XD106.XYZ200K
Характеристики
Тип
—
Прямой
Количество осей
—
3
XD106.XYZ200K
Характеристики
Назначение
|
Только прямое статичное горизонтальное положение |
Тип
|
Прямой |
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
X, Y, Z |
Количество каналов
|
7 (4 движущих + 3 сенсорных) |
Тип управления
|
Без обратной связи |
Номинальная длина хода, мкм
|
200/80 х 200/80 х 100/50 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
200 / 80 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
200 / 80 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
100 / 50 |
Погрешность хода, %
|
10 / 20 |
Разрешение, нм
|
2 х 2 х 2 |
Разрешение по оси X, нм
|
2 |
Разрешение по оси Y, нм
|
2 |
Разрешение по оси Z, нм
|
2 |
Размер столика, мм
|
80 х 80 |
Высота столика, мм
|
34.5 |
Рекомендованный контроллер
|
E01.D3, E70 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Да |
Совместим со сверхнизкими температурами, К
|
100 |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световой диаметр, мм
|
50 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
180 х 180 х 250 |
Резонансная частота с нагрузкой, Гц
|
140 х 140 х 200 |
Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
|
200 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
3,6 х 3,6 х 7,2 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Погрешность длины кабеля, мм
|
±10 |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Титан |
Грузоподъёмность, кг
|
0.7 |
Температура эксплуатации, °С
|
-173 - 80 |
Масса, кг
|
1.36 |
Масса, г
|
1360 |
Допуск по массе, %
|
5 |
Габариты, мм
|
125 х 125 х 34,5 |
Документы