XYZ72SN81K13
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
X, Y, Z
XYZ72SN81K13
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
X, Y, Z |
Длина хода, мм
|
10 х 10 х 0,008 |
Номинальная длина хода, мкм
|
10 000 х 10 000 х 8 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
10 000 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
10 000 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
8 |
Разрешение, нм
|
< 30 х 30 х 0,3 |
Разрешение по оси X, нм
|
<30 |
Разрешение по оси Y, нм
|
<30 |
Разрешение по оси Z, нм
|
0.3 |
Размер столика, мм
|
72 х 72 |
Высота столика, мм
|
56 |
Передаточный механизм
|
Юстирующий винт с пьезодовдкой |
Наличие тонкой настройки
|
Есть |
Оси с тонкой настройкой
|
X, Y, Z |
Линейный ход тонкой настройки, мм
|
10 х 10 х 0,008 |
Линейное разрешение тонкой настройки, нм
|
30 х 30 х 0,3 |
Рекомендованный контроллер
|
E53.C4K, E53 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Да |
Оси длинного хода
|
X, Y |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световой диаметр, мм
|
35 |
Повторяемость, %F.S.
|
0.25 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.25 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
2500 |
Разъём кабеля
|
RJ11 |
Датчик
|
SGS |
Вертикальная грузоподъёмность, кг
|
0.5 |
Масса, кг
|
0.695 |
Масса, г
|
695 |