P63.XZ7K
Характеристики
Количество осей
—
2
Рабочие оси
—
X, Z
P63.XZ7K
Характеристики
Количество осей
|
2 |
Рабочие оси
|
X, Z |
Тип управления
|
Без обратой связи |
Номинальная длина хода, мкм
|
5,5 х 5,5 |
Максимальная длина хода, мкм
|
6,8 х 6,8 |
Напряжение номинального хода, В
|
0 - 120 |
Напряжение максимального хода, В
|
0 - 150 |
Перемещение по оси X, мкм
|
6.8 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
6.8 |
Погрешность хода, %
|
10 |
Разрешение, нм
|
0.1 |
Разрешение по оси X, нм
|
0.1 |
Разрешение по оси Z, нм
|
0.1 |
Размер столика, мм
|
30 х 30 |
Рекомендованный контроллер
|
E01.D3, E70 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Нет |
Время шага без нагрузки, мс
|
0.3 |
Допуск по времени шага, %
|
20 |
Рыскание, мкрад
|
< 10 |
Крен, мкрад
|
< 10 |
Тангаж, мкрад
|
< 10 |
Жёсткость, Н/мкм
|
X1.2/Z1.5 |
Погрешность жёсткости, %
|
20 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
1500 х 1600 |
Допуск по резонансной частоте, %
|
20 |
Электроёмкость, мкФ
|
0,8 х 0,8 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Длина кабеля, м
|
1.5 |
Погрешность длины кабеля, мм
|
±10 |
Мощность толкающего/тянущего усилия, Н
|
9.2 |
Примечание
|
Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Материал
|
Алюминий |
Грузоподъёмность, кг
|
0.5 |
Температура эксплуатации, °С
|
-20 - 80 |
Масса, кг
|
0.12 |
Масса, г
|
120 |
Допуск по массе, %
|
5 |
Габариты, мм
|
30×30×33 |
Документы