P18.XYZ200S
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
X, Y, Z
P18.XYZ200S
Характеристики
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
X, Y, Z |
Количество каналов
|
3 |
Тип управления
|
С обратной связью |
Номинальная длина хода, мкм
|
160 х 160 х 160 |
Максимальная длина хода, мкм
|
200 х 200 х 200 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
200 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
200 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
200 |
Погрешность хода, %
|
10 |
Разрешение, нм
|
7 х 7 х 7 |
Разрешение по оси X, нм
|
7 |
Разрешение по оси Y, нм
|
7 |
Разрешение по оси Z, нм
|
7 |
Размер столика, мм
|
37 х 37 |
Высота столика, мм
|
57.5 |
Рекомендованный контроллер
|
E01.D3, E70 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Есть |
Световой диаметр, мм
|
35 |
Время шага без нагрузки, мс
|
80 |
Допуск по времени шага, %
|
20 |
Повторяемость, %F.S.
|
0.2 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.4 |
Рыскание, мкрад
|
<25 |
Крен, мкрад
|
<25 |
Тангаж, мкрад
|
<25 |
Жёсткость, Н/мкм
|
0.1 |
Погрешность жёсткости, %
|
20 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
120 х 200 х 300 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
11 х 11 х 11 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Погрешность длины кабеля, мм
|
±10 |
Разъём кабеля
|
LEMO |
Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
|
30.10 |
Датчик
|
SGS |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Алюминий |
Грузоподъёмность, кг
|
0.8 |
Температура эксплуатации, °С
|
-20 - 80 |
Масса, кг
|
0.75 |
Масса, г
|
750 |
Габариты, мм
|
100×100×57.5 |
Документы