S51.ZT1S
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
Z, θX, θY
S51.ZT1S
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
Z, θX, θY |
Тип управления
|
С обратной связью |
Номинальная длина хода, мкм
|
80 |
Максимальная длина хода, мкм
|
100 |
Номинальный угол хода, мрад
|
1,8 х 1,8 |
Максимальный угол хода, мрад
|
2,2 х 2,2 |
Номинальный угол хода, угл.сек
|
380 х 380 |
Максимальный угол хода, угл.сек.
|
440 х 440 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
100 |
Вращение по оси θX, мрад
|
2.2 |
Вращение по оси θY, мрад
|
2.2 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
7 |
Разрешение, мкрад
|
0,25 х 0,25 |
Разрешение, угл.сек.
|
0,05 х 0,05 |
Разрешение по оси Z, нм
|
7 |
Разрешение по оси θX, мкрад
|
0.25 |
Разрешение по оси θY, мкрад
|
0.25 |
Размер столика, мм
|
130 х 130 |
Высота столика, мм
|
20 |
Рекомендованный контроллер
|
E01.D3, E70 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световое окно, мм
|
80 х 80 |
Время шага без нагрузки, мс
|
30 |
Допуск по времени шага, %
|
20 |
Повторяемость, %F.S.
|
0.05 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.1 |
Жёсткость, Н/мкм
|
1.5 |
Погрешность жёсткости, %
|
20 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
340 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
3,6 х 3,6 х 3,6 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Погрешность длины кабеля, мм
|
±10 |
Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
|
120/15 |
Датчик
|
SGS |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Алюминий, сталь |
Грузоподъёмность, кг
|
1 |
Температура эксплуатации, °С
|
-20 - 80 |
Масса, кг
|
0.82 |
Масса, г
|
820 |
Допуск по массе, %
|
5 |
Габариты, мм
|
150 х 150 х 20 |
Документы