22143
Характеристики
Количество осей
—
2
Рабочие оси
—
θX, θY
22143
Характеристики
Количество осей
|
2 |
Рабочие оси
|
θX, θY |
Номинальный угол хода, мрад
|
10 х 10 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 150 |
Вращение по оси θX, мрад
|
10 |
Вращение по оси θY, мрад
|
10 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
0,5 х 0,5 |
Разрешение по оси θX, мкрад
|
0.5 |
Разрешение по оси θY, мкрад
|
0.5 |
Диаметр столика, мм
|
12.5 |
Высота столика, мм
|
36.5 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Нет |
Повторяемость, %F.S.
|
0.2 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.2 |
Резонансная частота с нагрузкой, Гц
|
500 |
Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
|
Зеркало Ø20 х 3 мм |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
1,6 х 1,6 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Датчик
|
SGS |
Материал
|
Титан, сталь |