S51.ZT2K-C1
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
Z, θX, θY
S51.ZT2K-C1
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
Z, θX, θY |
Тип управления
|
Без обратной связи |
Номинальная длина хода, мкм
|
192 |
Максимальная длина хода, мкм
|
240 |
Номинальный угол хода, мрад
|
3,2 х 3,2 |
Максимальный угол хода, мрад
|
4 х 4 |
Номинальный угол хода, угл.сек
|
660 х 660 |
Максимальный угол хода, угл.сек.
|
825 х 825 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
240 |
Вращение по оси θX, мрад
|
4 |
Вращение по оси θY, мрад
|
4 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
2 |
Разрешение, мкрад
|
0,06 х 0,06 |
Разрешение по оси Z, нм
|
2 |
Разрешение по оси θX, мкрад
|
0.06 |
Разрешение по оси θY, мкрад
|
0.06 |
Размер столика, мм
|
150 х 150 |
Высота столика, мм
|
24.5 |
Рекомендованный контроллер
|
E01.D3, E70 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световое окно, мм
|
96 х 96 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
160 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
21,6 х 21,6 х 21,6 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Погрешность длины кабеля, мм
|
±0,1 |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Алюминий, сталь |
Грузоподъёмность, кг
|
1.5 |
Температура эксплуатации, °С
|
-20 - 80 |
Масса, кг
|
1.07 |
Масса, г
|
1070 |
Допуск по массе, %
|
5 |
Габариты, мм
|
165 х 165 х 24,5 |
Документы