анодирование |
Грузоподъёмность, кг | 15 |
Горизонтальная грузоподъёмность, кг | 15 |
Производитель | ASP |