S23.ZT1K
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
Z, θX, θY
S23.ZT1K
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
Z, θX, θY |
Количество каналов
|
3 |
Тип управления
|
Без обратной связи |
Номинальная длина хода, мкм
|
8 |
Максимальная длина хода, мкм
|
10 |
Номинальный угол хода, мрад
|
1,2 х 1,2 |
Максимальный угол хода, мрад
|
1,5 х 1,5 |
Номинальный угол хода, угл.сек
|
248 х 248 |
Максимальный угол хода, угл.сек.
|
309 х 309 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
10 |
Вращение по оси θX, мрад
|
1.5 |
Вращение по оси θY, мрад
|
1.5 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
0.08 |
Разрешение, мкрад
|
0,02 х 0,02 |
Разрешение, угл.сек.
|
0,004 х 0,004 |
Разрешение по оси Z, нм
|
0.08 |
Разрешение по оси θX, мкрад
|
0.02 |
Разрешение по оси θY, мкрад
|
0.02 |
Диаметр столика, мм
|
19.5 |
Высота столика, мм
|
19.5 |
Рекомендованный контроллер
|
E01.D3, E70 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световой диаметр, мм
|
10 |
Время шага без нагрузки, мс
|
0.5 |
Допуск по времени шага, %
|
20 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
7500 х 3200 х 3500 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
0,5 х 0,5 х 0,5 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Погрешность длины кабеля, мм
|
±10 |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Сталь |
Температура эксплуатации, °С
|
-20 - 80 |
Масса, кг
|
0.08 |
Масса, г
|
80 |
Допуск по массе, %
|
5 |
Документы