XD106.XYZ60K
Характеристики
Тип
—
Инвертированный
Количество осей
—
3
XD106.XYZ60K
Характеристики
Назначение
|
Только инвертированное положение |
Тип
|
Инвертированный |
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
X, Y, Z |
Количество каналов
|
6 (3 движущих + 3 сенсорных) |
Тип управления
|
Без обратной связи |
Номинальная длина хода, мкм
|
70/30 х 70/30 х 70/30 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 60 / 0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
70 / 30 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
70 / 30 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
70 / 30 |
Погрешность хода, %
|
10 / 20 |
Разрешение, нм
|
2 х 2 х 2 |
Разрешение по оси X, нм
|
2 |
Разрешение по оси Y, нм
|
2 |
Разрешение по оси Z, нм
|
2 |
Размер столика, мм
|
39 х 39 |
Высота столика, мм
|
35 |
Рекомендованный контроллер
|
E01.D3, E70 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Да |
Совместим со сверхнизкими температурами, К
|
4 |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световой диаметр, мм
|
10 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
415 х 465 х 497 |
Резонансная частота с нагрузкой, Гц
|
105 х 105 х 229 |
Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
|
200 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
5,4 х 5,4 х 10,9 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Погрешность длины кабеля, мм
|
±10 |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Титан |
Грузоподъёмность, кг
|
0.2 |
Инвертированная грузоподъёмность, кг
|
0.2 |
Температура эксплуатации, °С
|
-173 - 80 |
Масса, кг
|
0.22 |
Масса, г
|
220 |
Допуск по массе, %
|
5 |
Габариты, мм
|
39 х 39 х 35 |
Документы