XYZ65N81E26 -ST
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
X, Y, Z
XYZ65N81E26 -ST
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
X, Y, Z |
Длина хода, мм
|
25 х 25 х 25 |
Номинальная длина хода, мкм
|
25 000 х 25 000 х 25 000 |
Перемещение по оси X, мкм
|
25 000 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
25 000 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
25 000 |
Разрешение, нм
|
< 30 х 30 х 30 |
Разрешение по оси X, нм
|
<30 |
Разрешение по оси Y, нм
|
<30 |
Разрешение по оси Z, нм
|
<30 |
Допуск по разрешению, %
|
10 |
Размер столика, мм
|
65 х 65 |
Высота столика, мм
|
56 - 121 |
Передаточный механизм
|
Юстирующий винт с пьезодовдкой |
Наличие тонкой настройки
|
Есть |
Оси с тонкой настройкой
|
X, Y, Z |
Линейное разрешение тонкой настройки, нм
|
30 |
Рекомендованный контроллер
|
E53.D1E |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Да |
Оси длинного хода
|
X, Y, Z |
Тип многоосевого
|
Сборный |
Световое отверстие
|
Нет |
Повторяемость двунаправленного позиционирования, мкм
|
2 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Датчик
|
Инкрементальный энкодер |
Материал
|
Сталь, Алюминий |
Температура эксплуатации, °С
|
0 - 40 |
Масса, кг
|
1.45 |
Масса, г
|
1450 |