IRBN-150XY
Характеристики
Количество осей
—
2
Рабочие оси
—
X, Y
IRBN-150XY
Характеристики
Серия
|
IRBN-XY - Двухосевые компактные позиционеры |
Количество осей
|
2 |
Рабочие оси
|
X, Y |
Длина хода, мм
|
150 х 150 |
Перемещение по оси X, мм
|
150 |
Перемещение по оси Y, мм
|
150 |
Разрешение, нм
|
2 |
Разрешение по оси X, нм
|
2 |
Разрешение по оси Y, нм
|
2 |
Минимальный шаг по оси X, мкм
|
0.002 |
Минимальный шаг по оси Y, мкм
|
2 |
Тип направляющей
|
Направляющая с поперечными роликами, устойчивая к проскальзыванию |
Разрешение энкодера, нм
|
0.3 |
Совместим с вакуумом
|
Опционально |
Совместим с вакуумом, мбар
|
1,33 х 10^(-7) |
Световое отверстие
|
Нет |
Повторяемость, мкм
|
± 0,05 |
Прямолинейность, мкм
|
± 0,5 |
Плоскостность, мкм
|
± 0,5 |
Точность позиционирования после компенсации, мкм
|
± 0,1 |
Точность двунаправленного позиционирования, мкм
|
± 0,05 |
Рыскание, угл. сек.
|
± 1 |
Крен, угл. сек
|
± 3 |
Тангаж, угл. сек.
|
± 3 |
Тип двигателя
|
Линейный двигатель |
Максимальная скорость, мм/с
|
200 |
Максимальное ускорение, м/с²
|
1 |
Датчик
|
Оптический градуированный датчик |
Особенность
|
Нулевой люфт |
Примечание
|
Опционально доступен энкодер с разрешением 5 нм. Опционально доступно ускорение >5 м/с² |
Материал
|
Авиационный алюминиевый сплав 7075 |
Обработка поверхности
|
Чёрное анодирование |
Грузоподъёмность, кг
|
20 |
Горизонтальная грузподъёмность, кг
|
20 |
Производитель
|
ASP |
Документы