S51.ZT1K-C1
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
Z, θX, θY
S51.ZT1K-C1
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
Z, θX, θY |
Тип управления
|
Без обратной связи |
Номинальная длина хода, мкм
|
90 |
Максимальная длина хода, мкм
|
110 |
Номинальный угол хода, мрад
|
1,8 х 1,8 |
Максимальный угол хода, мрад
|
2,2 х 2,2 |
Номинальный угол хода, угл.сек
|
380 х 380 |
Максимальный угол хода, угл.сек.
|
440 х 440 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
110 |
Вращение по оси θX, мрад
|
2.2 |
Вращение по оси θY, мрад
|
2.2 |
Погрешность хода, %
|
10 |
Разрешение, нм
|
4 |
Разрешение, мкрад
|
0,05 х 0,05 |
Разрешение по оси Z, нм
|
4 |
Разрешение по оси θX, мкрад
|
0.05 |
Разрешение по оси θY, мкрад
|
0.05 |
Размер столика, мм
|
135 х 135 |
Высота столика, мм
|
22.3 |
Рекомендованный контроллер
|
E01.D3, E70 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Нет |
Время шага без нагрузки, мс
|
5 |
Допуск по времени шага, %
|
20 |
Жёсткость, Н/мкм
|
1.5 |
Погрешность жёсткости, %
|
20 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
300 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
10,8 х 10,8 х 10,8 |
Погрешность электроёмкости, %
|
10 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Погрешность длины кабеля, мм
|
±0,1 |
Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
|
120/15 |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Алюминий, сталь |
Грузоподъёмность, кг
|
2.5 |
Масса, кг
|
0.815 |
Масса, г
|
815 |
Допуск по массе, %
|
5 |
Габариты, мм
|
165 х 165 х 24,5 |
Документы