XD810 -VD
Характеристики
Количество осей
—
3
Рабочие оси
—
X, Y, Z
XD810 -VD
Характеристики
Назначение
|
Анти-вибрационный столик |
Количество осей
|
3 |
Рабочие оси
|
X, Y, Z |
Номинальная длина хода, мкм
|
28 х 28 х 15 |
Перемещение по оси X, мкм
|
28 |
Перемещение по оси Y, мкм
|
28 |
Перемещение по оси Z, мкм
|
15 |
Погрешность хода, %
|
20 х 20 х 10 |
Размер столика, мм
|
45 х 40 |
Высота столика, мм
|
65 |
Совместим со сверхнизкими температурами
|
Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами
|
Нет |
Совместим с вакуумом
|
Нет |
Длинного хода
|
Нет |
Тип многоосевого
|
Интегрированный |
Световое отверстие
|
Нет |
Максимальная рабочая частота, Гц
|
20 |
Допуск рабочей частоты, %
|
20 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц
|
500 х 400 х 240 |
Электроёмкость, мкФ
|
7,2 х 7,2 х 3,6 |
Погрешность электроёмкости, %
|
20 |
Габариты, мм
|
215 х 190 х 65 |
Документы