P32.ZT6S
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
Z, θX, θY
P32.ZT6S
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
Z, θX, θY |
Тип управления
|
С обратной связью |
Номинальная длина хода, мкм
|
45 |
Максимальная длина хода, мкм
|
55 |
Номинальный угол хода, мрад
|
9 х 9 |
Максимальный угол хода, мрад
|
11 х 11 |
Номинальный угол хода, угл.сек
|
1855 х 1855 |
Максимальный угол хода, угл.сек.
|
2270 х 2270 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
55 |
Вращение по оси θX, мрад
|
11 |
Вращение по оси θY, мрад
|
11 |
Погрешность хода, %
|
20 |
Разрешение, нм
|
1.5 |
Разрешение, мкрад
|
0,3 х 0,3 |
Разрешение, угл.сек.
|
0,06 х 0,06 |
Разрешение по оси Z, нм
|
1.5 |
Разрешение по оси θX, мкрад
|
0.3 |
Разрешение по оси θY, мкрад
|
0.3 |
Диаметр столика, мм
|
25 |
Высота столика, мм
|
73 |
Рекомендованный контроллер
|
E01.D3, E70 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Нет |
Время шага без нагрузки, мс
|
10 |
Допуск по времени шага, %
|
20 |
Повторяемость, %F.S.
|
θx θy:0,2 Z:0,5 |
Прямолинейность, %F.S.
|
θx θy0,2 Z:0,5 |
Резонансная частота с нагрузкой, Гц
|
4 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
5,4 х 5,4 х 5,4 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Погрешность длины кабеля, мм
|
±10 |
Датчик
|
SGS |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Сталь |
Температура эксплуатации, °С
|
-20 - 80 |
Масса, кг
|
0.35 |
Масса, г
|
350 |
Допуск по массе, %
|
5 |
Документы