XD604.XZ8S
Характеристики
Количество осей
—
2
Рабочие оси
—
X, Z
XD604.XZ8S
Характеристики
Количество осей
|
2 |
Рабочие оси
|
X, Z |
Тип управления
|
С обратной связью |
Номинальная длина хода, мкм
|
8 х 8 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 1000 |
Перемещение по оси X, мкм
|
8 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
8 |
Погрешность хода, %
|
10 |
Разрешение, нм
|
0.5 |
Разрешение по оси X, нм
|
0.5 |
Разрешение по оси Z, нм
|
0.5 |
Размер столика, мм
|
400 х 200 |
Рекомендованный контроллер
|
E01.D3, E70 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Нет |
Время шага без нагрузки, мс
|
15 |
Допуск по времени шага, %
|
20 |
Повторяемость, %F.S.
|
0.13 |
Прямолинейность, %F.S.
|
0.19 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
560 |
Резонансная частота с нагрузкой, Гц
|
340 - нагрузка / 20 - нагрузка и ход |
Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г
|
80000 |
Ход измерения резонансной частоты
|
200 нм |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
0,44 х 1,33 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Погрешность длины кабеля, мм
|
±10 |
Датчик
|
SGS |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Сталь, Алюминий |
Грузоподъёмность, кг
|
80 |
Температура эксплуатации, °С
|
- 40 - 80 |
Масса, кг
|
63 |
Масса, г
|
63000 |
Допуск по массе, %
|
5 |
Габариты, мм
|
500×340×105 |
Документы