IRBN-VC
Характеристики
Количество осей
—
2
Рабочие оси
—
X, Y
IRBN-VC
Характеристики
Серия
|
IRBN-VC - Вакуумный двухосевой позиционер |
Количество осей
|
2 |
Рабочие оси
|
X, Y |
Длина хода, мм
|
100 х 100 |
Перемещение по оси X, мм
|
100 |
Перемещение по оси Y, мм
|
100 |
Разрешение, нм
|
10 |
Разрешение по оси X, нм
|
10 |
Разрешение по оси Y, нм
|
10 |
Минимальный шаг по оси X, мкм
|
0.01 |
Минимальный шаг по оси Y, мкм
|
0.01 |
Тип направляющей
|
Вакуум-совместимая направляющая с поперечными роликами |
Совместим с вакуумом
|
Да |
Совместим с вакуумом, мбар
|
1,33 х 10^(-7) |
Световое отверстие
|
Нет |
Повторяемость, мкм
|
± 0,5 |
Прямолинейность, мкм
|
±0,3 х ±0,3 |
Плоскостность, мкм
|
±75 х ±75 |
Точность позиционирования после компенсации, мкм
|
±1 х ±1 |
Точность двунаправленного позиционирования, мкм
|
±1 х ±1 |
Рыскание, угл. сек.
|
±5 х ±5 |
Тангаж, угл. сек.
|
±5 х ±5 |
Тип двигателя
|
Линейный двигатель |
Максимальная скорость, мм/с
|
100 х 100 |
Датчик
|
Встроенный энкодер |
Особенность
|
Бесконтактная вакуум-совместимая конструкция, Низкое температурное раширение, Глухие монтажные отверстия |
Материал
|
Авиационный алюминиевый сплав 7075 |
Обработка поверхности
|
Чёрное анодирование |
Грузоподъёмность, кг
|
15 |
Горизонтальная грузподъёмность, кг
|
15 |
Производитель
|
ASP |
Документы