22022
Характеристики
Количество осей
—
2
Рабочие оси
—
θX, θY
22022
Характеристики
Количество осей
|
2 |
Рабочие оси
|
θX, θY |
Количество каналов
|
3 |
Номинальный угол хода, мрад
|
8 х 8 |
Максимальный угол хода, мрад
|
10 х 10 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Вращение по оси θX, мрад
|
10 |
Вращение по оси θY, мрад
|
10 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Диаметр столика, мм
|
18 |
Высота столика, мм
|
40 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Нет |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
3200 |
Резонансная частота с нагрузкой, Гц
|
1900 |
Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
|
Зеркало Ø25,4 х 4 мм |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
3,6 х 3,6 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Датчик
|
SGS |
Материал
|
Титан, алюминий |